一种同步多级伸缩机构及PECVD设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种同步多级伸缩机构及PECVD设备，该同步多级伸缩机构包括：至少两组伸缩组件，其调节所述同步多级伸缩机构的长度；驱动组件，其驱动所述伸缩组件的伸长或收缩；传动组件，其设于两两所述伸缩组件的端部；以及固定组件，其固定所述伸缩组件；其中，两两所述伸缩组件被并联地布置在所述传动组件的两端以实现两两所述伸缩组件同时前后伸缩往复运动。本案的同步多级伸缩机构可实现所述伸同步多级伸缩机构伸缩长度同时成倍递增或递减，且在可以承受大负载的同时降低结构的成本。

【技术实现步骤摘要】
一种同步多级伸缩机构及PECVD设备
本技术涉及PECVD设备领域，特别涉及一种同步多级伸缩机构。
技术介绍
现有的硅电池片生产线中的PECVD设备需要将石墨舟由上游设备中搬运至缓存架进行缓存并降温，再由缓存架搬运至推舟以及由推舟上将石墨舟取下，现有搬运机构中采用悬臂结构设计的无法承受大负载并且选用的零部件结构复杂成本高。采用双侧搬运的设计结构复杂、伸缩臂结构冗长、占用空间大，无法进行科学合理的压缩伸缩臂的占用空间。其中在伸缩过程中无法精准的确定伸缩机构的伸缩长度。并且伸缩机构无法同时成倍递增或递减，只能在前级伸缩机构伸缩终了时，才能进行伸缩。该种伸缩机构判断与伸缩目标点的距离的过程相对迟缓。有鉴于此，实有必要开发一种同步多级伸缩机构，用以解决上述问题。
技术实现思路
针对现有技术中存在的不足之处，本技术的目的是提供一种同步多级伸缩机构，其包括至少两组伸缩组件，所述每组伸缩组件包括至少两级伸缩臂，所述每级伸缩臂上单独设有一个驱动组件，以实现所述伸同步多级伸缩机构伸缩长度同时成倍递增或递减，且在可以承受大负载的同时降低结构的成本。为了实现根据本技术的上述目的和其他优点，提供了一种同步多级伸缩机构，包括：至少两组伸缩组件，其调节所述同步多级伸缩机构的长度；驱动组件，其驱动所述伸缩组件的伸长或收缩；传动组件，其设于两两所述伸缩组件的端部；以及固定组件，其固定所述伸缩组件；其中，两两所述伸缩组件被并联地布置在所述传动组件的两端以实现两两所述伸缩组件同时前后伸缩往复运动。优选的是，所述伸缩组件包括至少两级伸缩臂。优选的是，两两所述伸缩臂之间设有滑动导向组件滑动连接。优选的是，所述滑动导向组件包括：第一滑动导向组件；以及第二滑动导向组件，其与所述第一滑动导向组件相适配。优选的是，所述滑动导向组件还包括：惰轮；以及第一驱动同步带，其连接所述驱动组件与所述惰轮。优选的是，每一级所述伸缩臂都包括所述滑动导向组件。优选的是，所述第一驱动同步带固定于所述滑动导向组件的第一伸缩臂板与连接板压板之间；其中，所述连接板压板与所述第一驱动同步带相接触的面设为锯齿状。优选的是，所述驱动组件包括：至少两个主动驱动组件，其为所述伸缩组件的往复运动提供动力；至少两个从动驱动组件，其数目与所主动驱动组件一致。优选的是，两两所述主动驱动组件分别设于所述同一组伸缩组件的不同级的第一伸缩臂或第二伸缩臂上。优选的是，两两所述从动驱动组件分别设于不同于所述主动驱动组件的所述同一组伸缩组件的不同级的第一伸缩臂或第二伸缩臂上。优选的是，所述主动驱动组件与所述从动驱动组件之间有传动组件传动连接。进一步地，本案还公开一种PECVD设备，其包含有前述任一项的同步多级伸缩机构。本技术与现有技术相比，其有益效果是：通过至少两组伸缩组件，所述每组伸缩组件包括至少两级伸缩臂，所述每级伸缩臂上单独设有一个驱动组件，以实现所述同步多级伸缩机构伸缩长度同时成倍递增或递减，且在可以承受大负载的同时降低结构的成本。附图说明图1为根据本技术一个实施方式提出的同步多级伸缩机构的立体图；图2为根据本技术一个实施方式提出的同步多级伸缩机构的伸缩组件的分离装置立体图；图3为根据本技术一个实施方式提出的同步多级伸缩机构的伸缩组件的分离装置的仰视图；图4为根据本技术一个实施方式提出的同步多级伸缩机构的主动驱动组件立体图；图5为根据本技术一个实施方式提出的同步多级伸缩机构的从动驱动组件立体图。具体实施方式下面结合附图对本技术做进一步的详细说明，本技术的前述和其它目的、特征、方面和优点将变得更加明显，以令本领域技术人员参照说明书文字能够据以实施。在附图中，为清晰起见，可对形状和尺寸进行放大，并将在所有图中使用相同的附图标记来指示相同或相似的部件。在下列描述中，诸如中心、厚度、高度、长度、前部、背部、后部、左边、右边、顶部、底部、上部、下部等用词是相对于各附图中所示的构造进行定义的，特别地，“高度”相当于从顶部到底部的尺寸，“宽度”相当于从左边到右边的尺寸，“深度”相当于从前到后的尺寸，它们是相对的概念，因此有可能会根据其所处不同位置、不同使用状态而进行相应地变化，所以，也不应当将这些或者其他的方位用于解释为限制性用语。涉及附接、联接等的术语(例如，“连接”和“附接”)是指这些结构通过中间结构彼此直接或间接固定或附接的关系、以及可动或刚性附接或关系，除非以其他方式明确地说明。根据本技术的一实施方式结合图1、图2及图3的示出，可以看出，同步多级伸缩机构包括：至少两组伸缩组件110，其调节所述同步多级伸缩机构的长度；驱动组件130，其驱动所述伸缩组件110的伸长或收缩，其每一级伸缩臂111上都设有一个驱动组件130；传动组件150，其设于两两所述伸缩组件110的端部；以及固定组件161，其固定所述伸缩组件110；其中，两两所述伸缩组件110被并联地布置在所述传动组件150的两端以实现两两所述伸缩组件110同时前后伸缩往复运动，所述伸缩臂组件110的主动驱动组件131与所述伸缩臂组件120从动驱动组件132通过传动组件150进行同步动力传输，通过固设于左右伸缩臂板上的固定走线空心轴162，保证两两所述伸缩组件110之间间距的稳定并兼备两两所述伸缩组件110之间信号线互相连通的通道功能。所述伸缩组件110包括至少两级伸缩臂111，两两所述伸缩臂111之间设有滑动导向组件113滑动连接，每一级所述伸缩臂111都包括所述滑动导向组件113，第一伸缩臂板1111经由所述滑动导向组件113安装于底座1114上，并在所述主动驱动组件131及第一驱动同步带1112驱动下相对底座1124做直线运动，滑动导向组件113安装到第二伸缩臂板1124上，并在电机驱动组件130以及主动驱动组件13驱动下相对第二伸缩臂板1124做同向的直线运动。所述滑动导向组件113包括：第一滑动导向组件1113；以及第二滑动导向组件1115，其与所述第一滑动导向组件1113相适配。惰轮1122，所述惰轮1122固设于惰轮安装座1127上，轮安装座1126前方设置有同步带张紧机构1127，所述同步带张紧机构1127的调节可使同步带处于张紧状态，确认同步带张紧后可将惰轮安装座锁固牢靠，消除传动过程中跳齿的隐患，同步带张紧机构松开后可快捷完成更换或维护同步带；以及第一驱动同步带1112，其连接所述驱动组件130与所述惰轮1122。所述第一驱动同步带1112固定于所述滑动导向组件113的第一伸缩臂板1111与连接板压板1125之间；其中，所述连接板压板1125与所述第一驱动同步带1112相接触的面设为锯齿状，可以增大连接本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种同步多级伸缩机构，其特征在于，包括：/n至少两组伸缩组件(110)，其调节所述同步多级伸缩机构的长度；/n驱动组件(130)，其驱动所述伸缩组件(110)的伸长或收缩；/n传动组件(150)，其设于两两所述伸缩组件(110)的端部；以及/n固定组件(161)，其固定所述伸缩组件(110)；/n其中，两两所述伸缩组件(110)被并联地布置在所述传动组件(150)的两端以实现两两所述伸缩组件(110)同时前后伸缩往复运动。/n

