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本发明提供了一种用于充有ＳＦ－［６］气体之电气设备的内部异常检测装置，该装置的检测元件包括：（１）不与ＳＦ－［６］分解气体起反应的绝缘材料所制成的基板；（２）设置在所说基板上的一对电极；（３）敷设在所说基板上，并与上述一对电极接合的金属薄膜...
该专利属于三菱电机株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过三菱电机株式会社授权不得商用。

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