表面缺陷的检测方法及其装置制造方法及图纸

本发明专利技术的表面缺陷检查方法是：使偏振光照射在被检查表面上，求其反射光的椭圆偏振光参数（Ψ、Δ）；使光照射在与偏振光照射的同一部位，求其反射光强（Ⅰ）；根据上述参数（Ψ、Δ）和光强（Ⅰ），判定缺陷等级和种类。本发明专利技术的表面缺陷检测装置包括：使偏振光照射被检查表面，测定上述参数（Ψ、Δ）的装置；使光照射与偏振光照射的同一部位，测定上述光强（Ⅰ）的装置；将上述反射光的Ψ、Δ、Ⅰ的三维坐标位置划分成预定的范围并输出的装置。（*该技术在2015年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及表面缺陷的光学检测方法及其装置。作为用光学方法检测薄钢板表面上的缺陷等钢板表面缺陷的装置，多半采用以激光为光源并利用光的散射或衍射图样变化的光学缺陷检测器。这种检测方式是利用由缺陷所引起的激光散射或衍射图样的变化来检测缺陷，在钢板表面上形成明显的凹凸缺陷时，这是一种有效的检测方法。可是，如果缺陷不是表面凹凸，而是物理参数不均匀、光洁度微小的分布不匀、局部存在薄氧化膜等，以及镀膜厚度不均等，在这些情况下采用上述观测方法就难以进行检测。例如在正常部分带有100左右氧化膜的钢板表面上，有氧化膜的厚度局部达到400左右的异常部分。以下把这种异常部分称为花纹形缺陷。这种区域在下一道工序中就会造成涂漆不良等，因此要求作为缺陷检测并除去，但由于与正常部分的氧化膜厚度的差别被钢板表面的光洁度所掩盖，所以利用光的散射或衍射方法完全不可能检测。检测对散射和衍射不具有灵敏度的缺陷时，有利用偏振光的表面检查方法。例如在特公平5-23620号公报中提出了用于查找半导体片上的异物的方法。这种方法是求取偏振光参数中的ψ即求P偏振光和S偏振光的振幅比(tanψ)而检测缺陷的方法。(所谓P偏振本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种表面缺陷的检测方法，包括以下工序：（ａ）使偏振光照射在有表面缺陷的试样上，预先求取表面反射光的椭圆偏振光参数（ψ、Δ）特性的工序；（ｂ）使偏振光照射在欲检查试样的被检查表面上，求取表面反射光的椭圆偏振光参数（ψ、Δ）的工序； （ｃ）将在工序（ｂ）中获得的椭圆偏振光参数（ψ、Δ）和在工序（ａ）中获得的随圆偏振光参数（ψ、Δ）特性进行比较的工序；（ｄ）根据在工序（ｃ）中获得的结果，确定表面缺陷等级的工序。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：风间彰，大重贵彦，河村努，的场有治，
申请(专利权)人：日本钢管株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]