用于充有六氟化硫气体之电气设备的内部异常检测装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种用于充有ＳＦ－［６］气体之电气设备的内部异常检测装置，该装置的检测元件包括：（１）不与ＳＦ－［６］分解气体起反应的绝缘材料所制成的基板；（２）设置在所说基板上的一对电极；（３）敷设在所说基板上，并与上述一对电极接合的金属薄膜（例如银薄膜），该薄膜与ＳＦ－［６］分解气体一接触即能生成使导电性能下降的氟化物。本发明专利技术灵敏度高，可检出低浓度的ＳＦ－［６］分解气体；能及早发现充有ＳＦ－［６］气体之电气设备的内部异常情况；并可使之稳定运转。（*该技术在2008年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种用于充有ＳＦ↓〔６〕气体之电气设备的内部异常检制装置，它包括检测元件等，其特征在于所说检测元件由下列部件构成：（１）由不与ＳＦ↓〔６〕分解气体起反应的绝缘材料所制成的基板；（２）设置在所说基板上的一对电极；（３）敷设在所说基 板上，并与上述一对电极接合的金属薄膜，该薄膜与ＳＦ↓〔６〕分解气体一接触，即能生成使导电性能下降的氟化物。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：吉冈武男，松下嘉文，皆川忠郎，铃木敏弘，山畸一郎，
申请(专利权)人：三菱电机株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]