一种研磨机用调心和调高机构制造技术

本实用新型专利技术涉及一种研磨机用调心和调高机构，包括立板，立板的上方设置视觉系统组件，立板的前端设置用于执行Y轴和Z轴方向运动的移动组件和用于确定运动零点的传感器组件，移动组件上部衔接有与其配合的焊针固定组件，立板的后端设置用于执行X轴方向运动的直线运动模块。本实用新型专利技术增加视觉系统组件可根据Z轴方向视觉系统调整焊针X/Y轴位置，或根据Y轴方向视觉系统调整焊针X/Z轴位置，通过所述两套视觉系统反馈方式实现焊针在三个方向X/Y/Z上的精确位置调节，保证后续研磨加工的精度。

【技术实现步骤摘要】
一种研磨机用调心和调高机构
本技术涉及研磨机
，尤其是一种研磨机用调心和调高机构。
技术介绍
半导体封装焊针材质为陶瓷，其毛坯工艺有两种：喷射成型和干粉压铸成型，目前两种工艺都无法保证焊针内孔(图1中的C)与外圆(图1中的D)的绝对同心，如图1所示，同心度(TIR)的计算方法为：TIR＝B-A(B为内孔与外圆轮廓线的最大距离，A为内孔与外圆轮廓线的最小距离)，TIR一般在0～15μm左右，而焊针内孔直径也只有35μm左右，这就决定了在焊针内孔倒角加工时，必须进行调心动作，保证加工工具对准内孔的中心而不是外圆的中心。传统的焊针内孔倒角加工工艺一般无法直接处理Z轴的波动量，因为焊针内孔高度不一，若不调节焊针高度，则会对焊针内孔研磨的精度造成影响。
技术实现思路
本申请人针对上述现有生产技术中的缺点，提供一种研磨机用调心和调高机构，从而实现焊针高度的直接调整，通过将Z轴调节和X轴与Y轴调节结合，实现对焊针位置的系统校准，能高效精确地完成半导体封装焊针内孔加工时的调心和调高动作。本技术所采用的技术方案如下：一种研磨机用调心和调高机构，包括立板，立板的上方设置视觉系统组件，立板的前端设置用于执行Y轴和Z轴方向运动的移动组件和用于确定运动零点的传感器组件，移动组件上部衔接有与其配合的焊针固定组件，立板的后端设置用于执行X轴方向运动的直线运动模块。其进一步技术方案在于：移动组件包括平行间隔设置于立板前端下部的第一驱动组件和第二驱动组件，第一驱动组件位于第二驱动组件下方，第一驱动组件和第二驱动组件的一旁分别设置第一滑台和第二滑台，第一驱动组件通过第一滑台连接立板，第二驱动组件通过第二滑台连接立板；第一驱动组件的结构为：包括左右间隔设置的第三固定板和第一惰轮支架，第三固定板的后端安装第一驱动电机，第一驱动电机的输出轴穿过第三固定板，并在第三固定板的前端面安装第二惰轮，第一惰轮支架固接于立板的一侧，第一惰轮支架上与第二惰轮平行安装第一惰轮，第二惰轮和第一惰轮之间设置第一从动轮，第一从动轮也与第二惰轮平行，第一从动轮分别通过第一皮带和第二皮带连接第一惰轮和第二惰轮；第二驱动组件的结构为：包括左右间隔设置的第五固定板和第二惰轮支架，第五固定板的后端安装第二驱动电机，第二驱动电机的输出轴穿过第五固定板，并在第五固定板的前端面安装第四惰轮，第二惰轮支架固接于立板的一侧，第二惰轮支架上与第四惰轮平行安装第三惰轮，第四惰轮和第三惰轮之间设置第二从动轮，第二从动轮也与第四惰轮平行，第二从动轮分别通过第三皮带和第四皮带连接第三惰轮和第四惰轮；焊针固定组件包括设置于立板前端上部的固定支架，固定支架顶部插接焊针，固定支架的底部沿Z轴方向向下延伸形成阶梯状的固定轴，固定轴外周套接轴套，轴套底部连接第一固定板，轴套下方安装有用于固接轴套和固定轴的锁紧螺钉，第一固定板的底面两端固接垂直设置的支撑板，各支撑板与第二滑台的顶面之间还设置第二固定板，焊针固定组件通过第二固定板与移动组件衔接形成一体式结构；轴套的中下部设置法兰，轴套通过法兰固接于第一固定板顶面，第一固定板上还开设供轴套底部穿过的通孔；视觉系统组件包括Z轴方向视觉系统和Y轴方向视觉系统，Z轴方向视觉系统沿Z轴方向设置于焊针固定组件的上方，Y轴方向视觉系统沿Y轴方向设置于焊针固定组件的后方；传感器系统包括用于检测Z轴坐标的Z轴传感器和用于检测Y轴坐标的Y轴传感器，Z轴传感器安装于第一惰轮一侧的第二固定板侧面，Z轴传感器的测头朝下设置并与第二固定板垂直；Y轴传感器通过Y轴传感器支架安装于第一惰轮外侧的立板上，于Z轴传感器的同侧、在第一固定板上安装Y轴传感器感应片，Y轴传感器感应片的一端固接于第一固定板的侧面，其另一端沿水平方向延伸并垂直向下弯折形成“Z”字形结构；第一滑台的第一连接轴一端与相邻的第一从动轮配合，第一连接轴的另一端开设外螺纹，于第一滑台的内部相对第一连接轴设置带有内螺纹结构的固定套管，设有外螺纹的第一连接轴伸入第一滑台内部并与固定套管配合，第一连接轴和固定套管将第一从动轮的旋转运动转换成第一滑台沿Y轴方向的直线运动；第二滑台的第二连接轴一端与相邻的第二从动轮配合，第二连接轴的另一端伸入第二滑台内部并在第二连接轴末端安装涡轮，涡轮和第二连接轴同轴设置，于第二滑台内部、在涡轮的一侧还设置与第二滑台底面垂直的蜗杆，蜗轮和蜗杆相互啮合将第二从动轮的旋转运动转换成第二滑台沿Z轴方向的直线运动；第一驱动电机底部固接第四固定板，第二驱动电机顶部固接第六固定板，第一驱动电机和第二驱动电机分别通过第四固定板和第六固定板安装至第一转接板，形成一体式结构的移动组件。本技术的有益效果如下：本技术结构合理，操作方便，相较传统技术具有以下优势：增加视觉系统组件：根据Z轴方向视觉系统给出的内孔中心X/Y方向偏差提示，调整焊针X轴和Y轴位置使内孔圆心与显微镜头的轴心重合，而Y轴方向视觉系统不仅能检测焊针内孔的高度，还能检测X轴方向的偏移量，从而调整焊针Z轴位置使焊针内孔的高度一致，并辅助微调焊针X轴位置使定位更加准确；移动组件：能实现Z轴方向的直接调节，无需将Z轴的偏差转换成X轴或Y轴的偏差再进行调整，提高加工效率，通过电机带动滑台移动，同时配套可沿X轴滑动的立板，在视觉系统组件的辅助下完成运动，节省运动空间，调节精准稳定。附图说明图1为焊针内孔与外圆的位置关系示意图。图2为本技术的整体结构示意图。图3为图2的爆炸图。其中：1、视觉系统组件；101、Z轴方向视觉系统；102、Y轴方向视觉系统；2、立板；201、直线运动模块；3、焊针固定组件；301、焊针；302、固定支架；303、固定轴；304、轴套；3041、法兰；305、第一固定板；306、锁紧螺钉；307、支撑板；308、第二固定板；4、传感器组件；401、Z轴传感器；402、Y轴传感器感应片；403、Y轴传感器；404、Y轴传感器支架；5、第一驱动组件；501、第一惰轮支架；502、第一惰轮；503、第一皮带；504、第一从动轮；505、第二皮带；506、第三固定板；507、第二惰轮；508、第一驱动电机；509、第四固定板；6、第一滑台；7、第二滑台；8、第二驱动组件；801、第二惰轮支架；802、第三惰轮；803、第三皮带；804、第二从动轮；805、第四皮带；806、第五固定板；807、第四惰轮；808、第二驱动电机；809、第六固定板；9、转接板。具体实施方式下面结合附图，说明本技术的具体实施方式。如图2和3所示，本技术包括立板2，立板2的上方设置视觉系统组件1，立板2的前端设置用于执行Y轴和Z轴方向运动的移动组件和用于确定运动零点的传感器组件4，移动组件上部衔接有与其配合的焊针固定组件3，立板2的后端设置用于执行X轴方向运动的直线运动模块201。移动组件包括平行间隔设置于立板2前端下部的第一驱动组件5和第二驱动组本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种研磨机用调心和调高机构，其特征在于：包括立板(2)，所述立板(2)的上方设置视觉系统组件(1)，所述立板(2)的前端设置用于执行Y轴和Z轴方向运动的移动组件和用于确定运动零点的传感器组件(4)，所述移动组件上部衔接有与其配合的焊针固定组件(3)，所述立板(2)的后端设置用于执行X轴方向运动的直线运动模块(201)。/n

【技术特征摘要】
1.一种研磨机用调心和调高机构，其特征在于：包括立板(2)，所述立板(2)的上方设置视觉系统组件(1)，所述立板(2)的前端设置用于执行Y轴和Z轴方向运动的移动组件和用于确定运动零点的传感器组件(4)，所述移动组件上部衔接有与其配合的焊针固定组件(3)，所述立板(2)的后端设置用于执行X轴方向运动的直线运动模块(201)。


2.如权利要求1所述的一种研磨机用调心和调高机构，其特征在于：所述移动组件包括平行间隔设置于立板(2)前端下部的第一驱动组件(5)和第二驱动组件(8)，所述第一驱动组件(5)位于第二驱动组件(8)下方，所述第一驱动组件(5)和第二驱动组件(8)的一旁分别设置第一滑台(6)和第二滑台(7)，所述第一驱动组件(5)通过第一滑台(6)连接立板(2)，第二驱动组件(8)通过第二滑台(7)连接立板(2)。


3.如权利要求2所述的一种研磨机用调心和调高机构，其特征在于：第一驱动组件(5)的结构为：包括左右间隔设置的第三固定板(506)和第一惰轮支架(501)，所述第三固定板(506)的后端安装第一驱动电机(508)，所述第一驱动电机(508)的输出轴穿过第三固定板(506)，并在所述第三固定板(506)的前端面安装第二惰轮(507)，所述第一惰轮支架(501)固接于立板(2)的一侧，所述第一惰轮支架(501)上与第二惰轮(507)平行安装第一惰轮(502)，所述第二惰轮(507)和第一惰轮(502)之间设置第一从动轮(504)，所述第一从动轮(504)也与第二惰轮(507)平行，所述第一从动轮(504)分别通过第一皮带(503)和第二皮带(505)连接第一惰轮(502)和第二惰轮(507)；第二驱动组件(8)的结构为：包括左右间隔设置的第五固定板(806)和第二惰轮支架(801)，所述第五固定板(806)的后端安装第二驱动电机(808)，所述第二驱动电机(808)的输出轴穿过第五固定板(806)，并在所述第五固定板(806)的前端面安装第四惰轮(807)，所述第二惰轮支架(801)固接于立板(2)的一侧，所述第二惰轮支架(801)上与第四惰轮(807)平行安装第三惰轮(802)，所述第四惰轮(807)和第三惰轮(802)之间设置第二从动轮(804)，所述第二从动轮(804)也与第四惰轮(807)平行，所述第二从动轮(804)分别通过第三皮带(803)和第四皮带(805)连接第三惰轮(802)和第四惰轮(807)；所述第一驱动电机(508)底部固接第四固定板(509)，第二驱动电机(808)顶部固接第六固定板(809)，所述第一驱动电机(508)和第二驱动电机(808)分别通过第四固定板(509)和第六固定板(809)安装至第一转接板(9)，形成一体式结构的移动组件。


4.如权利要求1所述的一种研磨机用调心和调高机构，其特征在于：所述焊针固定组件(3)包括设置于立板(2)前端上部的固定支架(302...

【专利技术属性】
技术研发人员：高兴森，李向超，
申请(专利权)人：江苏微影智能装备有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32