下载一种水平式硅片石英舟装卸片自动化工作线的技术资料

文档序号:25640658

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本发明公开了一种水平式硅片石英舟装卸片自动化工作线,包括平行设置的上料输送线和下料输送线,所述上料输送线和所述下料输送线一侧设置有装卸机器人,所述装卸机器人两侧设置有对称的丝杆,所述丝杆上均滑动设置有翻转装置,所述丝杆上方设置有龙门架,所述...
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