一种自动滴胶纳米压印设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种自动滴胶纳米压印设备，包括腔体，腔体的内腔通过升降装置固定连接有加热盘，加热盘的上表面固定装配有托盘，托盘内开设有第一真空槽，托盘通过第一真空槽真空吸附有基板，腔体的上侧壁通过连接架固定装配有承压板，承压板内开设有第二真空槽，安装架的上表面开设有滑槽，滑槽内滑动连接有自动滴胶装置。在腔体内设置有升降装置、加热盘、托盘、基板和承压板，通过升降装置、加热盘、托盘、基板和承压板完成纳米压印操作，在进行纳米压印的过程中，通过自动滴胶装置向基板的表面滴加光刻胶，从而不再需要使用到人工向基板的表面进行滴胶，大大提高压印的效率，降低了生产成本。

【技术实现步骤摘要】
一种自动滴胶纳米压印设备
本技术涉及压印
，具体为一种自动滴胶纳米压印设备。
技术介绍
纳米压印技术是华裔科学家周郁在1995年专利技术的一项成本低廉、分辨率高的光刻技术。在纳米压印中，相当昂贵的光刻只需要用一次来制备印章，就可以大量生产复制品。因此纳米图案复制领域一直是各国科学家研究的热点，各种纳米压印设备也应运而生。在目前的纳米压印的过程中大多数采用人工滴胶的方式，通过此种方式进行滴胶，不仅浪费了大量的人力，而且不利于批量化的生产。为此，我们提出一种自动滴胶纳米压印设备。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种自动滴胶纳米压印设备，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种自动滴胶纳米压印设备，包括腔体，所述腔体的内腔通过升降装置固定连接有加热盘，所述加热盘的上表面固定装配有托盘，所述托盘内开设有第一真空槽，所述托盘通过第一真空槽真空吸附有基板，所述腔体的上侧壁通过连接架固定装配有承压板，所述承压板内开设有第二真空槽，所述承压板通过第二真空槽真空吸附有软膜，所述腔体的上侧壁固定本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种自动滴胶纳米压印设备，包括腔体(1)，其特征在于：所述腔体(1)的内腔通过升降装置(2)固定连接有加热盘(3)，所述加热盘(3)的上表面固定装配有托盘(4)，所述托盘(4)内开设有第一真空槽(5)，所述托盘(4)通过第一真空槽(5)真空吸附有基板(6)，所述腔体(1)的上侧壁通过连接架固定装配有承压板(7)，所述承压板(7)内开设有第二真空槽(8)，所述承压板(7)通过第二真空槽(8)真空吸附有软膜(9)，所述腔体(1)的上侧壁固定安装有紫外灯(10)，所述腔体(1)的左侧壁固定安装有安装架(11)，所述安装架(11)的上表面开设有滑槽(12)，所述滑槽(12)内滑动连接有自动滴胶装置...

【技术特征摘要】
1.一种自动滴胶纳米压印设备，包括腔体(1)，其特征在于：所述腔体(1)的内腔通过升降装置(2)固定连接有加热盘(3)，所述加热盘(3)的上表面固定装配有托盘(4)，所述托盘(4)内开设有第一真空槽(5)，所述托盘(4)通过第一真空槽(5)真空吸附有基板(6)，所述腔体(1)的上侧壁通过连接架固定装配有承压板(7)，所述承压板(7)内开设有第二真空槽(8)，所述承压板(7)通过第二真空槽(8)真空吸附有软膜(9)，所述腔体(1)的上侧壁固定安装有紫外灯(10)，所述腔体(1)的左侧壁固定安装有安装架(11)，所述安装架(11)的上表面开设有滑槽(12)，所述滑槽(12)内滑动连接有自动滴胶装置(13)，所述腔体(1)的左侧壁固定安装有电动伸缩杆(14)，且电动伸缩杆(14)的输出端插接至自动滴胶装置(13)内。


2.根据权利要求1所述的一种自动滴胶纳米压印设备，其特征在于：所述升降装置(2)包括固定安装在腔体(1)内腔的升降台(21)，所述升降台(21)内固定安装有电机(22)，所述电机(22)的输出端固定连接有转动螺杆(23)，所述转动螺杆(23)的顶端螺接有固定块(24)，所述固定块(24)固定安装在加热盘(3)的下侧壁，所述加热盘(3)的下侧壁与腔体(1)之间装配有定位机构(25)。


3.根据权利要求2所述的一种自动滴胶纳米压印设备，其特征在于：所述定位机...

【专利技术属性】
技术研发人员：冀然，
申请(专利权)人：青岛天仁微纳科技有限责任公司，
类型：新型
国别省市：山东;37