一种光刻胶喷涂装置的喷头制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种光刻胶喷涂装置的喷头，包括喷头本体，所述喷头本体内成型有上侧开口的储胶腔，储胶腔的底面上成型有多个上下贯穿的喷胶孔；所述储胶腔内套接有隔断板，隔断板上成型有多个与喷胶孔错开设置的通胶孔；所述隔断板的上方设有驱使其上下移动的隔断机构。本发明专利技术可以通过隔断板的下移封堵喷胶孔，可有效减少喷涂完成后喷头内的光刻胶结晶，减少光刻胶的浪费。

【技术实现步骤摘要】
一种光刻胶喷涂装置的喷头
本专利技术涉及半导体生产
，具体涉及一种光刻胶喷涂装置的喷头。
技术介绍
在半导体制作中，需要通过在半导体元件上喷涂光刻胶以为下一步刻蚀做好工艺准备。光刻胶需要通过溶剂溶解以形成粘稠液态，方能喷涂，而溶剂易于挥发，使得光刻胶暴露在空气中时，容易因溶剂挥发导致结晶，进而使得喷头在暂停作业一段时间后可能因为喷头端部残留的光刻胶结晶导致粘性消失而滴落，甚至使得喷头内光刻胶全部结晶而滴落，导致浪费，因此，还有改善空间。
技术实现思路
本专利技术的目的是克服现有技术的不足，提供一种光刻胶喷涂装置的喷头，它可以通过隔断板的下移封堵喷胶孔，可有效减少喷涂完成后喷头内的光刻胶结晶，减少光刻胶的浪费。本专利技术解决所述技术问题的方案是：一种光刻胶喷涂装置的喷头，包括喷头本体，所述喷头本体内成型有上侧开口的储胶腔，储胶腔的底面上成型有多个上下贯穿的喷胶孔；所述储胶腔内套接有隔断板，隔断板上成型有多个与喷胶孔错开设置的通胶孔；所述隔断板的上方设有驱使其上下移动的隔断机构。所述隔断机构包括压靠在隔断板的上底面上的凸轮，凸轮固定在转轴的中部，转轴的两端铰接在喷头本体上，转轴穿过喷头本体的一伸出端固定有齿轮，齿轮啮合有齿条，齿条插套在齿条导向座上，齿条导向座的上端固定有伸缩缸，伸缩缸的伸缩杆的端部；所述齿条导向座固定在喷头本体的外壁上；所述隔断板的中部成型有下侧开口的弹簧孔，弹簧孔内套接有压簧，压簧的下端压靠在储胶腔的底面上。所述储胶腔的内壁上成型有与转轴同轴心设置的沉孔和通孔，沉孔内套接有轴套，所述转轴的一端插套在轴套内，转轴上套接并固定有轴环，轴环与轴套的端面之间夹持有第一推力轴承；所述通孔内套接并固定有轴座，转轴的另一端穿过轴座；所述轴座的内壁与转轴的外壁之间设有第一密封圈，轴座的外壁与通孔的内壁之间设有第二密封圈；所述转轴上成型有凸环，凸环与轴座的内端之间夹持有第二推力轴承。所述隔断板的下底面上成型有多个喷胶孔一一对应的密封槽，密封槽内套接有O型圈，O型圈高出隔断板的下底面；所述O型圈设置在对应的喷胶孔的外侧。所述储胶腔的口部成型有连接螺纹。所述隔断板的下底面与储胶腔的底面之间的距离等于转轴的中心线与凸轮的最远端的距离减去转轴的中心线与凸轮的最近端的距离。所述隔断板的上底面上固定有两块限位板，所述凸轮插套在两块限位板之间。本专利技术的突出效果是：与现有技术相比，其可以通过隔断板的下移封堵喷胶孔，可有效减少喷涂完成后喷头内的光刻胶结晶，减少光刻胶的浪费。附图说明图1为本专利技术的结构示意图；图2为本专利技术的左视图；图3为图1关于A-A的剖视图；图4为图1关于B的局部放大图。具体实施方式实施例，见如图1至图4所示，一种光刻胶喷涂装置的喷头，包括喷头本体1，所述喷头本体1内成型有上侧开口的储胶腔11，储胶腔11的底面上成型有多个上下贯穿的喷胶孔12；所述储胶腔11内套接有隔断板2，隔断板2上成型有多个与喷胶孔12错开设置的通胶孔21；所述隔断板2的上方设有驱使其上下移动的隔断机构3。更进一步的说，所述隔断机构3包括压靠在隔断板2的上底面上的凸轮31，凸轮31固定在转轴32的中部，转轴32的两端铰接在喷头本体1上，转轴32穿过喷头本体1的一伸出端固定有齿轮33，齿轮33啮合有齿条34，齿条34插套在齿条导向座35上，齿条导向座35的上端固定有伸缩缸36，伸缩缸36的伸缩杆的端部；所述齿条导向座35固定在喷头本体1的外壁上；所述隔断板2的中部成型有下侧开口的弹簧孔22，弹簧孔22内套接有压簧30，压簧30的下端压靠在储胶腔11的底面上。更进一步的说，所述储胶腔11的内壁上成型有与转轴32同轴心设置的沉孔13和通孔14，沉孔13内套接有轴套37，所述转轴32的一端插套在轴套37内，转轴32上套接并固定有轴环38，轴环38与轴套37的端面之间夹持有第一推力轴承41；所述通孔14内套接并固定有轴座39，转轴32的另一端穿过轴座39；所述轴座39的内壁与转轴32的外壁之间设有第一密封圈42，轴座39的外壁与通孔14的内壁之间设有第二密封圈43；所述转轴32上成型有凸环321，凸环321与轴座39的内端之间夹持有第二推力轴承44。更进一步的说，所述隔断板2的下底面上成型有多个喷胶孔12一一对应的密封槽23，密封槽23内套接有O型圈45，O型圈45高出隔断板2的下底面；所述O型圈45设置在对应的喷胶孔12的外侧。更进一步的说，所述储胶腔11的口部成型有连接螺纹15。更进一步的说，所述隔断板2的下底面与储胶腔11的底面之间的距离等于转轴32的中心线与凸轮31的最远端的距离减去转轴32的中心线与凸轮31的最近端的距离。更进一步的说，所述隔断板2的上底面上固定有两块限位板46，所述凸轮31插套在两块限位板46之间。工作原理：连接螺纹15与外界的光刻胶输送管连接，光刻胶进入到储胶腔11，然后在通过隔断板2上的通胶孔21进入到隔断板2的下方，最后从喷胶孔12喷射而出；当喷涂完成后，伸缩缸36的伸缩杆收缩带动齿条34沿齿条导向座35上移，齿条34上移带动齿轮33转过180度，齿轮33通过转轴32带动凸轮31转过180度，凸轮31将隔断板2下压并压靠在储胶腔11的底面上，从而封住喷胶孔21，从而防止喷头内的光刻胶结晶，降低浪费。最后，以上实施方式仅用于说明本专利技术，而并非对本专利技术的限制，有关
的普通技术人员，在不脱离本专利技术的精神和范围的情况下，还可以做出各种变化和变型，因此所有等同的技术方案也属于本专利技术的范畴，本专利技术的专利保护范围应由权利要求限定。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种光刻胶喷涂装置的喷头，包括喷头本体(1)，其特征在于：所述喷头本体(1)内成型有上侧开口的储胶腔(11)，储胶腔(11)的底面上成型有多个上下贯穿的喷胶孔(12)；所述储胶腔(11)内套接有隔断板(2)，隔断板(2)上成型有多个与喷胶孔(12)错开设置的通胶孔(21)；所述隔断板(2)的上方设有驱使其上下移动的隔断机构(3)。/n

