悬臂固定器及扫描探测显微镜制造技术

为防止通过牢牢固定主体部分而对悬臂的振荡转台造成影响，本发明专利技术提供了一种可安装和拆卸地来固定悬臂的悬臂固定器，该悬臂前端有一根触针，且其底端面由一单一支撑状态的平板状的主体部分所支撑，该悬臂固定器包括一底部构件，该构件有一装配部分用来在预定位置定位的状态下装配主体部分，有一固定构件用来在装配主体部分至装配部分时得以与至少一块主体部分的表面接触，并沿与悬臂纵向大致垂直的方向（轴线Ａ方向）延伸，一按压装置用来以一预定压力将固定构件的两端压向底部构件，通过固定构件将主体部分固定至装配部分，并且可以通过放开按压从而使固定构件从主体部分的表面分离，所述固定构件由树脂类材料构成。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种可安装和拆卸地固定悬臂的悬臂固定器，该悬臂固定器可固定前端有一根触针的悬臂以及有悬臂固定器的扫描探测显微镜。技术背景 根据使用AFM(原子力显微镜)等类型的SPM(扫描探测显微镜)，为了使用与样品 一致的最优悬臂，本悬臂可安装和拆卸地附于悬臂固定器或从其上卸下，本悬臂还可相互 交换。通常，为了将悬臂固定在悬臂固定器上，需要将用于支持处于单独固定状态的悬臂的 底座端面的主体部分置于悬臂固定器的连接部分，该主体部分通过多种固定构件固定至连 接部分。 虽然有多种固定固件，通常会采用系线(参照如，JP-A-2003-121335)或片簧(参 照如，JP-A-2000-249714)。进一步讲，通常会使用金属材料的系线或片簧从而保证固定在 悬臂上。 然而以上所描述的相关技术的悬臂固定器却存在以下的问题。 S卩，至于SPM，为进一步从不同方面观察一个样品，会准备多种测量模式，并且观察器会根据目标选择一个最优测量模式来观察该样品。 比方说，会使用AC模式AFM以一个预定频率(共振频率或其近似频率)振荡一悬 臂，并在控制触针和样品保持恒定距离的情况下进行扫描。 在使用AC模式本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种悬臂固定器，其是用于可安装和拆卸地固定悬臂的悬臂固定器，该悬臂前端有一根触针且其底端面由一单一支撑状态的平板状的主体部分所支撑，该悬臂固定器包括：底部构件，该构件有一装配部分用来将主体部分在被定位至预定位置时进行装配；固定构件，用来在装配主体部分至装配部分时得以与至少一块主体部分的表面接触，并沿与悬臂纵向大致垂直的方向延伸；按压装置，用来以一预定压力将固定构件的两端压向底部构件，通过固定构件将主体部分固定至装配部分，并且可以通过放开按压的固定部分的两端从而使固定构件从主体部分的表面分离；其中，所述固定构件由树脂类材料构成。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：北岛周，繁野雅次，
申请(专利权)人：精工电子纳米科技有限公司，
类型：发明
国别省市：JP[日本]