转子及其加工方法、泵体组件及其加工方法和真空泵技术

本发明专利技术提供了一种转子及其加工方法、泵体组件及其加工方法和真空泵，其中，转子的加工方法，依次包括以下步骤：对符合第一条件的转子毛坯的第一加工面进行粗加工，使第一加工面留有2mm的加工余量；对符合第二条件的转子毛坯的第二加工面进行半精加工，使第二加工面留有0.2mm的加工余量；通过磨削的方式对转子毛坯进行精加工，在精加工的过程中，使转子毛坯的转轴的圆跳动为0.012mm，表面光洁度为0.8μm，转子毛坯的叶片相对于转子毛坯的转轴的垂直度为0.02mm；对转子毛坯进行动平衡测量，筛选出符合动平衡标准的转子毛坯，以得到转子。本申请的技术方案有效地解决了相关技术中的由于组装误差，使得多级转子磨损内腔的问题。

【技术实现步骤摘要】
转子及其加工方法、泵体组件及其加工方法和真空泵
本专利技术涉及真空源领域，具体而言，涉及一种转子的转子及其加工方法、泵体组件及其加工方法和真空泵。
技术介绍
干泵是半导体行业必需的真空源设备。干泵中有一种多级蚌壳式真空泵，该真空泵包括上泵壳、下泵壳以及多级转子，上泵壳和下泵壳之间能够形成内腔，多级转子可转动地位于内腔内。多级转子包括多个叶片和轴，多个叶片间隔地设置在轴上。在多个叶片安装在轴上的过程中，由于组装误差，使得多级转子在内腔内转动时，多级转子会磨损内腔，磨损严重后导致多级转子报废，不利于维修。
技术实现思路
本专利技术的主要目的在于提供一种转子及其加工方法、泵体组件及其加工方法和真空泵，以解决相关技术中的由于组装误差，使得多级转子磨损内腔的问题。为了实现上述目的，根据本专利技术的一个方面，提供了一种转子的加工方法，依次包括以下步骤：用砂模制成容纳转子毛坯的砂腔及砂芯，确定浇帽口的位置；通过压力铸造得到转子毛坯，使转子毛坯的表面留有4mm-5mm的加工余量；对转子毛坯进行回火去应力处理，检测转子毛坯是否符合第一条件；对符合第一条件的转子毛坯的第一加工面进行粗加工，使第一加工面留有2mm的加工余量；通过三坐标测量仪对转子毛坯进行检验，通过内窥镜对转子毛坯的内部进行检验，并通过超声探伤检验转子毛坯的内部是否符合第二条件；对符合第二条件的转子毛坯的第二加工面进行半精加工，使第二加工面留有0.2mm的加工余量；通过磨削的方式对转子毛坯进行精加工，在精加工的过程中，使转子毛坯的转轴的圆跳动为0.012mm，表面光洁度为0.8μm，转子毛坯的叶片相对于转子毛坯的转轴的垂直度为0.02mm；对转子毛坯进行动平衡测量，筛选出符合动平衡标准的转子毛坯，以得到转子。进一步地，在用砂模制成容纳转子毛坯的砂腔及砂芯，确定浇帽口的位置的步骤与通过压力铸造得到转子毛坯的步骤之间，加工方法还包括向砂腔及砂芯内浇筑铁水，浇筑铁水的温度在1340℃-1420℃的范围内，浇筑铁水的速度在0.005m3/s-0.002m3/s的范围内。根据本专利技术的另一方面，提供了一种转子，转子通过上述的转子的加工方法得到，转子包括转轴和设置在转轴上的多个叶片，多个叶片间隔地设置在转轴上，转子为两个，两个转子啮合传动。进一步地，转轴与多个叶片为一体成型结构。根据本专利技术的另一方面，提供了一种泵体组件，包括定子和转子，定子包括定子主体，转子设置在定子主体内，转子为上述的转子。进一步地，定子还包括盖体和底托，盖体盖设于定子主体的第一端面，底托位于定子主体的第二端面上，定子还包括间隔设置的多个隔板，每个隔板可拆卸地连接在定子主体内，多个隔板沿定子主体的轴线方向将定子主体的内腔分隔成多段；转子的转轴可转动地穿设在盖体和底托上，转子的多个叶片位于内腔内。进一步地，每个隔板位于转子的转轴的外侧，并位于转子的相邻的两个叶片之间，隔板包括板本体和间隔设置在板本体上的第一弧形凹部和第二弧形凹部。进一步地，定子主体的内腔包括第一腔室和与第一腔室连通的第二腔室，两个转子的两个转轴分别可转动地穿设于第一腔室和第二腔室，一个转子的转轴上的多个叶片位于第一腔室内，另一个转子的转轴上的多个叶片位于第二腔室内。