【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及扫描探针，特别是一种可控的制作光纤探针的装置和方法。
技术介绍
在扫描探针技术中，实现了光学衬度的扫描近场光学显微镜已经大量应用于光学衍射和波导器件、材料科学、生物学等领域。对于扫描近场光学显微镜，其核心部件之一是孔径小于波长的小孔装置，小孔装置的孔径决定了扫描近场光学显微镜的分辨率上限。目前用得最多的小孔装置就是光纤探针。在扫描近场光学显微镜中，为了获得样品高分辨的信息，必须使通过光纤探针的光束在横向上尽可能的受到限制；也要使通过限制区域的光通量尽可能的大，以得到较高的信噪比。另外还要求光纤的一致性(重复性)要好，制作光纤探针的成本要低。实际的光纤探针主要是按上述要求进行设计和制作的。目前，制备光纤探针的主要方法是加热拉伸法和化学腐蚀法，它们的工艺过程分别为加热拉伸法是利用微管拉伸机，用二氧化碳激光器对光纤边加热边进行拉伸，并使它断裂以形成端面平坦的针尖；化学腐蚀法是把光纤放在氢氟酸溶液中进行腐蚀的方法。两种方法形成的光纤尖端的小孔是通过在尖端侧面蒸镀约为100nm厚的铝膜，同时又在针尖端留出未镀膜的透光小孔，用这种方法可以把透光小孔的尺寸控...
【技术保护点】
一种可控的制备光纤探针的装置，其特征在于该装置由光纤探针位置控制装置、可编程控制电路板和电机控制程序构成：所述的光纤探针位置控制装置包括：一旋转电机（１０２）固定在一支撑架（１０１）上，一齿条支撑棒（１０７）安装在旋转电机（１０２） 的轴上，在齿条支撑棒（１０７）上固定一齿轮夹持器（１０５），该齿轮夹持器（１０５）上固定一直流电机（１０３）和一精密平移台（１０６），在该精密平移台（１０６）上固定一悬臂横梁（１０８），在该横梁（１０８）的通孔中装有多个光纤夹（１０９），所述的光纤夹（１０９）用于固定光纤（１１０）的一端，在所述的光纤夹（１０９）的下方有一腐蚀容器...
【技术特征摘要】
1.一种可控的制备光纤探针的装置，其特征在于该装置由光纤探针位置控制装置、可编程控制电路板和电机控制程序构成所述的光纤探针位置控制装置包括一旋转电机(102)固定在一支撑架(101)上，一齿条支撑棒(107)安装在旋转电机(102)的轴上，在齿条支撑棒(107)上固定一齿轮夹持器(105)，该齿轮夹持器(105)上固定一直流电机(103)和一精密平移台(106)，在该精密平移台(106)上固定一悬臂横梁(108)，在该横梁(108)的通孔中装有多个光纤夹(109)，所述的光纤夹(109)用于固定光纤(110)的一端，在所述的光纤夹(109)的下方有一腐蚀容器(111)固定在一底座(112)上，该腐蚀容器(111)中装有酸溶液(114)和浮在酸溶液上的油层(113)，在另一底座(116)上固定一装有清洗溶剂(117)清洗容器(115)；所述的可编程控制电路板包括桥式电路(201)、可编程微处理器芯片(202)和拨码开关(203)；所说的桥式电路(201)用于控制电流的方向，从而控制电机的正反转；所说的拨码开关(203)主要用于设置输入可编程微处理器芯片(202)I/O的高低电平；所说的电机控制程序是指烧写在可编程微处理器芯片(202)内存中的根据制作光纤探针的工艺过程编制的控制驱动旋转电机(102)和直流电机(103)的转速、转向及相应速度的持续时间的自动运行的代码。2.根据权利要求1所述的可控的制备光纤探针的装置，其特征在于所述的拨码开关(203)系由多个8段拨码开关组成，每个8段拨码开关有256种组合。3.利用权利要求1所述的可控的制备光纤探针的装置制作光纤探针的方法，特征在于其流程如下①工作制备先将光纤110的一端固定于光纤夹109上，并用紧固螺钉...
【专利技术属性】
技术研发人员：罗继全，徐文东，范永涛，杨金涛，
申请(专利权)人：中国科学院上海光学精密机械研究所，
类型：发明
国别省市：31[中国|上海]
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