一种硅片液体抛光蜡用的甩蜡台制造技术

本实用新型专利技术涉及硅片液体抛光技术领域，尤其为一种硅片液体抛光蜡用的甩蜡台，包括：底座，所述底座上表面固定连接有支撑柱；顶板，所述顶板固定连接在支撑柱顶部；滴蜡机构，所述滴蜡机构安装在顶板上；甩蜡机构，所述甩蜡机构设置在滴蜡机构下侧；蜡回收机构，所述蜡回收机构设置在甩蜡机构外侧和下侧；本实用新型专利技术中，通过设置的环形挡板、环形陶瓷加热器和第二加热器，能够在甩蜡的同时，对多余的蜡进行回收并使其重新进入出蜡槽内，避免后期回收工序复杂，能过够有效节约材料，同时提高效率，节约后期处理的设备成本。约后期处理的设备成本。约后期处理的设备成本。

【技术实现步骤摘要】
一种硅片液体抛光蜡用的甩蜡台


[0001]本技术涉及硅片液体抛光
，具体为一种硅片液体抛光蜡用的甩蜡台。

技术介绍

[0002]单晶硅抛光片生产有蜡工艺，需要在硅片待抛光面的背面敷上一层蜡膜。为了保证蜡膜均匀，要求硅片一定的速度高速旋转，将表面多余的蜡甩离硅片表面，现有的甩蜡台直接进行甩蜡操作或者通过挡板对将飞溅的蜡甩到挡板表面，后期再对挡板上的蜡进行回收处理，飞溅再挡板上的蜡会凝固，后期不仅需要对其进行融化，再回收时，还可能使蜡手受到污染，后期还需要对蜡液进行除杂，不仅回收效率低下，还需要购置多种设备进行处理。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种硅片液体抛光蜡用的甩蜡台，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0004]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种硅片液体抛光蜡用的甩蜡台，包括：
[0005]底座，所述底座上表面固定连接有支撑柱；
[0006]顶板，所述顶板固定连接在支撑柱顶部；
[0007]滴蜡机构，所述滴蜡机构安装在顶板上；
[0008]甩蜡机构，所述甩蜡机构设置在滴蜡机构下侧；
[0009]蜡回收机构，所述蜡回收机构设置在甩蜡机构外侧和下侧。
[0010]作为本技术优选的方案，所述底座包括：
[0011]储蜡槽，所述储蜡槽开设在底座内部；
[0012]第一加热器，所述第一加热器固定连接在底座一侧表面；
[0013]加热柱，所述加热柱等距离固定连接在第一加热器一侧表面，所述加热柱贯穿储蜡槽一侧槽壁。
[0014]作为本技术优选的方案，所述蜡回收机构包括：
[0015]集蜡漏斗，所述集蜡漏斗固定安装在储蜡槽顶部槽口处；
[0016]第二加热器，所述第二加热器固定连接在底座一侧表面；
[0017]螺旋加热管，所述螺旋加热管螺旋固定在集蜡漏斗表面，所述螺旋加热管一端贯穿储蜡槽一侧槽壁，所述螺旋加热管一端与第二加热器一侧表面固定连接；
[0018]环形挡板，所述环形挡板固定连接在集蜡漏斗顶部；
[0019]环形陶瓷加热器，所述环形陶瓷加热器固定安装在环形挡板外侧表面。
[0020]作为本技术优选的方案，所述甩蜡机构包括：
[0021]连接杆，所述连接杆等距离固定连接在环形挡板内侧面；
[0022]固定盘，所述固定盘固定连接在连接杆一端；
[0023]甩蜡电机，所述甩蜡电机固定安装在固定盘下表面；
[0024]转轴，所述转轴与甩蜡电机输出端固定连接，所述转轴贯穿固定盘；
[0025]甩蜡台，所述甩蜡台与转轴上端固定连接；
[0026]启动甩蜡电机转动，甩蜡电机转动进一步带动转轴转动，转轴转动技能一部带动甩蜡台转动，进一步带动硅片进行甩蜡，进一步使蜡均匀的覆盖在硅片表面，多余的蜡被甩出并飞溅在环形挡板的内壁上，启动环形陶瓷加热器对环形挡板进行加热，飞溅在环形挡板上的蜡液向下流动进一步进入集蜡漏斗内，同时启动第二加热器进一步通过螺旋加热管对集蜡漏斗进行加热，蜡液进入集蜡漏斗内聚集并流向储蜡槽内。
[0027]作为本技术优选的方案，所述甩蜡机构包括：
[0028]空腔，所述空腔开设在甩蜡台内部；
[0029]抽真空腔，所述抽真空腔设置在空腔内部；
[0030]抽气吸孔，所述抽气吸孔开设在抽真空腔顶部腔壁上；
[0031]密封圈，所述密封圈固定连接在抽气吸孔内侧孔壁上；
[0032]抽真空泵，所述抽真空泵固定安装在空腔内部；
[0033]抽气管，所述抽气管一端与抽真空泵进气端口处固定连接，所述抽气管一端贯穿抽真空腔一侧腔壁；
[0034]出气管，所述出气管一端与抽真空泵出气端口处固定连接，所述出气管一端贯穿空腔一侧腔壁；
[0035]将硅片放置在甩蜡台上，启动抽真空泵进一步通过抽气管对抽真空腔内进行抽真空，进一步通过抽气吸孔将硅片吸住。
[0036]作为本技术优选的方案，所述滴蜡机构包括：
[0037]抽蜡泵安装箱，所述抽蜡泵安装箱固定连接在顶板顶部表面；
[0038]抽蜡泵，所述抽蜡泵安装在抽蜡泵安装箱内部；
[0039]出蜡管，所述出蜡管固定连接在抽蜡泵出蜡端口处，所述出蜡管贯穿顶板；
