尾气处理系统的清理方法技术方案

本发明专利技术提供一种尾气处理系统的清理方法，尾气处理系统中残留有易燃易爆物质，该方法包括：在第一时间段内向尾气处理系统通入第一气体，第一时间段最少是使尾气处理系统置换为第一气体环境的时间；分X次向尾气处理系统通入第二气体，第二气体包括氧化气体和惰性气体，第N次向尾气处理系统中通入的氧化气体的压力大于第N‑1次向尾气处理系统中通入的氧化气体的压力；其中X为大于等于1的正整数，N为大于等于1且小于等于X的正整数。该尾气处理系统的清理方法，通过对易燃易爆物质进行氧化处理，能使易燃易爆物质在发生化学变化后形成遇空气不易燃烧或爆炸的物质，从而在尾气处理系统拆卸清理时能够避免其中的残留物质发生燃烧或爆炸的情况。

【技术实现步骤摘要】
尾气处理系统的清理方法
本专利技术涉及半导体或者太阳能电池制造
，具体地，涉及一种尾气处理系统的清理方法。
技术介绍
半导体行业以及太阳能电池制造中由于工艺膜层生长的需要，如在基片上生长砷化镓膜层等，会使尾气处理系统的尾气管路中会残留一些物质(如砷、磷等有毒的易燃易爆的物质)，随着残留物质的累积，会导致部件性能降低无法继续使用，需要拆卸尾气管路对其中的残留物质进行清理。在拆卸尾气管路部件进行内部残留物质清理时，由于尾气管路内积有大量遇空气易燃易爆的物质，所以在拆卸清理尾气处理系统时会出现残留物质燃烧或爆炸的情况，严重威胁清理人员的安全。如何在拆卸清理尾气处理系统前对残留于其中的易燃易爆有毒物质进行很好的处理已成为目前亟待解决的问题。
技术实现思路
本专利技术针对现有技术中存在的上述技术问题，提供一种尾气处理系统的清理方法。该尾气处理系统的清理方法能使易燃易爆物质在发生化学变化后形成遇空气不易燃烧或爆炸的物质，从而在尾气处理系统拆卸清理时能够避免其中的残留物质发生燃烧或爆炸的情况，进而确保了尾气处理系统的清理安全。本专利技术提供一种尾气处理系统的清理方法，所述尾气处理系统中残留有易燃易爆物质，所述方法包括：在第一时间段内向所述尾气处理系统通入第一气体，所述第一时间段最少是使所述尾气处理系统置换为第一气体环境的时间；分X次向所述尾气处理系统通入第二气体，所述第二气体包括氧化气体和惰性气体，第N次向所述尾气处理系统中通入的氧化气体的压力大于第N-1次向所述尾气处理系统中通入的氧化气体的压力；其中所述X为大于等于1的正整数，所述N为大于等于1且小于等于X的正整数。优选地，分1～10次向所述尾气处理系统通入所述第二气体，所述第N次向所述尾气处理系统中通入的所述氧化气体的压力与第N-1次向所述尾气处理系统中通入的所述氧化气体的压力差为3～8psi。优选地，分6次向所述尾气处理系统通入所述第二气体，第一次通入所述氧化气体的压力为5psi；第二次通入所述氧化气体的压力为10psi；第三次通入所述氧化气体的压力为15psi；第四次通入所述氧化气体的压力为20psi；第五次通入所述氧化气体的压力为25psi；第六次通入所述氧化气体的压力为30psi。优选地，在向所述尾气处理系统通入第二气体的过程中还包括：监控所述尾气处理系统中的温度是否大于或等于报警阈值；如果是，则停止向所述尾气处理系统中通入氧化气体，待所述尾气处理系统中的温度小于所述报警阈值时，再继续向所述尾气处理系统中通入氧化气体。优选地，所述第一气体为惰性气体；所述氧化气体为压缩空气或压缩氧气。优选地，所述每次向所述尾气处理系统通入第二气体的时长为一小时或者一小时以上。优选地，所述易燃易爆物质包括砷、磷，所述尾气处理系统包括依次相连的砷过滤器、抽气泵、磷过滤器和尾气机；所述砷过滤器的所述报警阈值为70℃；所述抽气泵的所述报警阈值为120℃；所述磷过滤器的所述报警阈值为70℃；所述尾气机的所述报警阈值为90℃。优选地，在向所述尾气处理系统中通入所述第一气体之前还包括：向所述尾气处理系统中通入还原气体，还原所述尾气处理系统中的易燃易爆物质，以使其由固态变为气态。优选地，所述向所述尾气处理系统中通入还原气体，还原所述尾气处理系统中的易燃易爆物质，以使其由固态变为气态包括：向反应室中通入流量计满量程50％以上流量的氢气，将所述反应室内的温度升至600-800℃，并维持该温度60分钟；氢气由所述反应室流入所述尾气处理系统，对所述尾气处理系统中的易燃易爆物质进行还原。优选地，分X次向所述尾气处理系统通入第二气体之后还包括：对所述尾气处理系统进行泄漏检测。本专利技术的有益效果：本专利技术所提供的尾气处理系统的清理方法，通过对尾气处理系统中的易燃易爆物质进行氧化处理，能使易燃易爆物质在发生化学变化后形成遇空气不易燃烧或爆炸的物质，从而在尾气处理系统拆卸清理时能够避免其中的残留物质发生燃烧或爆炸的情况，进而确保了尾气处理系统的清理安全。附图说明图1为本专利技术实施例中尾气处理系统的结构示意图；图2为本专利技术实施例中尾气处理系统的清理方法的流程图；图3为本专利技术实施例中尾气处理系统的清理方法的具体流程图；图4为本专利技术实施例中尾气处理系统的清理方法中步骤S11的流程图。其中的附图标记说明：1.反应室；2.砷过滤器；3.泵；4.磷过滤器；5.尾气机；6.氧化气体入口。具体实施方式为使本领域的技术人员更好地理解本专利技术的技术方案，下面结合附图和具体实施方式对本专利技术所提供的一种尾气处理系统的清理方法作进一步详细描述。本专利技术中尾气处理系统如图1所示，反应室1内工艺膜层(如砷化镓膜层)生长过程中，会产生含砷、磷等有毒物质的气体，含砷、磷等有毒物质的气体在工艺过程中通过尾气处理系统进行处理和排放。如反应室1内在工艺过程中排出的含有毒物质的气体先通过砷过滤器2进行过滤，然后通过抽吸泵3抽吸至磷过滤器4，经过滤后的气体最后进入尾气机5，在尾气机5中进行燃烧或有毒物质吸附，尾气机5处理后的废气排放至大气中。其中，砷过滤器2和磷过滤器4会对砷、磷进行过滤，大部分砷和磷会被过滤掉。尾气机5中通过燃烧和有毒物质吸附，会使部分有毒物质转化为无毒气体。尾气处理系统对含有毒物质的气体进行过滤和燃烧吸附处理后，不可避免地还会在其中残留部分有毒物质(如砷、磷)，经过长时间的积累，尾气处理系统中会积累大量砷、磷有毒物质，这不仅使尾气处理系统性能降低无法继续使用，而且使尾气处理系统清理也更加危险。为了解决现有的拆卸清理尾气处理系统时不可避免地会发生残留物质燃烧或爆炸的技术问题，本专利技术实施例提供一种处理尾气处理系统的方法，如图2和图3所示，尾气处理系统中残留有易燃易爆物质，该方法包括：步骤S10：在第一时间段内向尾气处理系统通入第一气体，第一时间段最少是使尾气处理系统置换为第一气体环境的时间。其中，第一气体为置换气体。第一时间段内向尾气处理系统中通入置换气体，使尾气处理系统中维持置换气体环境。其中，置换气体为惰性气体，如氮气。置换气体能够置换尾气处理系统中原有的气体(如原有的反应气体、含易燃易爆物质的气体等)，置换气体环境能避免尾气处理系统清理过程中其中的易燃易爆物质发生燃烧或爆炸事故，并能控制尾气管路中后续氧化反应程度，避免反应导致温度过高产生泄漏危险，从而确保尾气处理系统处理的稳定进行。步骤S11：分X次向尾气处理系统通入第二气体，第二气体包括氧化气体和惰性气体，第N次向尾气处理系统中通入的氧化气体的压力大于第N-1次向尾气处理系统中通入的氧化气体的压力；其中X为大于等于1的正整数，N为大于等于1且小于等于X的正整数。其中，尾气处理系统中残留的易燃易爆物质包括砷、磷等有毒物质。氧化气体为压缩空气或压缩氧气。氧化气体能对尾气处理系统中的易燃易爆物质进行氧化，使其遇空气不再燃烧或爆炸。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种尾气处理系统的清理方法，所述尾气处理系统中残留有易燃易爆物质，其特征在于，所述方法包括：/n在第一时间段内向所述尾气处理系统通入第一气体，所述第一时间段最少是使所述尾气处理系统置换为第一气体环境的时间；/n分X次向所述尾气处理系统通入第二气体，所述第二气体包括氧化气体和惰性气体，第N次向所述尾气处理系统中通入的氧化气体的压力大于第N-1次向所述尾气处理系统中通入的氧化气体的压力；其中所述X为大于等于1的正整数，所述N为大于等于1且小于等于X的正整数。/n

