一种全自动晶体生长炉制造技术

本实用新型专利技术公开了一种全自动晶体生长炉，包括底炉体、制冷机、第一高温电机、第二高温电机、控制机柜和炉压控制器，所述底炉体的内侧设置有保温桶，所述底炉体的内部下表面焊接有位于加热器内侧的侧板，所述冷却管的内侧底端设置有安装横板，所述底炉体的上方设置有分段体，所述控制机柜位于制冷机的右侧，所述炉压控制器安装在控制机柜的左侧面。该全自动晶体生长炉，利用冷却管和喷头方便均匀降低底炉体的温度，使得晶体均匀冷却，结构稳定，利用分段体之间的卡槽连接以及固定盘之间的螺钉连接，便于拆分底炉体，从而方便维修，通过压力传感器监控炉压，将炉压控制在40Torr，正常控制重掺锑单晶的电阻率分布。

【技术实现步骤摘要】
一种全自动晶体生长炉
本技术涉及晶体生长
，具体为一种全自动晶体生长炉。
技术介绍
硅是目前最主要的半导体结构元件的基础，利用外来原子进行掺杂，能够获得一定的电性能，在全自动晶体生长炉内部熔炼晶体，使得硅与其他物质掺杂，方便制作硅晶体。现有的全自动晶体生长炉不方便均匀降低底炉体的温度，影响晶体的质量，不方便拆分各个组成部分，从而不便于维修，不便于控制炉压，因此，我们提出一种全自动晶体生长炉，以便于解决上述中提出的问题。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种全自动晶体生长炉，以解决上述
技术介绍
中提出的现有的全自动晶体生长炉不方便均匀降低底炉体的温度，影响晶体的质量，不方便拆分各个组成部分，从而不便于维修，不便于控制炉压的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种全自动晶体生长炉，包括底炉体、制冷机、第一高温电机、第二高温电机、控制机柜和炉压控制器，所述底炉体的内侧设置有保温桶，且保温桶的内侧设置有加热器，所述底炉体的内部下表面焊接有位于加热器内侧的侧板，且侧板的外侧设置有冷却管，并且冷却管的内端连接有喷头，所述制冷机位于底炉体的右侧，所述冷却管的内侧底端设置有安装横板，且安装横板的左端贯穿有垂直焊接在底炉体内部下表面的限定杆，所述第一高温电机安装在安装横板的下表面，且第一高温电机的输出端连接有坩埚，所述第二高温电机安装在底炉体的底端，且第二高温电机的输出端连接有丝杆，所述底炉体的上方设置有分段体，且分段体的外侧焊接有固定盘，并且分段体的顶端安装有炉盖，所述控制机柜位于制冷机的右侧，且控制机柜的内部安装有数据显示屏，所述炉压控制器安装在控制机柜的左侧面，且炉压控制器的左端贯穿底炉体的顶端，并且底炉体的底端安装有压力传感器。优选的，所述侧板的横截面呈弧形结构，且侧板在底炉体的内部下表面等角度设置。优选的，所述冷却管呈螺旋状结构，且冷却管的内侧面与侧板的外侧面固定连接，冷却管的顶端和底端均贯穿底炉体的右端，且冷却管的底端与制冷机的输出端相连接。优选的，所述安装横板通过丝杆与底炉体构成升降就结构，且坩埚的下表面等角度焊接有连接杆。优选的，所述坩埚通过连接杆与安装横板构成转动结构，且连接杆的底端呈球形结构。优选的，所述分段体与分段体的连接方式为卡槽连接，且分段体的顶端和底端均焊接有固定盘。与现有技术相比，本技术的有益效果是：该全自动晶体生长炉，利用冷却管和喷头方便均匀降低底炉体的温度，使得晶体均匀冷却，结构稳定，利用分段体之间的卡槽连接以及固定盘之间的螺钉连接，便于拆分底炉体，从而方便维修，通过压力传感器监控炉压，将炉压控制在40Torr，正常控制重掺锑单晶的电阻率分布；1.设置有侧板、冷却管和喷头，螺旋状结构的冷却管通过侧板安装在底炉体的中部，即坩埚的外侧，在制冷机的作用下，冷风通过冷却管和喷头均匀分布在底炉体的中部，便于均匀降低底炉体内部的温度；2.设置有安装横板、坩埚和连接杆，等角度焊接在坩埚下方的连接杆嵌入式安装在安装横板的顶端，当坩埚旋转时，利用连接杆支撑坩埚，使得坩埚稳定转动；3.设置有分段体和固定盘，分段体单体之间的连接方式为卡槽连接，且分段体上的固定盘与另一组分段体上的固定盘通过螺钉和螺帽固定连接，使得分段体单体之间连接紧密，确保密封性，避免热量散失，且方便拆分组合分段体，便于维修；4.设置有底炉体、分段体、压力传感器和炉压控制器，通过压力传感器监测底炉体和分段体组合成的空间内的压力，压力传感器与炉压控制器耦合连接，炉压控制器与底炉体相连接，利用压力传感器和炉压控制器便于控制炉压，将炉压控制在40Torr，通过调整炉压，减少锑的挥发量，从而正常控制重掺锑单晶的电阻率分布。附图说明图1为本技术正视剖切结构示意图；图2为本技术图1中A处放大结构示意图；图3为本技术俯视剖切结构示意图；图4为本技术冷却管与侧板连接结构示意图；图5为本技术固定盘与分段体连接结构示意图。图中：1、底炉体；2、保温桶；3、加热器；4、侧板；5、冷却管；6、喷头；7、制冷机；8、安装横板；9、第一高温电机；10、坩埚；11、第二高温电机；12、丝杆；13、限定杆；14、分段体；15、固定盘；16、炉盖；17、控制机柜；18、数据显示屏；19、连接杆；20、压力传感器；21、炉压控制器。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅图1-5，本技术提供一种技术方案：一种全自动晶体生长炉，包括底炉体1、保温桶2、加热器3、侧板4、冷却管5、喷头6、制冷机7、安装横板8、第一高温电机9、坩埚10、第二高温电机11、丝杆12、限定杆13、分段体14、固定盘15、炉盖16、控制机柜17、数据显示屏18、连接杆19、压力传感器20和炉压控制器21，底炉体1的内侧设置有保温桶2，且保温桶2的内侧设置有加热器3，底炉体1的内部下表面焊接有位于加热器3内侧的侧板4，且侧板4的外侧设置有冷却管5，并且冷却管5的内端连接有喷头6，制冷机7位于底炉体1的右侧，冷却管5的内侧底端设置有安装横板8，且安装横板8的左端贯穿有垂直焊接在底炉体1内部下表面的限定杆13，第一高温电机9安装在安装横板8的下表面，且第一高温电机9的输出端连接有坩埚10，第二高温电机11安装在底炉体1的底端，且第二高温电机11的输出端连接有丝杆12，底炉体1的上方设置有分段体14，且分段体14的外侧焊接有固定盘15，并且分段体14的顶端安装有炉盖16，控制机柜17位于制冷机7的右侧，且控制机柜17的内部安装有数据显示屏18，炉压控制器21安装在控制机柜17的左侧面，且炉压控制器21的左端贯穿底炉体1的顶端，并且底炉体1的底端安装有压力传感器20；如图1、图2和图5中安装横板8通过丝杆12与底炉体1构成升降就结构，且坩埚10的下表面等角度焊接有连接杆19，方便调节安装横板8上坩埚10的位置，坩埚10通过连接杆19与安装横板8构成转动结构，且连接杆19的底端呈球形结构，使得坩埚10稳定旋转，分段体14与分段体14的连接方式为卡槽连接，且分段体14的顶端和底端均焊接有固定盘15，方便拆分底炉体1的各个部分，便于维修底炉体1；如图1、图3和图4中侧板4的横截面呈弧形结构，且侧板4在底炉体1的内部下表面等角度设置，利用侧板4方便将冷却管5安装在底炉体1的中部，冷却管5呈螺旋状结构，且冷却管5的内侧面与侧板4的外侧面固定连接，冷却管5的顶端和底端均贯穿底炉体1的右端，且冷却管5的底端与制冷机7的输出端相连接，便于对底炉体1均匀制冷。工作原理：在使用该全自动晶体生长炉时，首先当需要对坩埚10内部的硅液降温时，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种全自动晶体生长炉，包括底炉体(1)、制冷机(7)、第一高温电机(9)、第二高温电机(11)、控制机柜(17)和炉压控制器(21)，其特征在于：所述底炉体(1)的内侧设置有保温桶(2)，且保温桶(2)的内侧设置有加热器(3)，所述底炉体(1)的内部下表面焊接有位于加热器(3)内侧的侧板(4)，且侧板(4)的外侧设置有冷却管(5)，并且冷却管(5)的内端连接有喷头(6)，所述制冷机(7)位于底炉体(1)的右侧，所述冷却管(5)的内侧底端设置有安装横板(8)，且安装横板(8)的左端贯穿有垂直焊接在底炉体(1)内部下表面的限定杆(13)，所述第一高温电机(9)安装在安装横板(8)的下表面，且第一高温电机(9)的输出端连接有坩埚(10)，所述第二高温电机(11)安装在底炉体(1)的底端，且第二高温电机(11)的输出端连接有丝杆(12)，所述底炉体(1)的上方设置有分段体(14)，且分段体(14)的外侧焊接有固定盘(15)，并且分段体(14)的顶端安装有炉盖(16)，所述控制机柜(17)位于制冷机(7)的右侧，且控制机柜(17)的内部安装有数据显示屏(18)，所述炉压控制器(21)安装在控制机柜(17)的左侧面，且炉压控制器(21)的左端贯穿底炉体(1)的顶端，并且底炉体(1)的底端安装有压力传感器(20)。/n...

