全自动超声清洗机烘箱滤网制造技术

本实用新型专利技术公开了全自动超声清洗机烘箱滤网，属于硅片制备领域，全自动超声清洗机烘箱滤网，包括过滤笼，所述过滤笼呈笼状设置，所述过滤笼前侧端面为不封闭设置，所述过滤笼内腔设置有收纳托盘，所述过滤笼前侧端面左右对称分别设置有限位组件，所述收纳托盘呈矩形环状设置，所述收纳托盘内壁靠近中间处固定连接有放置板，所述放置板顶面开设有若干个均匀分布的通孔，所述限位组件包括通槽，所述通槽均开设在过滤笼侧壁靠近前侧处，所述通槽内活动连接有挡板，它可以实现，全自动硅片清洗机烘箱滤网两侧定位装置取消，增加滤网重量，采取花篮及自身重量来定位，防止硅片花篮位移造成压篮事故，具有具备收纳碎片的作用。具有具备收纳碎片的作用。具有具备收纳碎片的作用。

【技术实现步骤摘要】
全自动超声清洗机烘箱滤网


[0001]本技术涉及硅片制备领域，更具体地说，涉及全自动超声清洗机烘箱滤网。

技术介绍

[0002]超声波在液体中传播，使液体与清洗槽在超声波频率下一起振动，液体与清洗槽振动时有自己固有频率，这种振动频率是声波频率，超声波在清洗液中疏密相间的向前辐射，使液体流动而产生数以万计的直径为50
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500μm的微小气泡，存在于液体中的微小气泡在声场的作用下振动，以达到超声清洗的目的。
[0003]在硅片制备过程中，将硅材料切割完毕后，需要进行清洗处理，由于硅材料清洗时需要保证其稳定性，通常采用自动化设备配合超声清洗机使用，从而形成全自动超声清洗机。
[0004]目前应用在硅片清洗领域中的清洗机，由于清洗机烘箱滤网要不定时取出清理碎片，滤网上方有硅片花篮定位装置，安装操作时需反复确认安装方向，安装错误易造成清洗机机械臂压篮事故，增大了硅片清洗时的废品率。

