基板处理装置制造方法及图纸

技术编号:25892731 阅读:31 留言:0更新日期:2020-10-09 23:37
本发明专利技术提供一种基板处理装置。在基板处理装置(100)中,在基板搬送部(120),设置在索引部(110)与基板处理部(130)之间搬送基板(W)的搬送机器人(122)。搬送风扇过滤单元(126)设置在基板搬送部(120)的上部。排气口(124p)设置在基板搬送部(120)。循环配管(142)将基板搬送部(120)的排气口(124p)与搬送风扇过滤单元(126)连结。排气管(146)与循环配管(142)连接。惰性气体供给部(148)朝循环配管(142)供给惰性气体。循环风扇过滤单元(144)在循环配管(142)中的与排气管(146)的连接部分的下游,相对于循环配管(142)的流路平行地配置。

【技术实现步骤摘要】
基板处理装置
本专利技术涉及一种基板处理装置。
技术介绍
基板处理装置例如用于半导体基板或玻璃基板的制造。在基板处理装置中,利用处理液对基板进行处理后,使基板干燥。近年来,基板结构不断微细化,基板的清洗及干燥成为问题(专利文献1)。在专利文献1的基板处理装置中,通过供给惰性气体来促进处理液的干燥。现有技术文献专利文献专利文献1:国际公开第2016/199769号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的问题近年来,基板的微细处理越来越受到重视。在专利文献1的基板处理装置中,虽然在基板处理时朝基板供给惰性气体,但有时在基板的搬送中基板暴露在氧环境中,存在基板的特性因基板的氧化而下降的担忧。本专利技术是鉴于所述课题而成,其目的在于提供一种可抑制搬送中的基板的氧化的基板处理装置。解决问题的技术手段根据本专利技术的一方式,基板处理装置包括:索引机器人、索引部、基板处理部、搬送机器人、基板搬送部、搬送风扇过滤单元、排气口、循环配管、排气管、惰性气体供给部、以及循环风扇过滤单元本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基板处理装置,包括:/n索引机器人,搬入基板;/n索引部,设置有所述索引机器人;/n基板处理部,对所述基板进行处理;/n搬送机器人,在所述索引部与所述基板处理部之间搬送所述基板;/n基板搬送部,设置有所述搬送机器人;/n搬送风扇过滤单元,设置在所述基板搬送部的上部;/n排气口,设置在所述基板搬送部;/n循环配管,将所述基板搬送部的所述排气口与所述搬送风扇过滤单元连结;/n排气管,与所述循环配管连接;/n惰性气体供给部,朝所述循环配管供给惰性气体;以及/n循环风扇过滤单元,在所述循环配管中的与所述排气管的连接部分的下游,相对于所述循环配管的流路平行地配置。/n

【技术特征摘要】
20190328 JP 2019-0638551.一种基板处理装置,包括:
索引机器人,搬入基板;
索引部,设置有所述索引机器人;
基板处理部,对所述基板进行处理;
搬送机器人,在所述索引部与所述基板处理部之间搬送所述基板;
基板搬送部,设置有所述搬送机器人;
搬送风扇过滤单元,设置在所述基板搬送部的上部;
排气口,设置在所述基板搬送部;
循环配管,将所述基板搬送部的所述排气口与所述搬送风扇过滤单元连结;
排气管,与所述循环配管连接;
惰性气体供给部,朝所述循环配管供给惰性气体;以及
循环风扇过滤单元,在所述循环配管中的与所述排气管的连接部分的下游,相对于所述循环配管的流路平行地配置。


2.根据权利要求1所述的基板处理装置,其中所述循环风扇过滤单元以沿着垂直方向延长的方式配置。


3.根据权利要求1或2所述的基板处理装置,还包括调整穿过所述排气管的气体的流动的阀。


4.根据权利要求1或2所述的基板处理装置,其中所述循环风扇过滤单元朝所述循环配管吹出已从所述惰性气体供给部供给的所述惰性气体。


5.根据权利要求1或2所述的基板处理装置,其中所述惰性气体供给部具有:
第一供给部,以第一流量朝所述循环配管供给...

【专利技术属性】
技术研发人员:伊东哲生菊本宪幸井上一树山田邦夫
申请(专利权)人:株式会社斯库林集团
类型:发明
国别省市:日本;JP

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