用于检测气体的传感器单元制造技术

一种用于检测气体的传感器单元，包括：　　　　基片，具有第一表面和第二表面；　　　　感测电极，所述感测电极与所述基片接触；　　　　一个开口，从所述第一表面到所述第二表面延伸接近所述感测电极，用于控制气体流；　　　　气体扩散膜，与所述感测电极相接触，并被放置在所述开口内以及被检测的气体和所述感测电极之间。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种具有改进的可重复性和有效性的传感器。
技术介绍
基于薄膜的技术通常被研究广泛用于各种传感器，如Wenyi等人，1997；Hughes等人，1997；Staley，1996；Agbor等人，1995；Tan和Tan，1995；Menil等人，1994；Kunnecke等人，1994；Creasey and Varney，1994；Geistlinger，1993；Ishiji等人，1993；Najafi等人，1992；Hampp等人，1992；Nakano和Ogawa，1994；Yamazoe和Miura，1994；以及，Madou和Otagawa，1989所报告的。尽管固状气体传感器可以具有能在升高的温度上操作的优点，但它们也具有缓慢的响应和恢复时间以及高的内部操作温度的缺点，如Liu等人，1993；和Narducci等人，1993所报告的。最近更多的著作(Schwebel等人，1997；Sheng等人，1997；Micocci等人，1997)未提及待进行的更实质性的研究工作。Kinlen等人，1994的Nafion-涂层金属氧化物PH传感器通常特征在于，在氧本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：奥托·J·普罗哈斯卡，安东尼·B·莱康蒂，乔斯·D·吉纳，穆拉德·马诺基安，
申请(专利权)人：珀金埃尔默LAS公司，
类型：发明
国别省市：