一种直拉单晶的自动调温方法技术

本发明专利技术公开了一种直拉单晶的自动调温方法，包括以下操作步骤：点击自动调温，籽晶自动提升至上限位并进行籽晶稳定，自动完成副室净化，籽晶降低至固定晶位，同时利用液温判定是否继续下降，利用晶升慢速将籽晶降到液面，并开始试温，温度适合熔接后，慢速降籽晶，系统分步采集籽晶直径，利用直径收缩幅度，判定籽晶是否熔接完成，开始降低功率，功率回至引放功率，并开始稳温，利用CCD视觉判定温度是否合适，并开始引晶，完成全自动调温，直至稳温完成。本发明专利技术所述的一种直拉单晶的自动调温方法，包括籽晶旋回、籽晶稳定、副室净化、熔接、稳温、引晶整个自动化过程，可实现全自动调温，实现自动化拉晶重要步骤。现自动化拉晶重要步骤。现自动化拉晶重要步骤。

【技术实现步骤摘要】
一种直拉单晶的自动调温方法


[0001]本专利技术涉及直拉单晶操控系统领域，特别涉及一种直拉单晶的自动调温方法。

技术介绍

[0002]直拉单晶的自动调温方法是一种直拉单晶操控系统，在进行直拉单晶操控的时候，需要进行自动控温，设置自动调温逻辑功能，随着科技的不断发展，人们对于直拉单晶的自动调温方法的制造工艺要求也越来越高。
[0003]现有的直拉单晶的操控系统在使用时存在一定的弊端，现有单晶炉，调温过程中，需手动稳定籽晶，人工将籽晶插入液面，人工判定熔接是否完成，人工判定是否稳温完成，自动化程度差，给人们的使用过程带来了一定的不利影响，为此，我们提出一种直拉单晶的自动调温方法。

技术实现思路

[0004]解决的技术问题：针对现有技术的不足，本专利技术提供了一种直拉单晶的自动调温方法，包括籽晶旋回、籽晶稳定、副室净化、熔接、稳温、引晶整个自动化过程，可实现全自动调温，实现自动化拉晶重要步骤，从炉外籽晶提升到炉内开始自动引晶，实现全自动无人化，对整个直拉单晶生产效率提升效果显著，可以有效解决
技术介绍
中的问题。
[00本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种直拉单晶的自动调温方法，其特征在于：包括以下操作步骤：S1：点击自动调温，籽晶自动提升至上限位并进行籽晶稳定；S2：副室旋回并下降至下限位，自动完成副室净化；S3：净化完成后打开隔离阀，籽晶降低至固定晶位，同时利用液温判定是否继续下降；S4：液温达到目标值后，利用晶升慢速将籽晶降到液面；S5：利用液面接触电压，判定籽晶是否接触液面，并开始试温；S6：温度适合熔接后，慢速降籽晶，系统分步采集籽晶直径，达到目标直径后，即为籽晶熔接位置；S7：利用直径收缩幅度，判定籽晶是否熔接完成；S8：开始降低功率，降液温降低至稳温液温；S9：功率回至引放功率，并开始稳温；S10：利用CCD视觉判定温度是否合适，并开始引晶，完成全自动调温，直至稳温完成。2.根据权利要求1所述的一种直拉单晶的自动调温方法，其特征在于：所述S1步骤中籽晶旋回且籽晶自动稳定。3.根据权利要求1所述的一种直拉单晶的自动调温方法，其特征在于：所述S2步骤中在籽晶自动稳定后自动副室净化。4.根据权利要求1所述的一种直拉单晶的自动调温方法，其特征在于：所...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨昊，马国瑞，
申请(专利权)人：弘元新材料包头有限公司，
类型：发明
国别省市：