【技术特征摘要】
1.一种全自动晶体生长炉，包括底炉体(1)、制冷机(7)、第一高温电机(9)、第二高温电机(11)、控制机柜(17)和炉压控制器(21)，其特征在于：所述底炉体(1)的内侧设置有保温桶(2)，且保温桶(2)的内侧设置有加热器(3)，所述底炉体(1)的内部下表面焊接有位于加热器(3)内侧的侧板(4)，且侧板(4)的外侧设置有冷却管(5)，并且冷却管(5)的内端连接有喷头(6)，所述制冷机(7)位于底炉体(1)的右侧，所述冷却管(5)的内侧底端设置有安装横板(8)，且安装横板(8)的左端贯穿有垂直焊接在底炉体(1)内部下表面的限定杆(13)，所述第一高温电机(9)安装在安装横板(8)的下表面，且第一高温电机(9)的输出端连接有坩埚(10)，所述第二高温电机(11)安装在底炉体(1)的底端，且第二高温电机(11)的输出端连接有丝杆(12)，所述底炉体(1)的上方设置有分段体(14)，且分段体(14)的外侧焊接有固定盘(15)，并且分段体(14)的顶端安装有炉盖(16)，所述控制机柜(17)位于制冷机(7)的右侧，且控制机柜(17)的内部安装有数据显示屏(18)，所述炉压控制器(21)安装在控制机柜(17)的左侧面，且炉压控制器(21)的左端贯穿底炉...

【专利技术属性】
技术研发人员：张向东，陆荣，俞顺根，程龙柱，章斌，
申请(专利权)人：衢州晶哲电子材料有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江;33