【技术实现步骤摘要】
搬运系统
本专利技术涉及搬运系统,其对加工装置搬送被加工物。
技术介绍
在组装于电子设备等的器件芯片的制造工序中,通过各种加工装置对半导体晶片或树脂封装基板为代表的板状的被加工物进行加工。在对该加工装置搬运被加工物时,通常使用能够收纳多个被加工物的搬运用的盒。但是,在将多个被加工物收纳在盒中而一次搬运至加工装置的上述方法中,当由于某些原因而使加工装置停止时,会使收纳在盒中的未加工的被加工物一律待机。即,也无法利用其他加工装置对未加工的被加工物进行加工,因此加工的效率大幅降低。要想克服该问题,例如只要根据加工装置的运转状况而将被加工物一张一张地搬运至加工装置即可。因此,提出了如下的搬运系统:通过搬运用的路径来连接多个加工装置,从而能够在任意的时机对各加工装置搬运被加工物(例如参照专利文献1)。专利文献1:日本特开平6-177244号公报但是,在各加工装置的侧面设置有连接配管的配管连接部或维护用的门等,在构建上述的搬运系统时,需要按照不与它们发生干涉的方式设计搬运用的路径。因此,搬运系统的构建未必 ...
【技术保护点】
1.一种搬运系统,其对多个加工装置分别搬运被加工物,其特征在于,/n该搬运系统包含:/n搬运通路,其在多个该加工装置的整个范围内设置于该加工装置的正上方的空间;/n无人搬运车,其在该搬运通路上行驶,具有收纳部、行驶机构以及接收机,其中,该收纳部对该被加工物进行收纳,该行驶机构设置于该收纳部,该无人搬运车的该接收机接收控制信号;/n贮存单元,其具有收纳部保持台和接收机,其中,该收纳部保持台在从收纳有该被加工物的被加工物贮存器向该无人搬运车的该收纳部交接该被加工物时对该收纳部进行保持,该贮存单元的该接收机接收控制信号;/n收纳部搬运单元,其在该搬运通路的相当于该贮存单元的上方的 ...
【技术特征摘要】
20190326 JP 2019-0577101.一种搬运系统,其对多个加工装置分别搬运被加工物,其特征在于,
该搬运系统包含:
搬运通路,其在多个该加工装置的整个范围内设置于该加工装置的正上方的空间;
无人搬运车,其在该搬运通路上行驶,具有收纳部、行驶机构以及接收机,其中,该收纳部对该被加工物进行收纳,该行驶机构设置于该收纳部,该无人搬运车的该接收机接收控制信号;
贮存单元,其具有收纳部保持台和接收机,其中,该收纳部保持台在从收纳有该被加工物的被加工物贮存器向该无人搬运车的该收纳部交接该被加工物时对该收纳部进行保持,该贮存单元的该接收机接收控制信号;
收纳部搬运单元,其在该搬运通路的相当于该贮存单元的上方的区域与该贮存单元的该收纳部保持台之间或者该搬运通路的相当于该加工装置的上方的区域与该加工装置的内部之间搬运该收纳部;以及
控制单元,其具有发送机、接收机以及控制信...
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