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一种水平式硅片石英舟装卸片自动化工作线制造技术
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文档序号:25640658
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本发明公开了一种水平式硅片石英舟装卸片自动化工作线,包括平行设置的上料输送线和下料输送线,所述上料输送线和所述下料输送线一侧设置有装卸机器人,所述装卸机器人两侧设置有对称的丝杆,所述丝杆上均滑动设置有翻转装置,所述丝杆上方设置有龙门架,所述...
该专利属于无锡市江松科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过无锡市江松科技有限公司授权不得商用。
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