玻璃基板的检查装置及检查方法制造方法及图纸

本发明专利技术的检查装置包含：基板固定机构，设置在检查区，夹紧所述玻璃基板的端部并使之固定；视频组件，对用所述基板固定机构固定的所述玻璃基板，用照明装置照射光，并用多个摄影机进行扫描；视频组件移动机构，将所述视频组件从所述玻璃基板的一侧移动到另一侧；缺陷数据处理部，根据从所述视频组件的摄影机传送的影像，对所述玻璃基板的缺陷进行数据化处理；显示部，显示由所述缺陷数据处理部处理后的数据。缩短检查所需的时间，使检查时物理接触玻璃基板造成的缺陷的产生最小化，可实施正确的检查。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种，具体而言，涉及在成形工序中迅速且正确地实施玻璃基板检查的。
技术介绍
通常，TFT-LCD(薄膜晶体管液晶显示器)、PDP(等离子体显示面板)、EL(Electro luminescence)等平板显示器的制造领域中使用的玻璃基板，是在成形工序中将在玻璃熔化炉熔化的玻璃液提供给熔化成形机来制造，用切割机(cutting apparatus)按初级标准切断，由传送系统搬运到加工线上。成形工序中的玻璃基板的检查，通过事先截断不合格品进入后工序，可有效降低成本、提高合格率。在成形工序中，在检查由传送系统移送的玻璃基板时，将玻璃基板从传送系统取出后加载到其它检查装置上的情况下，不仅检查需要很长时间，而且搬运花费工夫，并且由于物理接触，可能在玻璃基板中产生缺陷。因此，在成形工序中，为了检查玻璃基板，必需充分考虑如下几点。第一、必需通过将玻璃基板容易加载到检查区并使其固定，来减少将玻璃基板固定在检查区时的工夫，并在一定时间内使一连串检查工序结束，缩短检查所需的时间，必需在检查时使与玻璃基板的物理接触最小化，并最大限度抑制玻璃基板的缺陷产生。第二、必需将移送的玻璃基板的振动抑制到焦深内，以进行正确的检查。必需开发出考虑到上述各点等的成形工序中的玻璃基板检查装置，由此，必需使进入成形工序后实施的工序中的玻璃基板的不合格率最小化，降低成本，并提高生产率。
技术实现思路
本专利技术鉴于上述问题做出，其目的在于提供一种，不仅在成形工序中容易实施玻璃基板的检查，并且缩短检查所需的时间，使检查时物理接触玻璃基板造成的缺陷的产生最小化，并且，使被移送的玻璃基板的振动在限定的焦深内最小化，从而进行正确的检查。为了实现上述目的，本专利技术是一种检查玻璃基板的装置，其特征在于，包括基板固定机构，设置在检查区，夹紧所述玻璃基板的端部并使之固定；视频组件，对用所述基板固定机构固定的所述玻璃基板，用照明装置照射光，并用多个摄影机进行扫描；视频组件移动机构，将所述视频组件从所述玻璃基板的一侧移动到另一侧；缺陷数据处理部，根据从所述视频组件的摄影机传送的影像，对所述玻璃基板的缺陷进行数据化处理；显示部，显示由所述缺陷数据处理部处理后的数据。另外，本专利技术是一种检查玻璃基板的检查方法，其特征在于，包括如下步骤在使所述玻璃基板位于检查区中后，夹紧所述玻璃基板的端部并使之固定；使照明和多个摄影机从固定在所述检查区中的所述玻璃基板的一侧向另一侧移动，并对所述玻璃基板进行扫描；根据扫描所述玻璃基板取得的影像，对所述玻璃基板的缺陷进行数据化处理；将关于所述玻璃基板缺陷的数据显示到外部。根据本专利技术的不仅容易在成形工序中实施玻璃基板的检查，而且使检查所需的时间缩短，时检查时物理接触玻璃基板造成的缺陷的产生最小化，并且在限定的焦深内使被移送的玻璃基板的振动最小化，进行正确的检查。附图说明图1是根据本专利技术的玻璃基板的检查装置的正面图。图2是根据本专利技术的玻璃基板的检查装置的侧面图。图3是根据本专利技术的玻璃基板的检查装置的平面图。图4是表示根据本专利技术的玻璃基板的检查装置的框图。图5是表示根据本专利技术的玻璃基板的检查装置中基板固定机构的正面图。图6是表示根据本专利技术的玻璃基板的检查装置中基板固定机构的第1上部夹具的正面图。图7是表示根据本专利技术的玻璃基板的检查装置中基板固定机构的第1上部夹具的侧面图。图8是表示根据本专利技术的玻璃基板的检查装置中基板固定机构的第2上部夹具的正面图。图9是表示根据本专利技术的玻璃基板的检查装置中基板固定机构的第2上部夹具的底面图。图10是表示根据本专利技术的玻璃基板的检查装置中基板固定机构的第1下部夹具的正面图。图11是表示根据本专利技术的玻璃基板的检查装置中基板固定机构的第1下部夹具的侧面图。图12是表示根据本专利技术的玻璃基板的检查装置中基板固定机构的第2下部夹具的正面图。图13是表示根据本专利技术的玻璃基板的检查装置中基板固定机构的第2下部夹具的平面图。图14是表示根据本专利技术的玻璃基板的检查装置中基板固定机构的侧部夹具的正面图。图15是表示根据本专利技术的玻璃基板的检查装置中基板固定机构的侧部夹具的侧面图。图16是表示根据本专利技术的玻璃基板的检查装置中视频组件的斜视图。图17是表示根据本专利技术的玻璃基板的检查方法的流程图。具体实施例方式下面，参照附图来说明本专利技术的较佳实施形态。图1是根据本专利技术的玻璃基板的检查装置的正面图，图2是根据本专利技术的玻璃基板的检查装置的侧面图，图3是根据本专利技术的玻璃基板的检查装置的平面图，图4是表示根据本专利技术的玻璃基板的检查装置的框图。如图所示，根据本专利技术的玻璃基板的检查装置，在玻璃基板1的成形工序中，将上端被沿移送轨道(未图示)移动的移送夹子(未图示)夹紧并被移送的玻璃基板1，固定在检查区中进行检查，该玻璃基板的检查装置包括夹紧玻璃基板1的端部并使之固定的基板固定机构100、扫描玻璃基板1的视频组件200、使视频组件200从玻璃基板1的一侧移动到另一侧的视频组件移动机构300、根据用视频组件200扫描的影像将玻璃基板1的缺陷处理成数据的缺陷数据处理部400、和示由缺陷数据处理部400处理后的数据的显示部500。基板固定机构100与玻璃基板1的移送路径靠近设置，该玻璃基板1的上端被多个移送夹子(未图示)夹紧并沿移送轨道(未图示)移动，当沿移送轨道(未图示)移动的玻璃基板1停止时，基板固定机构100夹紧从移送夹子(未图示)取下的玻璃基板1的端部后，将其固定在检查区。如图5所示，基板固定机构100包括固定框140；上部夹紧装置1 10，设置在固定框140的上侧，夹紧玻璃基板1的上端部；下部夹紧装置120，设置在固定框140的下侧，夹紧玻璃基板1的下端部，并向下拉玻璃基板1，以使玻璃基板1向上下拉伸；以及，侧部夹紧装置130，分别设置在固定框140的两侧，夹紧玻璃基板1的两端部，并向两侧拉玻璃基板1，以使玻璃基板1向左右拉伸。固定框140设置在成形工序中用于检查玻璃基板1的位置上，分别位于其上侧与下侧的上部及下部框141、142被一对侧部框143支撑。上部夹紧装置110分别设置在固定框140的上侧、即上部框141中，由夹紧玻璃基板1的上端部的第1及第2上部夹具111、112构成，第1上部夹具111固定在固定框140的上部框141中，第2上部夹具112沿固定框140的上部框141左右自由移动地设置。图6及图7所示的第1上部夹具111，具有由固定框140的上部框141设置的托架141a，并设置有第1空压气缸111a，为了抓住或放开玻璃基板1的上端部，利用空压使自由旋转地结合在第1空压气缸111a的端部、即下端上的一对夹子111c彼此关闭或打开。第1空压气缸111a经一对端口111b选择性地供给空压，通过使一对夹子111c旋转并彼此关闭或打开，当夹子111c被关闭时，使其端部把持玻璃基板1的上端部。图8及图9所示的第2上部夹具112设置有第2空压气缸112b，该第2空压气缸112b沿设置在固定框140上侧、即上部框141中的引导轨道112a滑动，为了夹住或放开玻璃基板1的上端部，第2空压气缸112b利用空压使自由旋转地结合在端部的一对夹子112d彼此关闭或打开。第2空压气缸112b自由滑动地设置在沿上部框141的纵向并列设置在上部框141上本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种玻璃基板的检查装置，用于检查玻璃基板，其特征在于，包括：基板固定机构，设置在检查区，夹紧所述玻璃基板的端部并使之固定；视频组件，对用所述基板固定机构固定的所述玻璃基板，用照明装置照射光，并用多个摄影机进行扫描；视 频组件移动机构，将所述视频组件从所述玻璃基板的一侧移动到另一侧；缺陷数据处理部，根据从所述视频组件的摄影机传送的影像，对所述玻璃基板的缺陷进行数据化处理；显示部，显示由所述缺陷数据处理部处理后的数据。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：李昌夏，金泽天，金昔俊，李钟烈，裴琼采，金奇南，丁址和，
申请(专利权)人：三星康宁精密琉璃株式会社，
类型：发明
国别省市：KR[韩国]