根据本专利技术的另一方面，提供了一种泵体组件的加工方法，用于加工上述的泵体组件，定子主体组件的加工方法包括转子加工方法和定子加工方法，定子加工方法依次包括以下步骤：用砂模制成容纳定子主体毛坯的砂腔及砂芯，选取浇帽口的位置；通过压力铸造得到定子主体毛坯，对定子主体毛坯进行回火去应力处理，检测定子主体毛坯是否符合第三条件；对符合第三条件定子主体毛坯的加工面进行粗加工，使加工面留有2mm的加工余量；通过线切割或数控车床对定子主体毛坯的内腔加工面进行精加工，在精加工的过程中，使定子主体毛坯的内腔的尺寸的偏差在-0.01mm至0.01mm范围内；通过磨削的方式对定子主体毛坯的相对设置的两个外端加工面进行精加工，使定子主体毛坯的相对设置的两个外端的尺寸偏差在-0.01mm至0.01mm范围内，以得到定子主体。根据本专利技术的另一方面，提供了一种真空泵，包括泵体组件，泵体组件为上述的泵体组件。应用本专利技术的技术方案，转子的加工方法依次包括以下步骤：用砂模制成容纳转子毛坯的砂腔及砂芯，确定浇帽口的位置；通过压力铸造得到转子毛坯，使转子毛坯的表面留有4mm-5mm的加工余量；对转子毛坯进行回火去应力处理，检测转子毛坯是否符合第一条件；对符合第一条件的转子毛坯的第一加工面进行粗加工，使第一加工面留有2mm的加工余量；通过三坐标测量仪对转子毛坯进行检验，通过内窥镜对转子毛坯的内部进行检验，并通过超声探伤检验转子毛坯的内部是否符合第二条件；对符合第二条件的转子毛坯的第二加工面进行半精加工，使第二加工面留有0.2mm的加工余量；通过磨削的方式对转子毛坯进行精加工，在精加工的过程中，使转子毛坯的转轴的圆跳动为0.012mm，表面光洁度为0.8μm，转子毛坯的叶片相对于转子毛坯的转轴的垂直度为0.02mm；对转子毛坯进行动平衡测量，筛选出符合动平衡标准的转子毛坯，以得到转子。通过上述转子的加工方法得到的转子，无需将相关技术中的多个叶片安装在轴上，避免安装过程中产生组装误差，提高了转子安装在内腔内的组装精度，大大降低了转子磨损相关技术中的内腔的可能性。因此，本申请的技术方案有效地解决了相关技术中的由于组装误差，使得多级转子磨损内腔的问题。附图说明构成本申请的一部分的说明书附图用来提供对本专利技术的进一步理解，本专利技术的示意性实施例及其说明用于解释本专利技术，并不构成对本专利技术的不当限定。在附图中：图1示出了根据本专利技术的转子的加工方法的实施例的流程示意图；图2示出了根据本专利技术的转子的实施例的立体结构示意图；图3示出了根据本专利技术的泵体组件的实施例的分解结构示意图；图4示出了图3的泵体组件的部分分解结构示意图；图5示出了图3的泵体组件的多个隔板的立体结构示意图；图6示出了图3的泵体组件的定子主体的立体结构示意图；以及图7示出了图3的泵体组件的部分剖切后的立体结构示意图。其中，上述附图包括以下附图标记：10、转子；11、转轴；12、叶片；20、定子；21、定子主体；211、第一端面；212、第二端面；213、内腔；214、第一腔室；215、第二腔室；22、盖体；23、底托；24、隔板；241、板本体；242、第一弧形凹部；243、第二弧形凹部；31、密封环；32、定位柱。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。以下对至少一个示例性实施例的描述实际上仅仅是说明性的，决不作为对本专利技术及其应用或使用的任何限制。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。需要注意的是，这里所使用的术语仅是本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种转子的加工方法，其特征在于，依次包括以下步骤：/n用砂模制成容纳转子毛坯的砂腔及砂芯，确定浇帽口的位置；/n通过压力铸造得到所述转子毛坯，使所述转子毛坯的表面留有4mm-5mm的加工余量；/n对所述转子毛坯进行回火去应力处理，检测所述转子毛坯是否符合第一条件；/n对符合第一条件的所述转子毛坯的第一加工面进行粗加工，使所述第一加工面留有2mm的加工余量；/n通过三坐标测量仪对所述转子毛坯进行检验，通过内窥镜对所述转子毛坯的内部进行检验，并通过超声探伤检验所述转子毛坯的内部是否符合第二条件；/n对符合第二条件的所述转子毛坯的第二加工面进行半精加工，使所述第二加工面留有0.2mm的加工余量；/n通过磨削的方式对所述转子毛坯进行精加工，在精加工的过程中，使转子毛坯的转轴的圆跳动为0.012mm，表面光洁度为0.8μm，所述转子毛坯的叶片相对于所述转子毛坯的转轴的垂直度为0.02mm；/n对所述转子毛坯进行动平衡测量，筛选出符合动平衡标准的所述转子毛坯，以得到转子(10)。/n

