【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于温度传感器领域，涉及切削加工时刀具刀尖处瞬态切削温度 的测量方法。技术背景由于高速切削过程中产生大量的切削热，使切削温度升高，直接影响工 件的热变形、已加工表面质量、刀具前刀面积屑瘤的产生和消退以及刀具寿 命等，因此快速、精确地监测切削温度可以获得工件的加工质量以及刀具工 作状态。目前比较常见的测量切削温度的方法有自然热电偶，人工热电偶，远 红外辐射方法，金属微结构和微硬度变化方法等。自然热电偶法测量的是切 削区域的平均温度，利用这种方法测得的切削温度简便可靠。但是每改变一 种刀具材料或者工件材料就需重新标定。人工热电偶只能测量离前刀面一定 距离处某点的温度，而不能直接测出前刀面上的温度。远红外辐射方法适用 于恶劣环境下远距离非接触监测物体表面温度，上述的众多测量方法都各自 有其优缺点以及适用领域，但都无法直接测量刀尖处的切削温度。由于切削 区域隐蔽在刀尖与工件之间，处于半封闭状态，普通的测温方法无法触及， 只能通过建立三维热传导模型，例如高斯热源公式，推导出刀尖处的温度。 虽然大量的模拟分析和热传导模型计算结果能近似的得到刀尖处的温度以及 温...
【技术保护点】
本专利技术一种嵌入式多层复合薄膜切削温度传感器的制作方法，其特征是：在刀体上进行多次ＳｉＯ↓［２］绝缘膜沉积，形成多层复合薄膜，然后溅射沉积ＮｉＣｒ薄膜电极（３）与ＮｉＳｉ薄膜电极（４）组成薄膜热电偶，并把制作好的薄膜热电偶嵌入到保护层内，其制作的步骤如下：１）、利用精密线切割数控机床将高速钢或硬质合金刀块加工成标准机夹刀片形式的刀体（１），在刀体（１）底部开出一个通槽（Ｃ），将刀体（１）的后刀面（Ａ）打磨抛光，最后使用粒度小于０．１μｍ的金刚石研磨膏抛光到镜面，将刀体（１）分别放入丙酮、酒精或阻值大于１３ＭΩ去离子水中，使用超声波清洗，将刀体（１）用氮气吹干后放入真空室内...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：孙宝元，孙奉道，崔云先，钱敏，张军，
申请(专利权)人：大连理工大学，
类型：发明
国别省市：91[中国|大连]
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