一种光刻胶保湿系统技术方案

本发明专利技术公开了一种光刻胶保湿系统，其结构包括盒体，本发明专利技术通过设置辅助机构于盒盖上端中部，电机输出轴带动第一旋转轴，从而使得固定在旋转板右端的搅拌装置开始对承装斗内的光刻胶进行搅拌，达到了防止光刻胶凝结，且便于使用者进行使用的优点，通过设置承装装置于盒体上端中部，将光刻胶放置在承装斗后，搅拌装置工作时，将使得滑杆在凹槽中进行缓慢的转动，达到了增强承料斗工作时的稳定性的优点。

【技术实现步骤摘要】
一种光刻胶保湿系统
本专利技术是一种光刻胶保湿系统，属于半导体保湿装置领域。
技术介绍
光刻胶是微电子技术中微细图形加工的关键材料之一，特别是近年来大规模和超大规模集成电路的发展，更是大大促进了光刻胶的研究开发和应用，光刻胶是一种有机化合物，它被紫外光曝光后，在显影溶液中的溶解度会发生变化，硅片制造中所用的光刻胶以液态涂在硅片表面，而后被干燥成胶膜，且在放置存储的时候需要使用到保湿装置对光刻胶进行保湿。由于现有的一种光刻胶保湿系统，通常对光刻胶进行保湿时，多半使用加湿器进行保湿，且在其长时间进行保湿时，光刻胶较为容易凝结，且不便于使用者使用。
技术实现思路
针对现有技术存在的不足，本专利技术目的是提供一种光刻胶保湿系统，以解决现有技术由于现有的一种光刻胶保湿系统，通常对光刻胶进行保湿时，多半使用加湿器进行保湿，且在其长时间进行保湿时，光刻胶较为容易凝结，且不便于使用者使用的问题。为了实现上述目的，本专利技术是通过如下的技术方案来实现：一种光刻胶保湿系统，包括盒体、辅助机构和承装装置，所述盒体左上端与转动件转动本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种光刻胶保湿系统，包括盒体(1)，所述盒体(1)左上端与转动件(2)转动连接，所述转动件(2)上端与盒盖(3)转动配合，所述盒体(1)前端中部设置有湿度计(6)，所述盒体(1)前端中部与开关(7)相固定，所述盒体(1)右端设置有电源线(8)，所述盒体(1)内侧左端与加湿器(9)固定成一体；/n其特征在于：还包括辅助机构(4)和承装装置(5)，所述辅助机构(4)前端与盒体(1)贯通连接，所述承装装置(5)下端与盒体(1)相固定。/n

【技术特征摘要】
1.一种光刻胶保湿系统，包括盒体(1)，所述盒体(1)左上端与转动件(2)转动连接，所述转动件(2)上端与盒盖(3)转动配合，所述盒体(1)前端中部设置有湿度计(6)，所述盒体(1)前端中部与开关(7)相固定，所述盒体(1)右端设置有电源线(8)，所述盒体(1)内侧左端与加湿器(9)固定成一体；
其特征在于：还包括辅助机构(4)和承装装置(5)，所述辅助机构(4)前端与盒体(1)贯通连接，所述承装装置(5)下端与盒体(1)相固定。


2.根据权利要求1所述的一种光刻胶保湿系统，其特征在于：所述辅助机构(4)由外壳(41)、第一旋转轴(42)、旋转板(43)、搅拌装置(44)和电机(45)组成，所述外壳(41)右端中部与第一旋转轴(42)贯通连接，所述第一旋转轴(42)右端与旋转板(43)相固定，所述旋转板(43)右端与搅拌装置(44)固定成一体，所述第一旋转轴(42)左端与电机(45)相连接，所述电源线(8)通过开关(7)与加湿器(9)和电机(45)电连接。


3.根据权利要求2所述的一种光刻胶保湿系统，其特征在于：所述搅拌装置(44)包括第一固定杆(441)、第一连杆(442)、第二连杆(443)、支撑杆(444)和圆盘(445)，所述第一固定杆(441)右端与第一连杆(442)转动连接，所述第一连杆(442)后端左侧与第二连杆(443)转动配合，所述第一连杆(442)右前端与支撑杆(444)固定成一体。


4.根据权利要求3所述的一种光刻胶保湿系统，其特征在于：所述支撑杆(444)右端与圆盘(445)相固定，所述第一固...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴永利，
申请(专利权)人：芯米厦门半导体设备有限公司，
类型：发明
国别省市：福建;35