超声波传感器及其制造方法技术

本发明专利技术涉及超声波传感器及其制造方法。该超声波传感器，其具备：具有至少一个开口部(18)的基板、以封闭上述开口部(18)的方式被设置于上述基板的振动板(50)、以沿Y方向并列的方式被设置于上述振动板(50)的与上述开口部(18)相反的一侧并向与上述Y方向正交的X方向延伸的多个第一电极(14)、以沿上述X方向并列的方式被设置于上述振动板(50)的与上述开口部(18)相反的一侧并向上述Y方向延伸的多个第二电极(16)、以及至少在上述第一电极(14)与上述第二电极(16)交叉的部分被设置于上述第一电极(14)与上述第二电极(16)之间的多个压电体层(15)，在与上述X方向以及上述Y方向正交的Z方向，将上述第一电极(14)、上述压电体层(15)以及上述第二电极(16)重合的部分作为有源部，将上述振动板(50)能够通过上述有源部的驱动进行振动的区域作为可动部，在俯视观察时，在将由一个上述可动部与被设置于上述一个可动部内的上述有源部构成的单位作为一个超声波元件时，具备在俯视观察时，相对于上述可动部的面积的上述有源部的面积不同的两种以上的超声波元件。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】超声波传感器及其制造方法
本专利技术涉及超声波传感器及其制造方法。
技术介绍
以往，公知有呈阵列状配置具有开口部的半导体基板、处于以封闭开口部的方式被形成于半导体基板的表面的绝缘膜层上的双层电极以及夹持在双层电极之间的PZT陶瓷薄膜层的超声波传感器(例如参照专利文献1)。专利文献1：日本特开2010-164331号公报在这样的超声波传感器中，若欲控制发送灵敏度、接收灵敏度，则必须改变形成压电体层的压电材料。即，若欲准备接收专用的元件与发送专用的元件，则必须使压电材料不同的元件并列，从而非常困难。另外，在将压电材料统一的情况下，虽能够改变开口部的大小等来调整收发灵敏度，但若改变开口部的大小，则导致共振频率发生变化，从而存在实际使用困难的问题。
技术实现思路
本专利技术是鉴于上述情况而完成的，目的在于提供一种不改变共振频率的规格而使收发灵敏度不同的元件共存的超声波传感器及其制造方法。解决上述课题的本专利技术的方式在于提供一种超声波传感器，其特征在于，具备：基板，上述基板具有至少一个开口部；振动板，上述振动板以封闭上述开口部的方式被设置于上述基板；多个第一电极，上述多个第一电极以沿Y方向并列的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种超声波传感器，其特征在于，具备：基板，所述基板具有至少一个开口部；振动板，所述振动板以封闭所述开口部的方式被设置于所述基板；多个第一电极，所述多个第一电极以沿Y方向并列的方式被设置于所述振动板的与所述开口部相反的一侧，并向与所述Y方向正交的X方向延伸；多个第二电极，所述多个第二电极以沿所述X方向并列的方式被设置于所述振动板的与所述开口部相反的一侧，并向所述Y方向延伸；以及多个压电体层，所述多个压电体层至少在所述第一电极与所述第二电极交叉的部分被设置于所述第一电极与所述第二电极之间，在与所述X方向以及所述Y方向正交的Z方向，将所述第一电极、所述压电体层以及所述第二电极重合的部分作为有源部，将...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2014.07.09 JP 2014-1417781.一种超声波传感器，其特征在于，具备：基板，所述基板具有至少一个开口部；振动板，所述振动板以封闭所述开口部的方式被设置于所述基板；多个第一电极，所述多个第一电极以沿Y方向并列的方式被设置于所述振动板的与所述开口部相反的一侧，并向与所述Y方向正交的X方向延伸；多个第二电极，所述多个第二电极以沿所述X方向并列的方式被设置于所述振动板的与所述开口部相反的一侧，并向所述Y方向延伸；以及多个压电体层，所述多个压电体层至少在所述第一电极与所述第二电极交叉的部分被设置于所述第一电极与所述第二电极之间，在与所述X方向以及所述Y方向正交的Z方向，将所述第一电极、所述压电体层以及所述第二电极重合的部分作为有源部，将所述振动板能够通过所述有源部的驱动进行振动的区域作为可动部，在俯视观察时，在将由一个所述可动部与被设置于所述一个可动部内的所述有源部构成的单位作为一个超声波元件时，具备在俯视观察时，相对于所述可动部的面积的所述有源部的面积不同的两种以上的超声波元件。2.根据权利要求1所述的超声波传感器，其特征在于，具备在俯视观察时，所述可动部的面积相同，且所述有源部的面积不同的两种以上的超声波元件。3.根据权利要求1或2所述的超声波传感器，其特征在于，在俯视观察时，与所述超声波元件对应的开口部的面积实质相同，与一个开口部对应的所述压电体层的...

【专利技术属性】
技术研发人员：小岛力，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP