【技术实现步骤摘要】
一种机械手臂用防静电支撑块
本技术涉及半导体和平板显示器生产设备领域,特别涉及一种机械手臂用防静电支撑块。
技术介绍
在显示面板的制造过程中,不可避免的会使用真空设备在玻璃基板上进行镀膜,制作薄膜晶体管TFT所需要的各层膜。玻璃基板在这些真空设备中,通过机械手臂进行取放,玻璃基板在机械手臂上的固定只是依靠机械手臂上支撑块的摩擦力,在使用一定时间后,因磨损导致支撑块表面花纹变平,与玻璃基板背面接触面积变大。当机械手臂将玻璃基板送至其他地方时,在玻璃基板与支撑块分离时,容易造成支撑块表面和玻璃基板表面之间形成上千伏的电压,导致玻璃基板上方的薄膜晶体管TFT内静电大量积累,甚至被击穿失效。但支撑块一般为peek或陶瓷材质,导电率极低,其自身积累的静电也无法有效释放,会积累越来越多的静电,造成静电击穿现象越来越频繁和严重。
技术实现思路
为解决上述技术问题,本技术公开了一种能有效释放静电的机械手臂用防静电支撑块。本技术的技术方案为:一种机械手臂用防静电支撑块,包括支撑块本体,所述支撑块本体上侧设有一体成型的格子形条带凸起,所述格子形条带凸起的每个格子内均嵌入固定有金属球,所述金属球均与固定在所述支撑块本体内的氖气真空管一个电极连接,所述氖气真空管的另一个电极接地。进一步的,所述金属球为铜球或铝球。进一步的,所述格子形条带凸起的高度为1~4mm。进一步的,所述格子形条带凸起的高度大于所述金属球在所述支撑块本体上侧的高度,高度差为0~100um。进一步的,所述支撑块本体 ...
【技术保护点】
1.一种机械手臂用防静电支撑块,包括支撑块本体,其特征在于:所述支撑块本体上侧设有一体成型的格子形条带凸起,所述格子形条带凸起的每个格子内均嵌入固定有金属球,所述金属球均与固定在所述支撑块本体内的氖气真空管一个电极连接,所述氖气真空管的另一个电极接地。/n
【技术特征摘要】
1.一种机械手臂用防静电支撑块,包括支撑块本体,其特征在于:所述支撑块本体上侧设有一体成型的格子形条带凸起,所述格子形条带凸起的每个格子内均嵌入固定有金属球,所述金属球均与固定在所述支撑块本体内的氖气真空管一个电极连接,所述氖气真空管的另一个电极接地。
2.根据权利要求1所述的一种机械手臂用防静电支撑块,其特征在于:所述金属球为铜球或铝球。
3.根据权...
【专利技术属性】
技术研发人员:黄福田,魏博,宋旗东,
申请(专利权)人:烟台盛鑫金属表面技术有限公司,
类型:新型
国别省市:山东;37
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