【技术特征摘要】
1.一种同步多级伸缩机构，其特征在于，包括：
至少两组伸缩组件(110)，其调节所述同步多级伸缩机构的长度；
驱动组件(130)，其驱动所述伸缩组件(110)的伸长或收缩；
传动组件(150)，其设于两两所述伸缩组件(110)的端部；以及
固定组件(161)，其固定所述伸缩组件(110)；
其中，两两所述伸缩组件(110)被并联地布置在所述传动组件(150)的两端以实现两两所述伸缩组件(110)同时前后伸缩往复运动。


2.如权利要求1所述的同步多级伸缩机构，其特征在于，所述伸缩组件(110)包括至少两级伸缩臂(111)。


3.如权利要求2所述的同步多级伸缩机构，其特征在于，两两所述伸缩臂(111)之间设有滑动导向组件(113)滑动连接。


4.如权利要求3所述的同步多级伸缩机构，其特征在于，所述滑动导向组件(113)包括：
第一滑动导向组件(1113)；以及
第二滑动导向组件(1115)，其与所述第一滑动导向组件(1113)相适配。


5.如权利要求3所述的同步多级伸缩机构，其特征在于，所述滑动导向组件(113)还包括：
惰轮(1122)；以及
第一驱动同步带(1112)，其连接所述驱动组件(130)与所述惰轮(1122)；
其中，每一级所述伸缩臂(111)都包括...

【专利技术属性】
技术研发人员：王玉明，刘景博，陈晖，张庶，
申请(专利权)人：苏州拓升智能装备有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32