一种晶圆切割分离装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种晶圆切割分离装置，包括滑轨和工作台，所述滑轨的内部安装有丝杆，且丝杆的右端与第一伺服电机的输出端转动连接，所述丝杆上转动连接有滑杆，且滑杆的下端固定有旋转机构，所述工作台上固定有第二伺服电机，且第二伺服电机的输出端与电动推杆转动连接，所述电动推杆的上端卡接有圆盘，所述圆盘的上端固定有固定座，且固定座上固定有挡片，所述圆盘的下部安装有紧固螺栓，且紧固螺栓穿过电动推杆和圆盘与螺母转动连接。本实用新型专利技术通过设置丝杆、滑杆、旋转机构、第一伺服电机、圆盘、电动推杆、第二伺服电机、螺母和紧固螺栓，解决了切割分离装置结构复杂不易切割分离且不可旋转和不可拆卸实用性不佳的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆切割分离装置
本技术涉及晶圆加工生产
，具体为一种晶圆切割分离装置。
技术介绍
晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之IC产品。晶圆加工生产时需要用到切割分离装置，目前，现有的切割分离装置结构复杂，不易切割分离，且不可旋转和不可拆卸，实用性不佳，无法满足实际使用中的需求，因此市面上迫切需要能改进的技术，来完善此设备。
技术实现思路
(一)解决的技术问题针对现有技术的不足，本技术提供了一种晶圆切割分离装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。(二)技术方案为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种晶圆切割分离装置，包括滑轨和工作台，所述滑轨的内部安装有丝杆，且丝杆的右端与第一伺服电机的输出端转动连接，所述丝杆上转动连接有滑杆，且滑杆的下端固定有旋转机构，所述工作台上固定有第二伺服电机，且第二伺服电机的输出端与电动推杆转动连接，所述电动推杆的上端卡接有圆盘。优选的，所述滑轨的内壁固定有轴承，且滑本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种晶圆切割分离装置，包括滑轨(1)和工作台(10)，其特征在于：所述滑轨(1)的内部安装有丝杆(2)，且丝杆(2)的右端与第一伺服电机(6)的输出端转动连接，所述丝杆(2)上转动连接有滑杆(3)，且滑杆(3)的下端固定有旋转机构(4)，所述工作台(10)上固定有第二伺服电机(13)，且第二伺服电机(13)的输出端与电动推杆(12)转动连接，所述电动推杆(12)的上端卡接有圆盘(8)。/n

【技术特征摘要】
1.一种晶圆切割分离装置，包括滑轨(1)和工作台(10)，其特征在于：所述滑轨(1)的内部安装有丝杆(2)，且丝杆(2)的右端与第一伺服电机(6)的输出端转动连接，所述丝杆(2)上转动连接有滑杆(3)，且滑杆(3)的下端固定有旋转机构(4)，所述工作台(10)上固定有第二伺服电机(13)，且第二伺服电机(13)的输出端与电动推杆(12)转动连接，所述电动推杆(12)的上端卡接有圆盘(8)。


2.根据权利要求1所述的一种晶圆切割分离装置，其特征在于：所述滑轨(1)的内壁固定有轴承(5)，且滑轨(1)通过轴承(5)与丝杆(2)转动连接。


3.根据权利要求1所述的一种晶圆切割分离装置，其特征在于：所述旋转机构(4)包括刀片(14)、防护罩(15)、转动轴(16)和第三伺服电机(17)，且第三伺服电机(17)的输出端通过转动轴(16)与刀片(14)转动连接，所述第三伺服电机(17)的左端与防护罩...

【专利技术属性】
技术研发人员：陆孙华，
申请(专利权)人：苏州英尔捷微电子股份有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32