一种用于旋涂设备的圆心定位辅助装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种用于旋涂设备的圆心定位辅助装置，包括平移平板，平移平板下表面贴合滑块，滑块和平移平板通过第一螺钉固定装配，滑块下表面贴合滑轨，滑轨下表面贴合支撑底架，支撑底架和滑轨通过第二螺钉固定装配，支撑底架下表面固定安装定位块，支撑底架下表面开设导滑孔，导滑孔内壁滑动装配旋转装置，平移平板右侧壁贴合基片，通过精简结构零件可降低制造成本和降低操作繁琐性的效果，本实用新型专利技术与现有定位对中装置相比，操作简便、成本低廉的有益效果。

【技术实现步骤摘要】
一种用于旋涂设备的圆心定位辅助装置
本技术涉及纳米压印
，具体为一种用于旋涂设备的圆心定位辅助装置。
技术介绍
纳米压印技术是一种新型的微纳加工技术，是通过光刻胶辅助，将模板上的微纳结构转移到待加工材料上的技术，要想实现图形的精确复制和转移，首先要实现光刻胶在基片上的均匀涂覆，目前最常用的涂胶方式是旋涂，市面上旋涂设备如匀胶机、旋涂仪层出不穷，但工作原理都是通过真空将基片固定在真空吸盘上，设置适当的加速度及转速，利用离心力使光刻胶在基片上均匀铺展，因此，圆心位置的准确定位尤为重要，一旦偏离圆心，就会出现胶层厚度不均匀或无法完全覆盖基片等问题影响压印效果，现设计一种一种用于旋涂设备的圆心定位辅助装置以应对上述出现的问题，同时现有定位对中装置的对准操作的繁琐和零件多制造成本大的问题。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种用于旋涂设备的圆心定位辅助装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种用于旋涂设备的圆心定位辅助装置，包括平移平板，所述平移平板下表面贴合滑块，所述滑块和平移平板通过第一螺钉固定装配，所述滑块下表面贴合滑轨，所述滑轨下表面贴合支撑底架，所述支撑底架和滑轨通过第二螺钉固定装配，所述支撑底架下表面固定安装定位块，所述支撑底架下表面开设导滑孔，所述导滑孔内壁滑动装配旋转装置，所述平移平板右侧壁贴合基片；所述旋转装置包括转动轴，所述转动轴内壁贴合导滑孔内壁，所述转动轴上表面固定安装旋钮，所述旋钮下表面贴合平移平板上表面，所述转动轴下表面固定安装底部固定块，所述底部固定块上表面贴合支撑底架下表面；所述定位块包括第一定位块和第二定位块，所述第一定位块和第二定位块分别为纵向和横向固定安装。优选的，所述平移平板略高于真空吸盘平面，且平移平板、支撑底架与真空吸盘保持平行。优选的，所述平移平板、转装置、滑块、支撑底架和滑轨均为不锈钢材质。优选的，所述滑轨两侧滑块对称放置。优选的，所述定位块固定位置由所需圆形的尺寸决定，同一装置可包含多个定位块。与现有技术相比，本技术的有益效果是：一种用于旋涂设备的圆心定位辅助装置，具有平移平板、滑块、滑轨、定位块、旋转装置和支撑底架，平移平板，设于装置顶部，底部固定有滑块；支撑底架，设于装置底部，上方装有两条滑轨用于滑块运行，滑轨分列支撑底架表面两侧，下方安装有固定位置的定位块进行限位；旋转装置包括旋钮、转动轴和底部固定块，旋钮通过转动轴贯穿平移平板与支撑底架，与底部固定块相连，通过旋转角度控制不同尺寸的定位，通过精简结构零件可降低制造成本和降低操作繁琐性的效果，本技术与现有定位对中装置相比，操作简便、成本低廉的有益效果。附图说明图1为本技术的实施例的正视图；图2为本技术的实施例的俯视图；图3为本技术的底部旋钮运动示意图；图4为本技术的工作示意图。图中：1平移平板、2旋转装置、21旋钮、22转动轴、23底部固定块、3滑块、31第一螺钉、4支撑底架、41导滑孔、5定位块、51第一定位块、52第二定位块、6滑轨、61第二螺钉、7基片。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅图1-4，本技术提供一种技术方案：一种用于旋涂设备的圆心定位辅助装置，包括平移平板1，平移平板1下表面贴合滑块3，滑块3和平移平板1通过第一螺钉31固定装配，滑块3下表面贴合滑轨6，滑轨6下表面贴合支撑底架4，支撑底架4和滑轨6通过第二螺钉61固定装配，支撑底架4下表面固定安装定位块5，支撑底架4下表面开设导滑孔401，导滑孔401内壁滑动装配旋转装置2，平移平板1右侧壁贴合基片7；旋转装置2包括转动轴22，转动轴22内壁贴合导滑孔401内壁，转动轴22上表面固定安装旋钮21，旋钮21下表面贴合平移平板1上表面，转动轴22下表面固定安装底部固定块23，底部固定块23上表面贴合支撑底架4下表面；定位块5包括第一定位块51和第二定位块52，第一定位块51和第二定位块52分别为纵向和横向固定安装，所述平移平板上通过螺钉31固定有四个滑块3，两两对应置于两条滑轨6上，所述转动轴在支撑底架对应位置设有一个装配孔，所述底部固定块23与定位块5结构互补，推动平移平板1时，滑块3在滑轨6上滑行带动平移平板1运行，支撑底架4上固定有两个确定位置的定位块51和52，当平移平板1运动到旋转装置2中的底部固定块23与定位块5相接触时会停止移动，而旋钮21旋转不同的角度会使底部固定块23与不同的定位块5接触，旋钮21转到如图3所示位置时，可推动平移平板1使底部固定块23与定位块51相接触从而固定一种尺寸，当旋钮21顺时针旋转90°时，推动平移平板1底部固定块23会与定位块52相接触而固定另外一种尺寸。具体而言，平移平板1略高于真空吸盘平面，且平移平板1、支撑底架4与真空吸盘保持平行，可使定位的结果更加准确。具体而言，平移平板1、转装置2、滑块3、支撑底架4和滑轨6均为不锈钢材质，采用不锈钢材质可长期使用，不产生损坏，降低维修成本。具体而言，滑轨6两侧滑块3对称放置，通过两个滑轨6与每个滑轨6配合的两个滑块3，共四个滑块3使平移平板1移动更加稳定。具体而言，定位块5固定位置由所需圆形的尺寸决定，同一装置可包含多个定位块5，定位块5的数量和固定位置根据不用的使用场合具体设置。工作原理：当本技术在使用时，如图3和图4所示，具体操作步骤如下：当确定尺寸的基片7放在真空吸盘上时，旋转旋钮21使底部固定块23旋转合适角度，推动平移平板1使底部固定块23与定位块5接触，此时真空吸盘圆心到平移平板左侧分叉处的距离即为已知尺寸。然后调节基片7边缘使其与平移平板1左侧分叉处两条线相切，如图4所示位置，此时可以确定基片7与真空吸盘圆心重合，基片7的圆心被准确定位。尽管已经示出和描述了本技术的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本技术的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本技术的范围由所附权利要求及其等同物限定。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于旋涂设备的圆心定位辅助装置，包括平移平板(1)，其特征在于：所述平移平板(1)下表面贴合滑块(3)，所述滑块(3)和平移平板(1)通过第一螺钉(31)固定装配，所述滑块(3)下表面贴合滑轨(6)，所述滑轨(6)下表面贴合支撑底架(4)，所述支撑底架(4)和滑轨(6)通过第二螺钉(61)固定装配，所述支撑底架(4)下表面固定安装定位块(5)，所述支撑底架(4)下表面开设导滑孔(401)，所述导滑孔(401)内壁滑动装配旋转装置(2)，所述平移平板(1)右侧壁贴合基片(7)；/n所述旋转装置(2)包括转动轴(22)，所述转动轴(22)内壁贴合导滑孔(401)内壁，所述转动轴(22)上表面固定安装旋钮(21)，所述旋钮(21)下表面贴合平移平板(1)上表面，所述转动轴(22)下表面固定安装底部固定块(23)，所述底部固定块(23)上表面贴合支撑底架(4)下表面；/n所述定位块(5)包括第一定位块(51)和第二定位块(52)，所述第一定位块(51)和第二定位块(52)分别为纵向和横向固定安装。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于旋涂设备的圆心定位辅助装置，包括平移平板(1)，其特征在于：所述平移平板(1)下表面贴合滑块(3)，所述滑块(3)和平移平板(1)通过第一螺钉(31)固定装配，所述滑块(3)下表面贴合滑轨(6)，所述滑轨(6)下表面贴合支撑底架(4)，所述支撑底架(4)和滑轨(6)通过第二螺钉(61)固定装配，所述支撑底架(4)下表面固定安装定位块(5)，所述支撑底架(4)下表面开设导滑孔(401)，所述导滑孔(401)内壁滑动装配旋转装置(2)，所述平移平板(1)右侧壁贴合基片(7)；
所述旋转装置(2)包括转动轴(22)，所述转动轴(22)内壁贴合导滑孔(401)内壁，所述转动轴(22)上表面固定安装旋钮(21)，所述旋钮(21)下表面贴合平移平板(1)上表面，所述转动轴(22)下表面固定安装底部固定块(23)，所述底部固定块(23)上表面贴合支撑底架(4)下表面；
所述定位...

【专利技术属性】
技术研发人员：冀然，
申请(专利权)人：青岛天仁微纳科技有限责任公司，
类型：新型
国别省市：山东;37