一种新型湿敏传感器的制备方法技术

本发明专利技术公开了一种能够用于湿度测量的湿敏传感器的制造方法。采用溶胶－凝胶工艺，通过湿敏先体溶液的配制，在具有叉指电极陶瓷基片上，用提拉法镀膜，经过适当的热处理，可以制造ＬｉＣｌ／玻璃基复合薄膜型湿敏传感器，该类传感器可以在全湿范围内实现对湿度的测量，并且阻值适中，阻抗对湿度的线性度亦较好。该方法工艺简单，成本低。（*该技术在2019年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种用于湿度测量的湿敏传感器的制造方法。湿度的监测最早采用毛发湿度计和干湿球湿度计等，它们的原理都是将湿度转变为非电信号的物理量，所以不适应对湿度的精确测量和自动控制。将湿度转换成电参量(如电阻、电容、电流或电压等)的湿敏材料现在主要有电解质和高分子化合物感湿材料；陶瓷感湿材料；多孔金属氧化物及半导体感湿材料等。以上各类湿敏材料制作的湿度敏感器件的研制和生产应用，与其他敏感器件相比也是比较落后的。其主要原因一方面是难以获得具有理想性能的感湿材料，另一方面是由于湿度敏感器件工作时，必须暴露在待测环境中，工作条件复杂和恶劣。对于电解质和高分子材料的主要问题是很难适应恶劣的工作环境。对于陶瓷材料，其制备工艺复杂，重复性差，阻值偏高。对于半导体湿敏材料，其制造设备昂贵，成本高，性能也并不理想。因此探索新工艺，研究新材料是湿敏材料长期发展的方向。氯化锂传感器是传统的电解质湿敏传感器，现在的制备工艺是将氯化锂溶入聚乙烯醇(PVA)中，由于PVA的吸湿溶涨，使得其测湿范围变得很狭窄，通常要制作六种不同氯化锂含量的元件，然后拼在一起才能完成对全湿范围的测量，其工艺复杂。本专利技术本文档来自技高网...

【技术保护点】
该技术的突出特征是使用溶胶－凝胶工艺，将湿敏组元（氯化理）复合到以二氧化硅为主的基质玻璃溶胶中。其次，该技术采用提拉法在印有金叉指电极的陶瓷基板上镀膜。第三，薄膜干燥是室温自然干燥，或超临界干燥。第四，该技术是将薄膜在高温下热处理（４００～６５０℃）０．５～２小时。要求保护的范围：１．利用溶胶－凝胶工艺，将氯化锂或四氧化三铁等湿敏组元复合到二氧化硅基玻璃中（玻璃组成为：ＳｉＯ↓［２］：５０～１００％，Ａｌ↓［２］Ｏ↓［３］：０～５０％，Ｂ↓［２］Ｏ↓［３］：０～５０％ ；活性组元在玻璃中的含量为：１０～５０％）。２．利用提拉法在印有金叉指电极的基板上镀膜，然后经过热处理得到的该类...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：姚熹，赵鹏，翟继卫，张良莹，邓月，孔令兵，
申请(专利权)人：同济大学，
类型：发明
国别省市：31[中国|上海]