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一种新型湿敏传感器的制备方法技术
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文档序号:2600643
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本发明公开了一种能够用于湿度测量的湿敏传感器的制造方法。采用溶胶-凝胶工艺,通过湿敏先体溶液的配制,在具有叉指电极陶瓷基片上,用提拉法镀膜,经过适当的热处理,可以制造LiCl/玻璃基复合薄膜型湿敏传感器,该类传感器可以在全湿范围内实现对湿度...
该专利属于同济大学所有,仅供学习研究参考,未经过同济大学授权不得商用。
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