一种发热均匀的单晶炉热场加热器制造技术

本实用新型专利技术涉及单晶炉热场加热器技术领域，且公开了一种发热均匀的单晶炉热场加热器，包括加热器主体，所述加热器主体的底部开设有契合槽，所述契合槽的左右两侧其位于加热器主体的内壁均开设有滑槽，所述滑槽远离契合槽的一侧且位于加热器主体的内部均开设有卡孔。该发热均匀的单晶炉热场加热器，通过加热器主体的内部设置有契合槽和滑槽，支撑脚的顶部设置有契合板和滑块，便于支撑脚通过契合板和滑块快速插入契合槽和滑槽的内部，与加热器主体活动连接，从而实现快速安装定位，通过滑块的内部设置有贯穿孔、活动腔、限位槽、活动弹簧、卡柱和限位块，便于卡柱通过活动弹簧的弹力在滑块的内部左右移动。

【技术实现步骤摘要】
一种发热均匀的单晶炉热场加热器
本技术涉及单晶炉热场加热器
，具体为一种发热均匀的单晶炉热场加热器。
技术介绍
单晶炉是一种在惰性气体(氮气和氦气为主)环境中，用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生长无错位单晶的设备，单晶直径在生长过程中可受到温度，提拉速度与转速，坩埚跟踪速度与转速，保护气体的流速等因素的影响，其中温度主要决定能否成晶，而速度将直接影响到晶体的内在质量，而这种影响却只能在单晶拉出后通过检测才能获知，温度分布合适的热场，不仅单晶生长顺利，而且品质较高。目前，加热器是单晶炉热场的重要组成部件之一，是为单晶炉供热的发热部件，然而在使用过程中，一般单晶炉每运行五次就需要将加热器拆下进行清洁，频繁的拆卸和安装加热器会使得支撑脚与石墨电极的接触面产生磨损，造成接触面不平整，这样会导致单晶炉运行时，石墨电极与支撑脚之间产生打火事故，造成安全隐患，而由于加热器与支撑脚为一体成型，当支撑脚磨损时，就需要更换整个加热器，增加了设备的维修成本，故而提出一种发热均匀的单晶炉热场加热器解决上述问题。r>
技术实现思路
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【技术保护点】
1.一种发热均匀的单晶炉热场加热器，包括加热器主体(1)，其特征在于：所述加热器主体(1)的底部开设有契合槽(2)，所述契合槽(2)的左右两侧其位于加热器主体(1)的内壁均开设有滑槽(3)，所述滑槽(3)远离契合槽(2)的一侧且位于加热器主体(1)的内部均开设有卡孔(4)，所述契合槽(2)的内部活动安装有契合板(5)，所述契合板(5)的底部固定连接有支撑脚(6)，所述契合板(5)的左右两侧均固定连接有滑块(7)，所述滑块(7)远离契合板(5)的一侧开设有贯穿孔(8)，所述滑块(7)的内部开设有活动腔(9)，所述滑块(7)的内顶壁和内底壁均开设有限位槽(10)，所述活动腔(9)的内部活动安装有活...

【技术特征摘要】
1.一种发热均匀的单晶炉热场加热器，包括加热器主体(1)，其特征在于：所述加热器主体(1)的底部开设有契合槽(2)，所述契合槽(2)的左右两侧其位于加热器主体(1)的内壁均开设有滑槽(3)，所述滑槽(3)远离契合槽(2)的一侧且位于加热器主体(1)的内部均开设有卡孔(4)，所述契合槽(2)的内部活动安装有契合板(5)，所述契合板(5)的底部固定连接有支撑脚(6)，所述契合板(5)的左右两侧均固定连接有滑块(7)，所述滑块(7)远离契合板(5)的一侧开设有贯穿孔(8)，所述滑块(7)的内部开设有活动腔(9)，所述滑块(7)的内顶壁和内底壁均开设有限位槽(10)，所述活动腔(9)的内部活动安装有活动弹簧(11)，所述活动弹簧(11)远离契合板(5)的一端固定连接有卡柱(12)，所述卡柱(12)的顶部和底部均固定连接有限位块(13)，所述卡柱(12)的外部套装有固定螺母(14)。


2.根据权利要求1所述的一种发热均匀的单晶炉热场加热器，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：高俊伟，罗乾，陈健，陈立民，韩永龙，
申请(专利权)人：阳光能源青海有限公司，
类型：新型
国别省市：青海;63