【技术特征摘要】
1.一种尾气处理系统的清理方法，所述尾气处理系统中残留有易燃易爆物质，其特征在于，所述方法包括：
在第一时间段内向所述尾气处理系统通入第一气体，所述第一时间段最少是使所述尾气处理系统置换为第一气体环境的时间；
分X次向所述尾气处理系统通入第二气体，所述第二气体包括氧化气体和惰性气体，第N次向所述尾气处理系统中通入的氧化气体的压力大于第N-1次向所述尾气处理系统中通入的氧化气体的压力；其中所述X为大于等于1的正整数，所述N为大于等于1且小于等于X的正整数。


2.根据权利要求1所述的尾气处理系统的清理方法，其特征在于，分1～10次向所述尾气处理系统通入所述第二气体，所述第N次向所述尾气处理系统中通入的所述氧化气体的压力与第N-1次向所述尾气处理系统中通入的所述氧化气体的压力差为3～8psi。


3.根据权利要求2所述的尾气处理系统的清理方法，其特征在于，分6次向所述尾气处理系统通入所述第二气体，第一次通入所述氧化气体的压力为5psi；第二次通入所述氧化气体的压力为10psi；第三次通入所述氧化气体的压力为15psi；第四次通入所述氧化气体的压力为20psi；第五次通入所述氧化气体的压力为25psi；第六次通入所述氧化气体的压力为30psi。


4.根据权利要求3所述的尾气处理系统的清理方法，其特征在于，在向所述尾气处理系统通入第二气体的过程中还包括：
监控所述尾气处理系统中的温度是否大于或等于报警阈值；
如果是，则停止向所述尾气处理系统中通入氧化气体，待所述尾气处理系统中的温度小于所述报警阈值时，再继续向所述尾气处理系统中...

【专利技术属性】
技术研发人员：夏黎明，
申请(专利权)人：东泰高科装备科技有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11