一种晶圆高效率甩干的甩干机设备制造技术

本发明专利技术公开了一种晶圆高效率甩干的甩干机设备，包括：机架，所述机架包括基座、第一放置座，所述第一放置座固定在基座上表面，所述第一放置座固定在基座上表面，第一放置座正下方的基座设有动力装置槽；甩干室，所述甩干室包括下甩干室和上盖，所述下甩干室安装在第一放置座，下甩干室上具有废液出口，下甩干室内部具有甩干装置，所述甩干装置，所述上盖连接用于上盖打开或闭合的提升装置；动力装置，所述动力装置放置在动力装置槽内，动力装置连接甩干装置。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆高效率甩干的甩干机设备
本专利技术涉及晶圆甩设备领域，具体是一种晶圆高效率甩干的甩干机设备。
技术介绍
现在社会的发展迅速，智能电子产品在人们生活中的使用时越来越多，智能电子产品的智能芯片是核心产品，需求量巨大。芯片是由晶圆进行加工后得到的，晶圆的加工流程中需要首先要进行表面清洗，清洗过后的晶圆需要进行干燥后在进行下一次的加工，现有的晶圆干燥方式需要长时间，工作效率低，不利于晶圆的快速加工。为此本专利技术提供一种晶圆高效率甩干的甩干机设备。
技术实现思路
本专利技术为解决现有技术的问题，提供了一种晶圆高效率甩干的甩干机设备，包括：机架，所述机架包括基座、第一放置座，所述第一放置座固定在基座上表面，所述第一放置座固定在基座上表面，第一放置座正下方的基座设有动力装置槽；甩干室，所述甩干室包括下甩干室和上盖，所述下甩干室安装在第一放置座，下甩干室上具有废液出口，下甩干室内部具有甩干装置，所述甩干装置，所述上盖连接用于上盖打开或闭合的提升装置；动力装置，所述动力装置放置在动力装置槽内，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种晶圆高效率甩干的甩干机设备，其特征在于，包括：/n机架，所述机架包括基座(11)、第一放置座(12)，所述第一放置座(12)固定在基座(11)上表面，所述第一放置座(12)固定在基座(11)上表面，第一放置座(13)正下方的基座(11)设有动力装置槽(13)；/n甩干室，所述甩干室包括下甩干室(21)和上盖(22)，所述下甩干室(21)安装在第一放置座(12)，下甩干室(21)上具有废液出口(211)，下甩干室(21)内部具有甩干装置，所述甩干装置，所述上盖(22)连接用于上盖打开或闭合的提升装置；/n动力装置，所述动力装置放置在动力装置槽(13)内，动力装置连接甩干装置。/n

【技术特征摘要】
1.一种晶圆高效率甩干的甩干机设备，其特征在于，包括：
机架，所述机架包括基座(11)、第一放置座(12)，所述第一放置座(12)固定在基座(11)上表面，所述第一放置座(12)固定在基座(11)上表面，第一放置座(13)正下方的基座(11)设有动力装置槽(13)；
甩干室，所述甩干室包括下甩干室(21)和上盖(22)，所述下甩干室(21)安装在第一放置座(12)，下甩干室(21)上具有废液出口(211)，下甩干室(21)内部具有甩干装置，所述甩干装置，所述上盖(22)连接用于上盖打开或闭合的提升装置；
动力装置，所述动力装置放置在动力装置槽(13)内，动力装置连接甩干装置。


2.根据权利要求1所述的一种晶圆高效率甩干的甩干机设备，其特征在于，所述提升装置包括固定在基座(11)上表面的放置块(31)、横梁(32)、提升旋转气缸(33)，所述放置块(31)具有气缸放置槽(34)，所述提升旋转气缸(33)底座安装在气缸放置槽(34)底部，提升旋转气缸(33)顶端固连横梁(32)。


3.根据权利要求2所述的一种晶圆高效率甩干的甩干机设备，其特征在于，所述放置块的顶端固定有支撑座(311)，所述支撑座(311)用于对横梁(32)进行支撑。


4.根据权利要求2所述的一种晶圆高效率甩干的甩干机设备，其特征在于，所述横梁(32)上固定有配重块(321)，用于保持横梁(32)的稳定性。


5.根据权利要求1所述的一种晶圆高效率甩干的甩干机设备，其特征在于，还包括吹气装置，所述吹气装置包括安装在基座(11)上的...

【专利技术属性】
技术研发人员：田英干，
申请(专利权)人：嘉兴晶装电子科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江;33