密封元件的加工方法、密封元件及真空泵技术

本发明专利技术提供了一种密封元件的加工方法、密封元件及真空泵，其中，密封元件的加工方法，包括：在马氏体相变下，将合金件在圆柱销上进行缠绕，并将合金件的两端对接以形成环形支撑件；将环形支撑件和橡胶原料放置在模具中；去除密封元件毛坯的毛边；清洗去除毛边后的密封元件毛坯，得到清洗过的密封元件毛坯；清洗过的密封元件毛坯通过平板模压进行二次硫化成型得到密封元件中间件；对密封元件中间件进行冷却处理，以得到密封元件。本申请的技术方案有效地解决了相关技术中的O型圈在密封过程中，容易受到工作中气体的侵蚀而快速老化以及弹性降低导致密封性能降低的问题。

【技术实现步骤摘要】
密封元件的加工方法、密封元件及真空泵
本专利技术涉及真空源领域，具体而言，涉及一种密封元件的加工方法、密封元件及真空泵。
技术介绍
现有的真空泵是泛半导体行业、化工行业、医疗医药行业所必需的真空源设备。由于使用行业的特殊性，因此对真空泵的密封性要求非常严格。通常在真空泵的定子或者泵体的连接处多使用O型圈进行密封。但是在使用O型圈密封过程中，容易受到工作中气体的侵蚀而快速老化，导致连接处泄露，影响设备的使用寿命。
技术实现思路
本专利技术的主要目的在于提供一种密封元件的加工方法、密封元件及真空泵，以解决相关技术中的O型圈在密封过程中，容易受到工作中气体的侵蚀而快速老化以及弹性降低导致密封性能降低的问题。为了实现上述目的，根据本专利技术的一个方面，提供了一种密封元件的加工方法，包括：在马氏体相变下，将合金件在圆柱销上进行缠绕，并将合金件的两端对接以形成环形支撑件；将环形支撑件和橡胶原料放置在模具中，通过平板模压进行一次硫化成型得到密封元件毛坯，一次硫化成型步骤满足：硫化温度在170℃-180℃的范围内，硫化时间在5min-20min的范围内，硫化压力在10Mpa-20Mpa的范围内；去除密封元件毛坯的毛边；清洗去除毛边后的密封元件毛坯，得到清洗过的密封元件毛坯；清洗过的密封元件毛坯通过平板模压进行二次硫化成型得到密封元件中间件；对密封元件中间件进行冷却处理，以得到密封元件。进一步地，二次硫化成型步骤满足：硫化温度在200℃-260℃的范围内，硫化时间在4h-24h的范围内。r>进一步地，对密封元件中间件进行冷却处理的时间在1h-1.5h的范围内。进一步地，在得到密封元件步骤之后还包括：检测密封元件是否合格，合格的密封元件满足：密封元件的邵氏A硬度在75-80的范围内，密封元件的外观无缺胶、披风、气泡、缩水、熔接痕、气泡、条纹、翘曲、分层以及脱皮。进一步地，在合金件形成环形支撑件的步骤中包括：在相变温度范围内，以使马氏体的合金件转变成奥氏体的环形支撑件；在形成环形支撑件之后的步骤中包括：对环形支撑件进行热处理，其中，热处理包括固溶处理和时效处理，固溶处理的温度在650℃-850℃的范围内，时效处理的温度在450℃-550℃的范围内。根据本专利技术的另一方面，提供了一种密封元件，密封元件通过上述的密封元件的加工方法得到，密封元件为密封圈，密封元件包括环形支撑件和包裹在环形支撑件的外侧的密封本体。进一步地，环形支撑件的内表面和外表面均为弧形面。进一步地，密封本体的材质为氟橡胶或者全氟橡胶或者三元乙丙橡胶。进一步地，环形支撑件的材质为Ni-Ti合金或者Cu基合金或者Fe基合金或者TiPdNi合金。根据本专利技术的另一方面，提供了一种真空泵，包括泵体组件，泵体组件包括定子主体、盖设在定子主体上的盖体以及位于定子主体和盖体之间的密封元件，定子主体上设置有密封槽，密封元件位于密封槽内，密封元件为上述的密封元件。应用本专利技术的技术方案，密封元件的加工方法包括：马氏体状态下，将合金件在圆柱销上进行缠绕，并将合金件的两端对接以形成环形支撑件；将环形支撑件和橡胶原料放置在模具中，通过平板模压进行一次硫化成型得到密封元件毛坯，一次硫化成型步骤满足：硫化温度在170℃-180℃的范围内，硫化时间在5min-20min的范围内，硫化压力在10Mpa-20Mpa的范围内；去除密封元件毛坯的毛边；清洗去除毛边后的密封元件毛坯，得到清洗过的密封元件毛坯；清洗过的密封元件毛坯通过平板模压进行二次硫化成型得到密封元件中间件；对密封元件中间件进行冷却处理，以得到密封元件。这样，密封元件通过密封元件的加工方法得到能够有效地提高密封元件的硬度、耐油性，耐温性，耐老化性以及耐腐蚀性。将密封元件安装至真空泵的定子或者泵体的连接处，由于提高了密封元件的耐老化性以及耐腐蚀性，在提高密封性能的同时，能够有效地抵抗工作中气体的侵蚀，避免快速老化。因此，本申请的技术方案有效地解决了相关技术中的O型圈在密封过程中，容易受到工作中气体的侵蚀而快速老化以及弹性降低导致密封性能降低的问题。附图说明构成本申请的一部分的说明书附图用来提供对本专利技术的进一步理解，本专利技术的示意性实施例及其说明用于解释本专利技术，并不构成对本专利技术的不当限定。在附图中：图1示出了根据本专利技术的密封元件的加工方法的实施例的流程示意图；图2示出了根据本专利技术的密封元件的实施例的透视示意图；图3示出了图2的密封元件的横向剖切后的剖视示意图；图4示出了图2的密封元件的纵向剖切后的剖视示意图；图5示出了图2的密封元件的Ni-Ti合金中不同Ni摩尔分数下的相变温度曲线图；以及图6示出了根据本专利技术的真空泵的实施例的局部示意图。其中，上述附图包括以下附图标记：1、定子主体；3、盖体；4、密封槽；10、密封元件；11、环形支撑件；12、密封本体。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。以下对至少一个示例性实施例的描述实际上仅仅是说明性的，决不作为对本专利技术及其应用或使用的任何限制。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。需要注意的是，这里所使用的术语仅是为了描述具体实施方式，而非意图限制根据本申请的示例性实施方式。如在这里所使用的，除非上下文另外明确指出，否则单数形式也意图包括复数形式，此外，还应当理解的是，当在本说明书中使用术语“包含”和/或“包括”时，其指明存在特征、步骤、操作、器件、组件和/或它们的组合。除非另外具体说明，否则在这些实施例中阐述的部件和步骤的相对布置、数字表达式和数值不限制本专利技术的范围。同时，应当明白，为了便于描述，附图中所示出的各个部分的尺寸并不是按照实际的比例关系绘制的。对于相关领域普通技术人员已知的技术、方法和设备可能不作详细讨论，但在适当情况下，所述技术、方法和设备应当被视为授权说明书的一部分。在这里示出和讨论的所有示例中，任何具体值应被解释为仅仅是示例性的，而不是作为限制。因此，示例性实施例的其它示例可以具有不同的值。应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步讨论。如图1和图2所示，本申请提供了一种密封元件的加工方法。密封元件的加工方法包括：在马氏体相变下，将合金件在圆柱销上进行缠绕，并将合金件的两端对接以形成环形支撑件；将环形支撑件和橡胶原料放置在模具中，通过平板模压进行一次硫化成型得到密封元件毛坯，一次硫化成型步骤满足：硫化温度在170℃-180℃的范围内，硫化时间在5min-20min的范围内，硫化压力在10Mpa-20Mpa的范围内；去除密封元件毛坯的毛边；清洗去除毛边后的密封元件毛坯，得到清洗过的密封元件毛坯；清洗过的密封元件毛坯通过平板模压本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种密封元件的加工方法，其特征在于，包括：/n在马氏体相变下，将合金件在圆柱销上进行缠绕，并将所述合金件的两端对接以形成环形支撑件；/n将环形支撑件和橡胶原料放置在模具中，通过平板模压进行一次硫化成型得到密封元件毛坯，所述一次硫化成型步骤满足：硫化温度在170℃-180℃的范围内，硫化时间在5min-20min的范围内，硫化压力在10Mpa-20Mpa的范围内；/n去除所述密封元件毛坯的毛边；/n清洗去除毛边后的所述密封元件毛坯，得到清洗过的所述密封元件毛坯；/n清洗过的所述密封元件毛坯通过所述平板模压进行二次硫化成型得到密封元件中间件；/n对所述密封元件中间件进行冷却处理，以得到密封元件(10)。/n

