定子主体的加工方法、泵体组件及其装配方法和真空泵组成比例

本发明专利技术提供了一种定子主体的加工方法、泵体组件及其装配方法和真空泵，其中，定子主体的加工方法，依次包括以下步骤：对符合第一条件的定子主体毛坯的相对设置的两个外端加工面进行精加工，使精加工的定子主体毛坯的外端尺寸的偏差在0至0.02mm的范围内；通过三坐标测量仪对贯穿加工后的定子主体毛坯进行检验，擦拭的定子主体毛坯的内腔面和两个外表面，完成擦拭后，再次检验定子主体毛坯是否符合第二条件；对符合第二条件的定子主体毛坯进行研磨处理，使研磨后的定子主体毛坯的外表面的表面光洁度为1.6μm，以得到定子主体。本申请的技术方案有效地解决了相关技术中的由于组装误差，使得多级转子磨损内腔的问题。

【技术实现步骤摘要】
定子主体的加工方法、泵体组件及其装配方法和真空泵
本专利技术涉及真空源领域，具体而言，涉及一种定子主体的加工方法、泵体组件及其装配方法和真空泵。
技术介绍
干泵是泛半导体行业必需的真空源设备。干泵中有一种多级蚌壳式真空泵，该真空泵包括上泵壳、下泵壳以及多级转子，上泵壳和下泵壳之间能够形成内腔，多级转子可转动地位于内腔内。上泵壳和下泵壳拼接在一起形成内腔的过程中，由于组装误差，使得多级转子在内腔内转动时，多级转子会磨损内腔，磨损严重后导致多级转子报废，不利于维修。
技术实现思路
本专利技术的主要目的在于提供一种定子主体的加工方法、泵体组件及其装配方法和真空泵，以解决相关技术中的由于组装误差，使得多级转子磨损内腔的问题。为了实现上述目的，根据本专利技术的一个方面，提供了一种定子主体的加工方法，依次包括以下步骤：用砂模制成容纳定子主体毛坯的砂腔及砂芯，选取浇帽口的位置；通过压力铸造得到定子主体毛坯，使定子主体毛坯的表面留有4mm-5mm的加工余量；将定子主体毛坯放入热炉中，使定子主体毛坯的温度达到第一预设值，第一预设值在550℃至650℃的范围内，定子主体毛坯加热之后进行去应力退火处理；将经去应力退火处理后的定子主体毛坯重新加热至第二预设值，并保持第二预设值在5小时至20小时的范围内，第二预设值在100℃-150℃的范围内；对定子主体毛坯的内腔加工面进行粗加工，使内腔加工面留有1mm的加工余量；通过三坐标测量仪对定子主体毛坯进行检验，通过内窥镜对定子主体毛坯的内部进行检验，并通过超声探伤检验定子主体毛坯的内部是否符合第一条件；对符合第一条件的定子主体毛坯的相对设置的两个外端加工面进行精加工，使精加工的定子主体毛坯的外端尺寸的偏差在0至0.02mm的范围内；通过线切割或数控机床进对定子主体毛坯的相对设置的两个外表面进行贯穿加工，外表面与外端加工面相邻设置；通过三坐标测量仪对贯穿加工后的定子主体毛坯进行检验，擦拭的定子主体毛坯的内腔面和两个外表面，完成擦拭后，再次检验定子主体毛坯是否符合第二条件；对符合第二条件的定子主体毛坯进行研磨处理，使研磨后的定子主体毛坯的外表面的表面光洁度为1.6μm，以得到定子主体。根据本专利技术的另一方面，提供了一种泵体组件，包括定子和转子，定子包括：定子主体、第一挡板、第二挡板和多个隔板，多个隔板间隔地设置在第一挡板与第二挡板之间；转子为间隔设置的两个，两个转子可转动地位于定子主体的内腔内，定子主体通过上述的定子主体的加工方法得到。进一步地，每个隔板上间隔地设置有第一避让孔和第二避让孔，任意相邻的两个隔板中的一个隔板的第一避让孔的孔壁上设置有第一缺口，另一个隔板的第二避让孔的孔壁上设置有第二缺口，第一缺口和第二缺口错位设置；第一挡板上设置有与进气口，第二挡板上设置有出气口，第一缺口和第二缺口位于进气口和出气口之间，进气口、第一缺口、第二缺口和出气口连通成气体流道。进一步地，每个隔板的上部分与第一挡板为一体成型结构，每个隔板的下部分与第二挡板为一体成型结构，第一避让孔的一部分形成在上部分上，另一部分形成在下部分上，第二避让孔的一部分形成在上部分上，另一部分形成在下部分上。进一步地，第一挡板为中空结构，第一挡板的中空空间内间隔地设置有多个挡筋，任意相邻的两个挡筋上分别设置有第三缺口和第四缺口，第三缺口和第四缺口错位设置，第一挡板的侧壁上间隔地设置有进液口和出液口，第三缺口和第四缺口位于进液口和出液口之间，进液口、第三缺口、第四缺口和出液口连通成液体流道，液体流道内的液体的部分流向与气体流道内的气体的部分流向相反。进一步地，第一挡板、多个挡筋以及每个隔板的上部分通过熔模铸造加工成型。进一步地，定子主体的侧壁上设置有多个贯穿孔，每个贯穿孔贯穿定子主体的相对设置的两个外表面以及定子主体的内腔的表面，多个贯穿孔一一对应地避让多个隔板，每个贯穿孔的轴线垂直于定子主体的内腔的轴线；定子主体的内腔包括相互连通的第一腔室和第二腔室，两个转子分别位于第一腔室内和第二腔室内。