技术实现思路

[0005]1.要解决的技术问题
[0006]针对现有技术中存在的问题，本技术的目的在于提供全自动超声清洗机烘箱滤网，它可以实现，全自动硅片清洗机烘箱滤网两侧定位装置取消，增加滤网重量，采取花篮及自身重量来定位，防止硅片花篮位移造成压篮事故，具有具备收纳碎片的作用。
[0007]2.技术方案
[0008]为解决上述问题，本技术采用如下的技术方案。
[0009]全自动超声清洗机烘箱滤网，包括过滤笼，所述过滤笼呈笼状设置，所述过滤笼前侧端面为不封闭设置，所述过滤笼内腔设置有收纳托盘，所述过滤笼前侧端面左右对称分别设置有限位组件。
[0010]进一步的，所述收纳托盘呈矩形环状设置，所述收纳托盘内壁靠近中间处固定连接有放置板，所述放置板顶面开设有若干个均匀分布的通孔。
[0011]进一步的，所述限位组件包括通槽，所述通槽均开设在过滤笼侧壁靠近前侧处，所述通槽内活动连接有挡板，所述过滤笼前侧端面对称开设有两个螺孔，所述螺孔内螺纹连接有螺钉，所述螺钉与挡板相抵。
[0012]进一步的，所述过滤笼上下侧壁位于边角处均开设有若干个预留孔，所述预留孔内均设置有橡胶塞。
[0013]进一步的，所述挡板前侧壁均开设有限位槽，所述螺钉与限位槽相抵。
[0014]进一步的，所述收纳托盘前侧壁固定连接有把手。
[0015]3.有益效果
[0016]相比于现有技术，本技术的优点在于：
[0017](1)本方案通过过滤笼和收纳托盘等之间的相互配合，取消了传统烘箱滤网两侧的定位装置，增加10％滤网自身重量，采取花篮及自身重量来定位，防止硅片花篮位移造成压篮事故，烘箱滤网定位取消后操作清理碎硅片时，不用反复确认滤网方向，有效避免因安装不到位造成机械臂压篮事故；同时在清洗过程中产生的碎片可利用收纳托盘进行收纳，便于后续的清理。
[0018](2)本方案通过过滤笼、收纳托盘和限位组件等之间的相互配合，当收纳托盘放置在过滤笼内部后，可将两侧挡板拉出，并利用螺钉进行固定，确保收纳托盘在过滤笼内部的稳定性，防止出现晃动等现象。
附图说明
[0019]图1为本技术的结构示意图；
[0020]图2为本技术中过滤笼的结构示意图；
[0021]图3为本技术中收纳托盘的结构示意图；
[0022]图4为本技术图1中的A处放大图。
[0023]图中标号说明：
[0024]1、过滤笼；2、收纳托盘；3、放置板；4、通孔；5、通槽；6、挡板；7、螺钉；8、预留孔；9、橡胶塞；10、限位槽；11、把手。
具体实施方式
[0025]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述；显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例，基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0026]实施例1：
[0027]请参阅图1
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4，全自动超声清洗机烘箱滤网，包括过滤笼1，过滤笼1呈笼状设置，过滤笼1前侧端面为不封闭设置，过滤笼1内腔设置有收纳托盘2，过滤笼1前侧端面左右对称分别设置有限位组件。
[0028]参阅图1和图3，收纳托盘2呈矩形环状设置，收纳托盘2内壁靠近中间处固定连接有放置板3，放置板3顶面开设有若干个均匀分布的通孔4，收纳托盘2前侧壁固定连接有把手11，且把手11与过滤笼1处于平齐状态，方便将过滤笼1稳定放置在清洗机内。
[0029]通过过滤笼1和收纳托盘2等之间的相互配合，取消了传统烘箱滤网两侧的定位装置，增加10％滤网自身重量，采取花篮及自身重量来定位，防止硅片花篮位移造成压篮事故，烘箱滤网定位取消后操作清理碎硅片时，不用反复确认滤网方向，有效避免因安装不到位造成机械臂压篮事故；同时在清洗过程中产生的碎片可利用收纳托盘2进行收纳，便于后续的清理。
[0030]参阅图1和图4，限位组件包括通槽5，通槽5均开设在过滤笼1侧壁靠近前侧处，通槽5内活动连接有挡板6，过滤笼1前侧端面对称开设有两个螺孔，螺孔内螺纹连接有螺钉7，螺钉7与挡板6相抵，挡板6前侧壁均开设有限位槽10，螺钉7与限位槽10相抵，利用限位槽10可对挡板6进行限位，通过过滤笼1、收纳托盘2和限位组件等之间的相互配合，当收纳托盘2
放置在过滤笼1内部后，可将两侧挡板6拉出，并利用螺钉7进行固定，确保收纳托盘2在过滤笼1内部的稳定性，防止出现晃动等现象。
[0031]参阅图1和图4，过滤笼1上下侧壁位于边角处均开设有若干个预留孔8，预留孔8内均设置有橡胶塞9，通过设置预留孔8可根据实际需求在过滤笼1上安装定位组件，适应不同需求的硅片清洗要求。
[0032]在使用时：首先将收纳托盘2放置在过滤笼1内部，再将挡板6向收纳托盘2中心一侧移动，当挡板6移动至合适的位置后，拧紧螺钉7对挡板6进行锁紧，避免在使用过程中收纳托盘2发生晃动等现象，随后将过滤笼1放置在清洗机内部，利用过滤笼1的自身重量进行定位，防止硅片花篮位移造成压篮事故，在对硅片清洗过程中，产生的碎片可掉落在收纳托盘2内，方便后续的清理。
[0033]以上所述，仅为本技术较佳的具体实施方式；但本技术的保护范围并不局限于此。任何熟悉本
的技术人员在本技术揭露的技术范围内，根据本技术的技术方案及其改进构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本技术的保护范围内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.全自动超声清洗机烘箱滤网，包括过滤笼(1)，其特征在于：所述过滤笼(1)呈笼状设置，所述过滤笼(1)前侧端面为不封闭设置，所述过滤笼(1)内腔设置有收纳托盘(2)，所述过滤笼(1)前侧端面左右对称分别设置有限位组件。2.根据权利要求1所述的全自动超声清洗机烘箱滤网，其特征在于：所述收纳托盘(2)呈矩形环状设置，所述收纳托盘(2)内壁靠近中间处固定连接有放置板(3)，所述放置板(3)顶面开设有若干个均匀分布的通孔(4)。3.根据权利要求1所述的全自动超声清洗机烘箱滤网，其特征在于：所述限位组件包括通槽(5)，所述通槽(5)均开设在过滤笼(1)侧壁靠近前侧处，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨昊，王克克，张浩浩，樊欢欢，贾哲，
申请(专利权)人：弘元新材料包头有限公司，
类型：新型
国别省市：