一种超薄焊接堆叠封装方式制造技术

本发明专利技术公开了一种超薄焊接堆叠封装方式，包括以下步骤：A，在转接板硅片表面制作凹槽，在凹槽中嵌入表面带粘附层的芯片，芯片PAD面朝下；B，对凹槽进行灌胶处理，对转接板表面进行减薄处理，在该面沉积钝化层，制作RDL和焊球；C，做临时键合保护焊球一面，减薄转接板另一面，在另一面开TSV孔，对TSV进行金属互联；D，拆除临时键合板，用热压键合的方式把不同层的转接板进行胶粘堆叠，加热使焊球融化跟TSV孔互联得到最终结构。

【技术实现步骤摘要】
一种超薄焊接堆叠封装方式
本专利技术属于半导体
，具体涉及一种超薄焊接堆叠封装方式。
技术介绍
随着三维封装技术的发展，多层堆叠封装技术应用广泛，从一开始的闪存芯片工艺到后来的DRAM(DynamicRandomAccessMemory，动态随机存取存储器)，以至于后面索尼的CIS(CMOSImageSensor，CMOS图像传感器)也采用BSISTACKED工艺来做，产品无论是体积重量还是性能都有的大幅度提高。但是多层堆叠芯片需要用到尺寸相同的晶圆来做堆叠，良率难控制，且在芯片设计的时候就要考虑多层堆叠的技术难点，对设计公司和晶圆制造公司都难度较大，同时堆叠后的晶圆厚度较大，不适应现在终端越来越薄的需求。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题是提供一种超薄焊接堆叠封装方式。为解决上述技术问题，本专利技术采用如下的技术方案：一种超薄焊接堆叠封装方式，包括以下步骤：A，在转接板硅片表面制作凹槽，在凹槽中嵌入表面带粘附层的芯片，芯片PAD面朝下；B，对凹槽进行灌胶处理，对转接板表面进行减薄处理，在该面沉积钝化层，制作RDL和焊球；C，做临时键合保护焊球一面，减薄转接板另一面，在另一面开TSV孔，对TSV进行金属互联；D，拆除临时键合板，用热压键合的方式把不同层的转接板进行胶粘堆叠，加热使焊球融化跟TSV孔互联得到最终结构。优选地，所述步骤A具体包括：用干法刻蚀工艺在转接板表面进行干法刻蚀出空腔，此处对特殊形貌的空腔包括采用湿法腐蚀的方式；空腔深度范围在100nm到700um之间，形状包括方形，圆形，椭圆形和三角形，其侧壁是垂直的，或者是有斜坡的；在硅片上方沉积氧化硅或者氮化硅等绝缘层，或者直接热氧化，绝缘层厚度范围在10nm到100um之间；把不同厚度底部带有焊料片的芯片嵌入到凹槽中，芯片PAD面朝下。优选地，所述芯片为经测试合格的芯片。优选地，所述步骤B具体包括：通过底部填胶或者表面旋涂的工艺在芯片和空腔的缝隙填胶；对硅片的芯片面进行减薄，减薄厚度在100nm到700um；在芯片面沉积钝化层，在硅片上方沉积氧化硅或者氮化硅绝缘层，或者直接热氧化，绝缘层厚度范围在10nm到100um之间；通过光刻点电镀工艺制作RDL和焊球。优选地，所述步骤C具体包括：做临时键合保护焊球一面，临时键合载板和芯片焊球之间涂布临时键合胶，胶体厚度在10um到300um之间；然后减薄转接板背面，减薄厚度控制在10um到720um之间；通过光刻和干法刻蚀的工艺在减薄面开TSV孔，然后通过钝化层沉积在开孔面，用干法刻蚀的工艺使芯片PAD面露出，其他TSV则直接打通转接板，刻蚀停在另一面的RDL焊盘上；然后在该面做RDL层，从而对TSV进行金属互联。采用本专利技术具有如下的有益效果：通过把测试完成的芯片进行重新排布嵌入到挖有空腔的转接板上，避免了芯片的良率问题，同时对转接板模组进行整体减薄，实现了多层堆叠模组厚度减少目的。附图说明图1a为本专利技术实施例的超薄焊接堆叠封装方式的凹槽中嵌入表面带粘附层的芯片的结构示意图；图1b为本专利技术实施例的超薄焊接堆叠封装方式中通过底部填胶或者表面旋涂的工艺在芯片和空腔的缝隙填胶的结构示意图；图1c为本专利技术实施例的超薄焊接堆叠封装方式中对硅片的芯片面进行减薄的结构示意图1；图1d为本专利技术实施例的超薄焊接堆叠封装方式中对硅片的芯片面进行减薄的结构示意图2；图1e为本专利技术实施例的超薄焊接堆叠封装方式中制作RDL和焊球的结构示意图；图1f为本专利技术实施例的超薄焊接堆叠封装方式中涂布临时键合胶的结构示意图；图1g为本专利技术实施例的超薄焊接堆叠封装方式中减薄转接板背面的结构示意图；图1h为本专利技术实施例的超薄焊接堆叠封装方式中在减薄面开TSV孔的结构示意图；图1i为本专利技术实施例的超薄焊接堆叠封装方式中制作不同芯片填充的转接板的结构示意图；图1j为本专利技术实施例的超薄焊接堆叠封装方式中得到的最终结构示意图。具体实施方式以下将结合附图所示的具体实施方式对本专利技术进行详细描述。但这些实施方式并不限制本专利技术，本领域的普通技术人员根据这些实施方式所做出的结构、方法、或功能上的变换均包含在本专利技术的保护范围内。此外，在不同的实施例中可能使用重复的标号或标示。这些重复仅为了简单清楚地叙述本专利技术，不代表所讨论的不同实施例及/或结构之间具有任何关联性。本专利技术的各实施方式中提到的有关于步骤的标号，仅仅是为了描述的方便，而没有实质上先后顺序的联系。各具体实施方式中的不同步骤，可以进行不同先后顺序的组合，实现本专利技术的专利技术目的。本专利技术实施例提供的一种超薄焊接堆叠封装方式，包括以下步骤：A，在转接板硅片表面制作凹槽，在凹槽中嵌入表面带粘附层的芯片，芯片PAD面朝下；如图1a所示，用干法刻蚀工艺在转接板101表面进行干法刻蚀出空腔，此处对特殊形貌的空腔，还可以采用湿法腐蚀的方式；空腔深度范围在100nm到700um之间，形状可以是方形，圆形，椭圆形，三角形等，其侧壁可以是垂直的，也可以是有斜坡的；然后用湿法腐蚀工艺去除TSV铜柱表面氧化硅钝化层，此处钝化层也可以不去除；在硅片上方沉积氧化硅或者氮化硅等绝缘层，或者直接热氧化，绝缘层厚度范围在10nm到100um之间；如图1a所示，把不同厚度底部带有焊料片的芯片102嵌入到凹槽中，芯片PAD面朝下，此处的芯片为通过测试合格的芯片；此步骤的硅片包括4，6，8，12寸晶圆，厚度范围为200um到2000um，也可以是其他材质，包括玻璃，石英，碳化硅，氧化铝等无机材料，也可以是环氧树脂，聚氨酯等有机材料，其主要功能是提供支撑作用。B：对凹槽进行灌胶处理，对转接板表面进行减薄处理，在该面沉积钝化层，制作RDL和焊球；如图1b所示，通过底部填胶或者表面旋涂的工艺在芯片和空腔的缝隙填胶103；如图1c和1d所示，对硅片的芯片面进行减薄，减薄厚度在100nm到700um，减薄可以是直接做减薄处理，也可以是用临时键合104的工艺用胶体105贴在晶圆背面，保护住硅片的背面，然后以载片做支撑；如图1e所示，在该面沉积钝化层，在硅片上方沉积氧化硅或者氮化硅等绝缘层，或者直接热氧化，绝缘层厚度范围在10nm到100um之间；然后通过光刻点电镀工艺制作RDL107和焊球106。C：做临时键合保护焊球一面，减薄转接板另一面，在另一面开TSV孔，对TSV进行金属互联；如图1f所示，做临时键合保护焊球一面，临时键合载板和芯片焊球之间涂布临时键合胶108，胶体厚度在10um到300um之间；如图1g所示，然后减薄转接板背面，减薄厚度控制在10um到720um之间；如图1h所示，通过光刻和干法刻蚀的工艺在减薄面开TSV孔109，然后通过钝化层沉积在开孔面本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种超薄焊接堆叠封装方式，其特征在于，包括以下步骤：/nA，在转接板硅片表面制作凹槽，在凹槽中嵌入表面带粘附层的芯片，芯片PAD面朝下；/nB，对凹槽进行灌胶处理，对转接板表面进行减薄处理，在该面沉积钝化层，制作RDL和焊球；/nC，做临时键合保护焊球一面，减薄转接板另一面，在另一面开TSV孔，对TSV进行金属互联；/nD，拆除临时键合板，用热压键合的方式把不同层的转接板进行胶粘堆叠，加热使焊球融化跟TSV孔互联得到最终结构。/n

