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本发明一种嵌入式多层复合薄膜切削温度传感器的制作方法属于温度传感器领域，涉及切削加工时刀具刀尖处瞬态切削温度的测量方法。在刀体上进行多次ＳｉＯ↓［２］绝缘膜沉积，形成多层复合薄膜，然后溅射沉积ＮｉＣｒ薄膜电极与ＮｉＳｉ薄膜电极组成薄膜热电偶...
该专利属于大连理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过大连理工大学授权不得商用。

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