【技术特征摘要】
1.一种光刻胶喷涂装置的喷头，包括喷头本体(1)，其特征在于：所述喷头本体(1)内成型有上侧开口的储胶腔(11)，储胶腔(11)的底面上成型有多个上下贯穿的喷胶孔(12)；所述储胶腔(11)内套接有隔断板(2)，隔断板(2)上成型有多个与喷胶孔(12)错开设置的通胶孔(21)；所述隔断板(2)的上方设有驱使其上下移动的隔断机构(3)。


2.根据权利要求1所述的一种光刻胶喷涂装置的喷头，其特征在于：所述隔断机构(3)包括压靠在隔断板(2)的上底面上的凸轮(31)，凸轮(31)固定在转轴(32)的中部，转轴(32)的两端铰接在喷头本体(1)上，转轴(32)穿过喷头本体(1)的一伸出端固定有齿轮(33)，齿轮(33)啮合有齿条(34)，齿条(34)插套在齿条导向座(35)上，齿条导向座(35)的上端固定有伸缩缸(36)，伸缩缸(36)的伸缩杆的端部；所述齿条导向座(35)固定在喷头本体(1)的外壁上；所述隔断板(2)的中部成型有下侧开口的弹簧孔(22)，弹簧孔(22)内套接有压簧(30)，压簧(30)的下端压靠在储胶腔(11)的底面上。


3.根据权利要求2所述的一种光刻胶喷涂装置的喷头，其特征在于：所述储胶腔(11)的内壁上成型有与转轴(32)同轴心设置的沉孔(13)和通孔(14)，沉孔(13)内套接有轴套(37)，所述转轴(32)的一端插套在轴套(37)内，转轴(32)上套接并固定有轴环(38)...

【专利技术属性】
技术研发人员：魏运秀，
申请(专利权)人：赣州市业润自动化设备有限公司，
类型：发明
国别省市：江西;36