温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开了一种晶圆切割分离装置，包括滑轨和工作台，所述滑轨的内部安装有丝杆，且丝杆的右端与第一伺服电机的输出端转动连接，所述丝杆上转动连接有滑杆，且滑杆的下端固定有旋转机构，所述工作台上固定有第二伺服电机，且第二伺服电机的输出端与电动...
该专利属于苏州英尔捷微电子股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州英尔捷微电子股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。