【技术实现步骤摘要】
一种密封保温性能较好的单晶硅拉棒原料融化装置
本技术涉及太阳能级单晶硅拉棒
,具体为一种密封保温性能较好的单晶硅拉棒原料融化装置。
技术介绍
单晶硅,又称硅单晶,是一种半导体材料。单晶炉是一种在惰性气体环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,并用直拉法生长无错位单晶硅的设备。单晶炉主要包括机架、坩埚驱动装置、主炉室、翻板阀、副炉室、籽晶提升机构、液压驱动装置、真空系统、冲氩气系统及水冷系统。其中主炉室上部与翻板阀密封连接,副炉室放在翻板阀上,主炉室是单晶炉的心脏部位,且热场系统安装在主炉室内。现有的热场结构在化料时石英坩埚有部分位置未受热,因此原料融化速度会变慢,相对下拉棒的准备时间变长,为此,我们提出一种密封保温性能较好的单晶硅拉棒原料融化装置。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种密封保温性能较好的单晶硅拉棒原料融化装置,以解决上述
技术介绍
中提出的现有的原料融化时间偏长问题。为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种密封保温性能较好的单晶硅拉棒原料融化装置,包括主加热器、化料加热器、底部加热器、承载炉、化料加热器脚架、底座、保温装置、主加热器脚架、脚座和六个电极孔,其特征在于:所述保温装置底部链接承载炉,所述承载炉外上段包设有主加热器,所述承载炉的外侧下段包设有化料加热器,且主加热器、化料加热器通过主加热器脚架、化料加热器脚架固定链接与底座,所述承载炉的底部设置有底部加热器,所述主加热器脚架的底部链接有脚座,所述底座的底部设有六个电极孔。优选的,所述化料加热器 ...
【技术保护点】
1.一种密封保温性能较好的单晶硅拉棒原料融化装置,包括主加热器(1)、化料加热器(2)、底部加热器(3)、承载炉(4)、化料加热器脚架(5)、底座(6)、保温装置(7)、主加热器脚架(8)、脚座(9)和六个电极孔(10),其特征在于:所述保温装置(7)底部链接承载炉(4),所述承载炉(4)外上段包设有主加热器(1),所述承载炉(4)的外侧下段包设有化料加热器(2),且主加热器(1)、化料加热器(2)通过主加热器脚架(8)、化料加热器脚架(5)固定链接与底座(6),所述承载炉(4)的底部设置有底部加热器(3),所述主加热器脚架(8)的底部链接有脚座(9),所述底座(6)的底部设有六个电极孔(10)。/n
【技术特征摘要】
1.一种密封保温性能较好的单晶硅拉棒原料融化装置,包括主加热器(1)、化料加热器(2)、底部加热器(3)、承载炉(4)、化料加热器脚架(5)、底座(6)、保温装置(7)、主加热器脚架(8)、脚座(9)和六个电极孔(10),其特征在于:所述保温装置(7)底部链接承载炉(4),所述承载炉(4)外上段包设有主加热器(1),所述承载炉(4)的外侧下段包设有化料加热器(2),且主加热器(1)、化料加热器(2)通过主加热器脚架(8)、化料加热器脚架(5)固定链接与底座(6),所述承载炉(4)的底部设置有底部加热器(3),所述主加热器脚架(8)的底部链接有脚座(9),所述底座(6)的底部设有六个电极孔(10)。<...
【专利技术属性】
技术研发人员:杨昊,
申请(专利权)人:弘元新材料包头有限公司,
类型:新型
国别省市:内蒙古;15
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