电容式扭矩传感器制造技术

本实用新型专利技术提供一种新型电容式扭矩传感器，它由弹性轴（梁）和电容式位移传感器构成。其中传感器的一个电极板与轴的一端连接，另一电极板通过过渡套管与轴的另一端连接。本传感器用电器量的相对变化和节距的累加测量扭矩大小，消除了杂散电容等影响，提高了分辨率和测量精度。（*该技术在2003年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种扭矩测量技术，尤指一种电容式扭矩传感器。在现代科学技术中，测量扭矩的方法很多，常用的有电阻应变式、电磁式、光电式等。《非电量电测工程手册》∥徐国富等∥机械工业出版社－－P867上公开了一种电容式扭矩传感器，它是利用扭矩改变电容极板之间间隙或有效面积，引起电容量变化来测量扭矩大小的。结构原理如附图说明图1、图1A、图1B所示。传感器由弹性轴1，套管2，电容器极板3、4组成。极板3、4形状完全相同，其上开8个扇形孔，每个扇形孔的夹角为22.5°。极板4固定在轴1的X端，极板3固定在套管2靠近X的一端，与极板4同轴且相对平行，中间保持间隙构成一个可变电容器。套管2的另一端固定在轴1的Y端。极板3、4各引出一条导线接电容电桥6。当轴1不承受扭矩(无负载)时，两极板上的扇形孔相互错开11.25°，此时电桥平衡。当对轴1施加扭矩M时，两极板相对转动一个角度，孔对孔的重叠面积改变，使两极板之间的电容量改变，电桥失去平衡，输出信号u经放大、变换、数据处理，最后以数字形式显示出扭矩M的大小。由于这种传感器是利用电容的绝对变化量来测量扭矩，引线电容、边缘效应以及其他杂散电容对测量精度本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种电容式扭矩传感器，由弹性轴及电容式位移传感器构成，其中，电容位移传感器的一个电极板与弹性轴的一端刚性连接，另一电极板通过套管或其它过渡件与弹性轴刚性连接，其特征在于：电容位移传感器为容栅式位移传感器，其发送电极由多个金属箔制成的极片按节距排列而成，一个节距内的每个极片上馈接幅度、频率相同而相位各异的电信号，接收电极也由若干金属箔片制成的极片按节距排列而成，两电极组成栅形电容器。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：马礼耀，郭霄峰，石玉良，
申请(专利权)人：北京峰光科技开发公司，
类型：实用新型
国别省市：11[中国|北京]