进一步地，定子还包括盖体和底托，盖体盖设于定子主体的第一端面，底托位于定子主体的第二端面；定子主体包括相对设置的第一侧面和第二侧面，第一挡板位于第一侧面上，第二挡板位于第二侧面上；转子包括转轴和间隔设置在转轴上的多个叶片，每个隔板位于转轴的外侧，并位于相邻的两个叶片之间。根据本专利技术的另一方面，提供了一种泵体组件的装配方法，用于装配上述的的泵体组件，泵体组件的装配方法包括以下步骤：步骤1：将一个转轴固定，并将多个叶片安装在转轴上，将另一个转轴固定，并将多个叶片安装在另一个转轴上，以得到两个转子；步骤2：将两个第一轴承分别装入至底托内；步骤3：分别将两个转轴的第一端插入至两个第一轴承内，分别转动两个转轴，以使两个转轴上的多个叶片间能够相互啮合；步骤4：将两个第二轴承分别装入至盖体内；步骤5：将带有两个第一轴承的底托和两个转子一起放置在定子主体上，以将两个转子穿入定子主体的内腔内，并以将底托固定在定子主体的一端上；步骤6：分别将两个转轴的第二端插入至两个第二轴承内，并将带有两个第二轴承的盖体固定在定子主体的另一端上；步骤7：将两个密封圈分别放入至定子主体的第一侧面和定子主体的第二侧面上；步骤8：将多个定位销的第一端插入至第一挡板内，将第一挡板上的隔板的上部分插入至定子主体的第一部分内，多个定位销的第二端分别穿过定子主体，以使第一挡板位于定子主体的第一侧面上；步骤9：将第二挡板上的隔板的下部分插入至定子主体的第二部分内，多个定位销的第二端插入至第二挡板内，以使第二挡板位于定子主体的第二侧面上。根据本专利技术的另一方面，提供了一种真空泵，包括泵体组件，泵体组件为上述的泵体组件。应用本专利技术的技术方案，定子主体的加工方法，依次包括以下步骤：用砂模制成容纳定子主体毛坯的砂腔及砂芯，选取浇帽口的位置；通过压力铸造得到定子主体毛坯，使定子主体毛坯的表面留有4mm-5mm的加工余量；将定子主体毛坯放入热炉中，使定子主体毛坯的温度达到第一预设值，第一预设值在550℃至650℃的范围内，定子主体毛坯加热之后进行去应力退火处理；将经去应力退火处理后的定子主体毛坯重新加热至第二预设值，并保持第二预设值在5小时至20小时的范围内，第二预设值在100℃-150℃的范围内；对定子主体毛坯的内腔加工面进行粗加工，使内腔加工面留有1mm的加工余量；通过三坐标测量仪对定子主体毛坯进行检验，通过内窥镜对定子主体毛坯的内部进行检验，并通过超声探伤检验定子主体毛坯的内部是否符合第一条件；对符合第一条件的定子主体毛坯的相对设置的两个外端加工面进行精加工，使精加工的定子主体毛坯的外端尺寸的偏差在0至0.02mm的范围内；通过线切割或数控机床进对定子主体毛坯的相对设置的两个外表面进行贯穿加工，外表面与外端加工面相邻设置；通过三坐标测量仪对贯穿加工后的定子主体毛坯进行检验，擦拭的定子主体毛坯的内腔面和两个外表面，完成擦拭后，再次检验定子主体毛坯是否符合第二条件；对符合第二条件的定子主体毛坯进行研磨处理，使研磨后的定子主体毛坯的外表面的表面光洁度为1.本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种定子主体的加工方法，其特征在于，依次包括以下步骤：/n用砂模制成容纳定子主体毛坯的砂腔及砂芯，选取浇帽口的位置；/n通过压力铸造得到所述定子主体毛坯，使所述定子主体毛坯的表面留有4mm-5mm的加工余量；/n将所述定子主体毛坯放入热炉中，使所述定子主体毛坯的温度达到第一预设值，所述第一预设值在550℃至650℃的范围内，所述定子主体毛坯加热之后进行去应力退火处理；/n将经去应力退火处理后的所述定子主体毛坯重新加热至第二预设值，并保持所述第二预设值在5小时至20小时的范围内，所述第二预设值在100℃-150℃的范围内；/n对所述定子主体毛坯的内腔加工面进行粗加工，使所述内腔加工面留有1mm的加工余量；/n通过三坐标测量仪对所述定子主体毛坯进行检验，通过内窥镜对所述定子主体毛坯的内部进行检验，并通过超声探伤检验所述定子主体毛坯的内部是否符合第一条件；/n对符合第一条件的所述定子主体毛坯的相对设置的两个外端加工面进行精加工，使精加工的所述定子主体毛坯的外端尺寸的偏差在0至0.02mm的范围内；/n通过线切割或数控机床进对所述定子主体毛坯的相对设置的两个外表面进行贯穿加工，所述外表面与所述外端加工面相邻设置；/n通过三坐标测量仪对贯穿加工后的所述定子主体毛坯进行检验，擦拭的所述定子主体毛坯的内腔面和两个外表面，完成擦拭后，再次检验所述定子主体毛坯是否符合第二条件；/n对符合第二条件的所述定子主体毛坯进行研磨处理，使研磨后的所述定子主体毛坯的外表面的表面光洁度为1.6μm，以得到定子主体(21)。/n...

