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本发明公开了一种晶圆高效率甩干的甩干机设备，包括：机架，所述机架包括基座、第一放置座，所述第一放置座固定在基座上表面，所述第一放置座固定在基座上表面，第一放置座正下方的基座设有动力装置槽；甩干室，所述甩干室包括下甩干室和上盖，所述下甩干室安...
该专利属于嘉兴晶装电子科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过嘉兴晶装电子科技股份有限公司授权不得商用。

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