【技术特征摘要】
20200228 CN 20201012887891.一种超薄焊接堆叠封装方式，其特征在于，包括以下步骤：
A，在转接板硅片表面制作凹槽，在凹槽中嵌入表面带粘附层的芯片，芯片PAD面朝下；
B，对凹槽进行灌胶处理，对转接板表面进行减薄处理，在该面沉积钝化层，制作RDL和焊球；
C，做临时键合保护焊球一面，减薄转接板另一面，在另一面开TSV孔，对TSV进行金属互联；
D，拆除临时键合板，用热压键合的方式把不同层的转接板进行胶粘堆叠，加热使焊球融化跟TSV孔互联得到最终结构。


2.如权利要求1所述的超薄焊接堆叠封装方式，其特征在于，所述步骤A具体包括：
用干法刻蚀工艺在转接板表面进行干法刻蚀出空腔，此处对特殊形貌的空腔包括采用湿法腐蚀的方式；空腔深度范围在100nm到700um之间，形状包括方形，圆形，椭圆形和三角形，其侧壁是垂直的，或者是有斜坡的；
在硅片上方沉积氧化硅或者氮化硅等绝缘层，或者直接热氧化，绝缘层厚度范围在10nm到100um之间；
把不同厚度底部带有焊料片的芯片嵌入到凹槽中，芯片PA...

【专利技术属性】
技术研发人员：冯光建，
申请(专利权)人：浙江集迈科微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江;33