【技术特征摘要】
1.一种定子主体的加工方法，其特征在于，依次包括以下步骤：
用砂模制成容纳定子主体毛坯的砂腔及砂芯，选取浇帽口的位置；
通过压力铸造得到所述定子主体毛坯，使所述定子主体毛坯的表面留有4mm-5mm的加工余量；
将所述定子主体毛坯放入热炉中，使所述定子主体毛坯的温度达到第一预设值，所述第一预设值在550℃至650℃的范围内，所述定子主体毛坯加热之后进行去应力退火处理；
将经去应力退火处理后的所述定子主体毛坯重新加热至第二预设值，并保持所述第二预设值在5小时至20小时的范围内，所述第二预设值在100℃-150℃的范围内；
对所述定子主体毛坯的内腔加工面进行粗加工，使所述内腔加工面留有1mm的加工余量；
通过三坐标测量仪对所述定子主体毛坯进行检验，通过内窥镜对所述定子主体毛坯的内部进行检验，并通过超声探伤检验所述定子主体毛坯的内部是否符合第一条件；
对符合第一条件的所述定子主体毛坯的相对设置的两个外端加工面进行精加工，使精加工的所述定子主体毛坯的外端尺寸的偏差在0至0.02mm的范围内；
通过线切割或数控机床进对所述定子主体毛坯的相对设置的两个外表面进行贯穿加工，所述外表面与所述外端加工面相邻设置；
通过三坐标测量仪对贯穿加工后的所述定子主体毛坯进行检验，擦拭的所述定子主体毛坯的内腔面和两个外表面，完成擦拭后，再次检验所述定子主体毛坯是否符合第二条件；
对符合第二条件的所述定子主体毛坯进行研磨处理，使研磨后的所述定子主体毛坯的外表面的表面光洁度为1.6μm，以得到定子主体(21)。


2.一种泵体组件，包括定子(20)和转子(10)，其特征在于，
所述定子(20)包括：定子主体(21)、第一挡板(251)、第二挡板(261)和多个隔板(24)，多个所述隔板(24)间隔地设置在所述第一挡板(251)与所述第二挡板(261)之间；
所述转子(10)为间隔设置的两个，两个所述转子(10)可转动地位于所述定子主体(21)的内腔(215)内，所述定子主体根据权利要求1所述的定子主体的加工方法得到。


3.根据权利要求2所述的泵体组件，其特征在于，
每个所述隔板(24)上间隔地设置有第一避让孔(241)和第二避让孔(242)，任意相邻的两个所述隔板(24)中的一个隔板的所述第一避让孔(241)的孔壁上设置有第一缺口(243)，另一个隔板的所述第二避让孔(242)的孔壁上设置有第二缺口(244)，所述第一缺口(243)和所述第二缺口(244)错位设置；
所述第一挡板(251)上设置有与进气口(255)，所述第二挡板(261)上设置有出气口(262)，所述第一缺口(243)和所述第二缺口(244)位于所述进气口(255)和所述出气口(262)之间，所述进气口(255)、所述第一缺口(243)、所述第二缺口(244)和所述出气口(262)连通成气体流道。


4.根据权利要求3所述的泵体组件，其特征在于，每个所述隔板(24)的上部分(245)与所述第一挡板(251)为一体成型结构，每个所述隔板(24)的下部分(246)与所述第二挡板(261)为一体成型结构，所述第一避让孔(241)的一部分形成在所述上部分(245)上，另一部分形成在所述下部分(246)上，所述第二避让孔(242)的一部分形成在所述上部分(245)上，另一部分形成在所述下部分(246)上。


5.根据权利要求4所述的泵体组件，其特征在于，
所述第一挡板(251)为中空结构，所述第一挡板(251)的中空空间内间隔地设置有多个挡筋(252)，任意相邻的两个所述挡筋(252)上分别设置有第三缺口(253)和第四缺口(254)，所述第三缺口(253)和所述第四缺口(254)错位设置，
所述第一挡板(251)的侧壁上间隔地设置有进液口(256)和出液口(257)，所述第三缺口(253)和所述第四缺口(254)位于所...

【专利技术属性】
技术研发人员：孟永见，岳向成，雷晓宏，魏民，
申请(专利权)人：北京通嘉鼎元科技有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11