[0040]管道，所述管道固定连接在抽蜡泵进蜡端口处，所述管道一端贯穿抽蜡泵安装箱一侧箱壁，所述管道另一端贯穿储蜡槽一侧槽壁。
[0041]作为本技术优选的方案，所述滴蜡机构包括：
[0042]气缸，所述气缸固定连接在顶板上表面两侧，所述气缸下端贯穿顶板；
[0043]固定板，所述固定板固定连接在气缸下端；
[0044]密封槽，所述密封槽开设在固定板下表面，所述密封槽与环形挡板对应设置；
[0045]滴蜡头，所述滴蜡头固定安装在密封槽内部顶部槽壁上，所述滴蜡头贯穿密封槽顶部槽壁；
[0046]软管，所述软管一端与出蜡管一端固定连接，所述软管一端与滴蜡头固定连接；
[0047]启动气缸进一步带动固定板向下运动，进一步通过密封槽将环形挡板顶部盖住，启动抽蜡泵，进一步通过管道将储蜡槽内的蜡抽出，进一步通过出蜡管、软管和滴蜡头对硅片进行滴蜡。
[0048]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0049]本技术中，通过设置的环形挡板、环形陶瓷加热器和第二加热器，启动甩蜡电
机转动，甩蜡电机转动进一步带动转轴转动，转轴转动技能一部带动甩蜡台转动，进一步带动硅片进行甩蜡，进一步使蜡均匀的覆盖在硅片表面，多余的蜡被甩出并飞溅在环形挡板的内壁上，启动环形陶瓷加热器对环形挡板进行加热，飞溅在环形挡板上的蜡液向下流动进一步进入集蜡漏斗内，同时启动第二加热器进一步通过螺旋加热管对集蜡漏斗进行加热，蜡液进入集蜡漏斗内聚集并流向储蜡槽内，能够在甩蜡的同时，对多余的蜡进行回收并使其重新进入出蜡槽内，避免后期回收工序复杂，能过够有效节约材料，同时提高效率，节约后期处理的设备成本。
附图说明
[0050]图1为本技术的整体立体结构示意图；
[0051]图2为本技术的正剖面结构示意图；
[0052]图3为本技术的侧剖面结构示意图；
[0053]图4为本技术的横剖面结构示意图。
[0054]图中：1、底座；2、滴蜡机构；3、甩蜡机构；4、蜡回收机构；5、支撑柱；6、顶板；7、管道；8、固定板；9、抽蜡泵安装箱；10、气缸；11、第一加热器；12、第二加热器；13、抽蜡泵；14、出蜡管；15、软管；16、滴蜡头；17、甩蜡台；18、空腔；19、密封圈；20、抽气吸孔；21、抽真空腔；22、抽气管；23、抽真空泵；24、出气管；25、固定盘；26、加热柱；27、螺旋加热管；28、集蜡漏斗；29、连接杆；30、储蜡槽；31、环形陶瓷加热器；32、环形挡板；33、密封槽；34、甩蜡电机；3本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅片液体抛光蜡用的甩蜡台，其特征在于，包括：底座(1)，所述底座(1)上表面固定连接有支撑柱(5)；顶板(6)，所述顶板(6)固定连接在支撑柱(5)顶部；滴蜡机构(2)，所述滴蜡机构(2)安装在顶板(6)上；甩蜡机构(3)，所述甩蜡机构(3)设置在滴蜡机构(2)下侧；蜡回收机构(4)，所述蜡回收机构(4)设置在甩蜡机构(3)外侧和下侧。2.根据权利要求1所述的一种硅片液体抛光蜡用的甩蜡台，其特征在于：所述底座(1)包括：储蜡槽(30)，所述储蜡槽(30)开设在底座(1)内部；第一加热器(11)，所述第一加热器(11)固定连接在底座(1)一侧表面；加热柱(26)，所述加热柱(26)等距离固定连接在第一加热器(11)一侧表面，所述加热柱(26)贯穿储蜡槽(30)一侧槽壁。3.根据权利要求1所述的一种硅片液体抛光蜡用的甩蜡台，其特征在于：所述蜡回收机构(4)包括：集蜡漏斗(28)，所述集蜡漏斗(28)固定安装在储蜡槽(30)顶部槽口处；第二加热器(12)，所述第二加热器(12)固定连接在底座(1)一侧表面；螺旋加热管(27)，所述螺旋加热管(27)螺旋固定在集蜡漏斗(28)表面，所述螺旋加热管(27)一端贯穿储蜡槽(30)一侧槽壁，所述螺旋加热管(27)一端与第二加热器(12)一侧表面固定连接；环形挡板(32)，所述环形挡板(32)固定连接在集蜡漏斗(28)顶部；环形陶瓷加热器(31)，所述环形陶瓷加热器(31)固定安装在环形挡板(32)外侧表面。4.根据权利要求1所述的一种硅片液体抛光蜡用的甩蜡台，其特征在于：所述甩蜡机构(3)包括：连接杆(29)，所述连接杆(29)等距离固定连接在环形挡板(32)内侧面；固定盘(25)，所述固定盘(25)固定连接在连接杆(29)一端；甩蜡电机(34)，所述甩蜡电机(34)固定安装在固定盘(25)下表面；转轴(35)，所述转轴(35)与甩蜡电机(34)输出端固定连接，所述转轴(35)贯穿固定盘(25)；甩蜡台(17)，所述甩蜡台(17)与转轴(35)上端固定连接。5.根据权利要求1所...

【专利技术属性】
技术研发人员：毛荣昌，徐海琦，张宇平，
申请(专利权)人：衢州晶哲电子材料有限公司，
类型：新型
国别省市：