【技术特征摘要】
1.一种密封元件的加工方法，其特征在于，包括：
在马氏体相变下，将合金件在圆柱销上进行缠绕，并将所述合金件的两端对接以形成环形支撑件；
将环形支撑件和橡胶原料放置在模具中，通过平板模压进行一次硫化成型得到密封元件毛坯，所述一次硫化成型步骤满足：硫化温度在170℃-180℃的范围内，硫化时间在5min-20min的范围内，硫化压力在10Mpa-20Mpa的范围内；
去除所述密封元件毛坯的毛边；
清洗去除毛边后的所述密封元件毛坯，得到清洗过的所述密封元件毛坯；
清洗过的所述密封元件毛坯通过所述平板模压进行二次硫化成型得到密封元件中间件；
对所述密封元件中间件进行冷却处理，以得到密封元件(10)。


2.根据权利要求1所述的密封元件的加工方法，其特征在于，所述二次硫化成型步骤满足：硫化温度在200℃-260℃的范围内，硫化时间在4h-24h的范围内。


3.根据权利要求1所述的密封元件的加工方法，其特征在于，对所述密封元件中间件进行冷却处理的时间在1h-1.5h的范围内。


4.根据权利要求1所述的密封元件的加工方法，其特征在于，在得到所述密封元件(10)步骤之后还包括：
检测所述密封元件是否合格，合格的所述密封元件满足：所述密封元件(10)的邵氏A硬度在75-80的范围内，所述密封元件(10)的外观无缺胶、披风、气泡、缩水、熔接痕、气泡、条纹、翘曲、分层以及脱皮。


5.根据权利要求1所述的密封元件的加工...

【专利技术属性】
技术研发人员：丁印明，雷晓宏，魏民，
申请(专利权)人：北京通嘉鼎元科技有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11