【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及流体流量检测技术,特别是涉及用于检测配管内流动的气体、液体等流体的流量的流量传感器和流量检测装置,以及在检测流量时用于检测流体温度的温度传感器。本专利技术的流量传感器特别适合在宽范围的温度环境条件下正确测定流体的流量,另外,还可实现制造过程中的组装容易性。另外,本专利技术还可特别提高流量传感器、流量检测装置及温度传感器的测量精度。
技术介绍
在现有技术中,作为测定各种流体特别是液体的流量(或流速)的流量传感器(或流速传感器),可使用多种形式,但从易于低价格化的角度出发,利用了所谓热式(特别是旁热式)流量传感器。作为该旁热型流量传感器,在基板上利用薄膜技术通过绝缘层层压薄膜发热体和薄膜感温体,在配管安装基板,使基板与配管内的流体进行热连接地进行配置。通过在发热体通电,对感温体进行加热,使该感温体的电气特性例如电阻值变化。该电阻值的变化(基于感温体的温度上升)相应于配管内流动的流体的流量(流速)进行变化。这是因为,发热体的发热量中的一部分经基板的一部分传导至流体中,扩散到该流体中的热量相应于流体的流量(流速)进行变化,与此相应,供给到感温体的热量进行 ...
【技术保护点】
一种流量传感器,该流量传感器具有流量检测部、流体流通管路、及流量检测用导热构件,该流量检测部具有发热功能和感温功能,该流体流通管路用于被检测流体的流通,该流量检测用导热构件接受上述流量检测部的发热的影响而且延伸到上述流体流通管内地进行配置,在上述流量检测部中,基于发热通过上述流量检测用导热构件实行接受上述被检测流体的吸热影响的感温,根据该感温的结果检测上述流体流通管路内的被检测流体的流量;其特征在于:上述流量检测部及上述流量检测用导热构件的与上述流量检测部进行热连接的部分被封闭在流量检测用基体内,该流量检测用基体部由导热率在0.7[W/m.K]以下的合成树脂构成。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员:山岸喜代志,川西利明,友成健二,井上真一,小池淳,
申请(专利权)人:三井金属矿业株式会社,
类型:发明
国别省市:JP[日本]
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