一种直拉单晶炉热场系统用的下反射板技术方案

本实用新型专利技术涉及单晶炉技术领域，且公开了一种直拉单晶炉热场系统用的下反射板，包括底板，所述底板的顶部固定安装有围板，所述底板的顶部固定安装有贯穿底板的托杆座，所述托杆座的顶部与底部均嵌设有花键轴承，所述托杆座的内部填充有位于花键轴承相对一侧的第一填料，所述围板的与底板的顶部均开设有固定孔，所述底板的顶部固定安装有数量为两个且分别位于托杆座左右两侧并贯穿底板的电极座。该直拉单晶炉热场系统用的下反射板，可在安装时对电极高度进行微调，提高精度、生产加工环境等因素的影响下存在误差的电极适配性，使其完好的与坩埚进行组合，提高热传导率，与加热效率，避免热量大量散失。

【技术实现步骤摘要】
一种直拉单晶炉热场系统用的下反射板
本技术涉及单晶炉
，具体为一种直拉单晶炉热场系统用的下反射板。
技术介绍
单晶炉是一种在惰性气体环境中，用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生长无错位单晶的设备，单晶直径在生长过程中可受到温度，提拉速度与转速，坩埚跟踪速度与转速，保护气体的流速等因素的影响，其中温度主要决定能否成晶，而速度将直接影响到晶体的内在质量，而这种影响却只能在单晶拉出后通过检测才能获知，温度分布合适的热场，不仅单晶生长顺利，而且品质较高；如果热场的温度分布不是很合理，生长单晶的过程中容易产生各种缺陷，影响质量，情况严重的出现变晶现象生长不出来单晶。传统的直拉单晶炉热场系统用下反射板，在进行安装组装时，无法进行电极高度微调，对于安装在坩埚底部的电极适配性较低，在精度、生产加工环境等因素的影响下，电极难以完全与坩埚进行组合，导致热量存在较大的散失，加热效率降低，故而提出了一种直拉单晶炉热场系统用的下反射板来解决上述提出的问题。
技术实现思路
(一)解决的技术问题针对现有技术的不足，本技术提供了本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种直拉单晶炉热场系统用的下反射板，包括底板(1)，其特征在于：所述底板(1)的顶部固定安装有围板(2)，所述底板(1)的顶部固定安装有贯穿底板(1)的托杆座(3)，所述托杆座(3)的顶部与底部均嵌设有花键轴承(4)，所述托杆座(3)的内部填充有位于花键轴承(4)相对一侧的第一填料(5)，所述围板(2)的与底板(1)的顶部均开设有固定孔(6)，所述底板(1)的顶部固定安装有数量为两个且分别位于托杆座(3)左右两侧并贯穿底板(1)的电极座(7)，所述电极座(7)的内壁相背一侧均开设有限位槽(8)，所述电极座(7)的顶部均固定安装有延伸至电极座(7)内部的封盖(9)，所述电极座(7)的内部均填...

【技术特征摘要】
1.一种直拉单晶炉热场系统用的下反射板，包括底板(1)，其特征在于：所述底板(1)的顶部固定安装有围板(2)，所述底板(1)的顶部固定安装有贯穿底板(1)的托杆座(3)，所述托杆座(3)的顶部与底部均嵌设有花键轴承(4)，所述托杆座(3)的内部填充有位于花键轴承(4)相对一侧的第一填料(5)，所述围板(2)的与底板(1)的顶部均开设有固定孔(6)，所述底板(1)的顶部固定安装有数量为两个且分别位于托杆座(3)左右两侧并贯穿底板(1)的电极座(7)，所述电极座(7)的内壁相背一侧均开设有限位槽(8)，所述电极座(7)的顶部均固定安装有延伸至电极座(7)内部的封盖(9)，所述电极座(7)的内部均填充有位于封盖(9)底部的第二填料(10)，所述封盖(9)的顶部固定安装有支撑筒(11)，所述支撑筒(11)的外部均固定安装有连接轴承(12)，所述连接轴承(12)的外部均固定安装有位于支撑筒(11)顶部的传动盖(13)，所述传动盖(13)的外部均固定安装有环形把手(14)，所述传动盖(13)的顶部插装有贯穿传动盖(13)、支撑筒(11)与封盖(9)并通过电极座(7)延伸至底板(1)底部的连接筒(15)，所述连接筒(15)的底端相背一侧均固定安装有延伸...

【专利技术属性】
技术研发人员：宋生宏，罗乾，陈立民，高俊伟，陈健，
申请(专利权)人：阳光能源青海有限公司，
类型：新型
国别省市：青海;63