一种水平式硅片石英舟装卸片自动化工作线制造技术

本发明专利技术公开了一种水平式硅片石英舟装卸片自动化工作线，包括平行设置的上料输送线和下料输送线，所述上料输送线和所述下料输送线一侧设置有装卸机器人，所述装卸机器人两侧设置有对称的丝杆，所述丝杆上均滑动设置有翻转装置，所述丝杆上方设置有龙门架，所述龙门架上滑动设置有移动架，所述移动架上设置有搬运装置，所述龙门架下方设置有对接交替轨道，所述对接交替轨道一侧设置有硅片反应装置。本发明专利技术结构合理、简单，操作便捷，能够对硅片进行快速有效的运输及处理。

【技术实现步骤摘要】
一种水平式硅片石英舟装卸片自动化工作线
本专利技术涉及石英舟搬运
，具体涉及一种水平式硅片石英舟装卸片自动化工作线。
技术介绍
硅片制成的芯片有着惊人的运算能力，广泛的运用在微电子技术中。在硅片的生产制造中，对硅片的运输是其生产制造中重要的一个环节，硅片生产时需要对硅片进行处理，在处理时需要对硅片进行翻转，如何使得硅片进行有效快捷的运输以及翻转，成为提高生产硅片效率的关键。上述问题是本领域亟需解决的问题。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题是提供一种水平式硅片石英舟装卸片自动化工作线，从而能够对硅片进行快速有效的运输及处理。为了解决上述技术问题，本专利技术提供的方案是：一种水平式硅片石英舟装卸片自动化工作线，包括平行设置的上料输送线和下料输送线，所述上料输送线和所述下料输送线一侧设置有装卸机器人，所述装卸机器人两侧设置有对称的丝杆，所述丝杆上均滑动设置有翻转装置，所述丝杆上方设置有龙门架，所述龙门架上滑动设置有移动架，所述移动架上设置有搬运装置，所述龙门架下方设置有对接交替轨道，所述对接交替轨道一本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种水平式硅片石英舟装卸片自动化工作线，其特征在于，包括平行设置的上料输送线(1)和下料输送线(10)，所述上料输送线(1)和所述下料输送线(10)一侧设置有装卸机器人(2)，所述装卸机器人(2)两侧设置有对称的丝杆(6)，所述丝杆(6)上均滑动设置有翻转装置(3)，所述丝杆(6)上方设置有龙门架(8)，所述龙门架(8)上滑动设置有移动架(4)，所述移动架(4)上设置有搬运装置(5)，所述龙门架(8)下方设置有对接交替轨道(9)，所述对接交替轨道(9)一侧设置有硅片反应装置(7)。/n

【技术特征摘要】
1.一种水平式硅片石英舟装卸片自动化工作线，其特征在于，包括平行设置的上料输送线(1)和下料输送线(10)，所述上料输送线(1)和所述下料输送线(10)一侧设置有装卸机器人(2)，所述装卸机器人(2)两侧设置有对称的丝杆(6)，所述丝杆(6)上均滑动设置有翻转装置(3)，所述丝杆(6)上方设置有龙门架(8)，所述龙门架(8)上滑动设置有移动架(4)，所述移动架(4)上设置有搬运装置(5)，所述龙门架(8)下方设置有对接交替轨道(9)，所述对接交替轨道(9)一侧设置有硅片反应装置(7)。


2.如权利要求1所述的一种水平式硅片石英舟装卸片自动化工作线，其特征在于，所述翻转装置(3)包括底座(309)，所述底座(309)上对称设置有轴承座(307)，所述轴承座(307)内均连接有转轴(305)，所述转轴(305)一侧传动连接有旋转电机(301)，所述转轴(305)上均设置有翻转夹具(302)，所述翻转夹具(302)包括与转轴(305)连接的安装座(3021)，所述安装座(3021)上通过支撑柱(3029)设置有支撑板(3027)，所述安装座(3021)上对称设置有第一气缸(3022)，所述第一气缸(3022)的输出端均设置有连接板(3023)，所述连接板(3023)内侧面上均设置有对称的定位板(3026)，所述连接板(3023)外侧面上均设置有第二气缸(3024)，所述第二气缸(3024)的输出端均设置有托板(3025)，所述翻转夹具(302)内均设置有石英舟(303)。


3.如权利要求2所述的一种水平式硅片石英舟装卸片自动化工作线，其特征在于，所述轴承座(307)上设置有传感器(308)，所述转轴(305)一侧设置有与传感器(308)匹配的感应片(306)，所述转轴(305)一侧还设置有限位板(304)。


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【专利技术属性】
技术研发人员：董晓清，安迪，
申请(专利权)人：无锡市江松科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32