【技术特征摘要】
1.一种转子的加工方法，其特征在于，依次包括以下步骤：
用砂模制成容纳转子毛坯的砂腔及砂芯，确定浇帽口的位置；
通过压力铸造得到所述转子毛坯，使所述转子毛坯的表面留有4mm-5mm的加工余量；
对所述转子毛坯进行回火去应力处理，检测所述转子毛坯是否符合第一条件；
对符合第一条件的所述转子毛坯的第一加工面进行粗加工，使所述第一加工面留有2mm的加工余量；
通过三坐标测量仪对所述转子毛坯进行检验，通过内窥镜对所述转子毛坯的内部进行检验，并通过超声探伤检验所述转子毛坯的内部是否符合第二条件；
对符合第二条件的所述转子毛坯的第二加工面进行半精加工，使所述第二加工面留有0.2mm的加工余量；
通过磨削的方式对所述转子毛坯进行精加工，在精加工的过程中，使转子毛坯的转轴的圆跳动为0.012mm，表面光洁度为0.8μm，所述转子毛坯的叶片相对于所述转子毛坯的转轴的垂直度为0.02mm；
对所述转子毛坯进行动平衡测量，筛选出符合动平衡标准的所述转子毛坯，以得到转子(10)。


2.根据权利要求1所述的加工方法，其特征在于，在用砂模制成容纳转子毛坯的砂腔及砂芯，确定浇帽口的位置的步骤与通过压力铸造得到所述转子毛坯的步骤之间，所述加工方法还包括向所述砂腔及所述砂芯内浇筑铁水，浇筑铁水的温度在1340℃-1420℃的范围内，浇筑铁水的速度在0.005m3/s-0.002m3/s的范围内。


3.一种转子，其特征在于，所述转子根据权利要求1或2所述的转子的加工方法得到，所述转子(10)包括转轴(11)和设置在所述转轴(11)上的多个叶片(12)，多个所述叶片(12)间隔地设置在所述转轴(11)上，所述转子(10)为两个，两个所述转子(10)啮合传动。


4.根据权利要求3所述的转子，其特征在于，所述转轴(11)与多个所述叶片(12)为一体成型结构。


5.一种泵体组件，包括定子(20)和转子(10)，其特征在于，所述定子(20)包括定子主体(21)，所述转子(10)设置在所述定子主体(21)内，所述转子为权利要求3或4所述的转子。


6.根据权利要求5所述的泵体组件，其特征在于，
所述定子(20)还包括盖体(22)和底托(23)，所述盖体(22)盖设于所述定子主体(21)的第一端面(211)，所述底托(23)位于所述定子主体(21)的第二端...

【专利技术属性】
技术研发人员：岳向成，孟永见，雷晓宏，魏民，
申请(专利权)人：北京通嘉鼎元科技有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11