一种硅片激光打标定位机构制造技术

技术编号:36912776 阅读:13 留言:0更新日期:2023-03-18 09:30
本实用新型专利技术涉及硅片加工技术领域,尤其为一种硅片激光打标定位机构,本实用新型专利技术中,包括:传送定位机构,所述传送定位机构包括多个连接单元;输出机构,所述输出机构固定于传送定位机构的底部;收集机构,所述收集机构固定于输出机构的一侧;定位外框,所述定位外框固定于输出机构的顶部,通过设置的第一电动推杆能够对延伸进入固定板和侧板内部的材料进行夹持和定位,材料与触碰感应器接触后可实现自动夹持,通过设置的第二电动推杆能够带动第二推板位于挤压仓的内部移动,在移动过程中可推动材料至气动伸缩杆延伸端的上方,再启动气动伸缩杆即可推动材料由延伸出口输出至固定板的内部进行夹持定位,实现对材料的自动输入。实现对材料的自动输入。实现对材料的自动输入。

【技术实现步骤摘要】
一种硅片激光打标定位机构


[0001]本技术涉及硅片加工
,具体为一种硅片激光打标定位机构。

技术介绍

[0002]硅片,是制作集成电路的重要材料,通过对硅片进行光刻、离子注入等手段,可以制成各种半导体器件,用硅片制成的芯片有着惊人的运算能力,科学技术的发展不断推动着半导体的发展。自动化和计算机等技术发展,使硅片(集成电路)这种高技术产品的造价已降到十分低廉的程度,这使得硅片已广泛应用于航空航天、工业、农业和国防,甚至悄悄进入每一个家庭,目前在对硅片进行加工时需要进行激光打标以对不同的硅片进行标记,专利号为:提出“包括激光器架、灯架和摄像头架,所述灯架安装在激光器架内侧,所述摄像头架安装在激光器架外侧,所述激光器架上安装有激光器和激光器镜头,所述灯架上安装有补光灯,所述摄像头架上安装有摄像头,所述灯架侧面设有滑槽,所述灯架通过滑槽在激光架上移动。”实现“通过补光灯提供稳定的光照环境,补光灯与摄像头之间的距离可以调节,实现最佳的补光效果,从而使CCD摄像头能获取较高质量的目标图像;计算目标物的准确位置,利用相机结构辅助打标定位,定位精准,确保激光器的准确就位,提高打标效果”但其在打标前需要人工进行放置,且对打标后的材料进行检查和收集均需要人工进行校准,不利于提高生产效率。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种硅片激光打标定位机构,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0004]为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:包括:
[0005]传送定位机构,所述传送定位机构包括多个连接单元;
[0006]输出机构,所述输出机构固定于传送定位机构的底部;
[0007]收集机构,所述收集机构固定于输出机构的一侧;
[0008]定位外框,所述定位外框固定于输出机构的顶部。
[0009]作为本技术优选的方案,所述传送定位机构包括:
[0010]定位侧板,所述定位侧板固定于定位外框的两侧;
[0011]第一电机,所述第一电机固定于定位侧板的一侧;
[0012]转动轴,所述转动轴固定于第一电机的输出端;
[0013]转盘,所述转盘固定于转动轴两端的两侧,两侧的转盘之间固定连接有若干个固定板,所述固定板的一侧固定连接有侧板;
[0014]第一电动推杆,所述第一电动推杆固定于侧板的两侧,所述第一电动推杆的延伸端固定连接有第一推板;
[0015]触碰感应器,所述触碰感应器固定于侧板的内部,通过设置的第一电动推杆能够对延伸进入固定板和侧板内部的材料进行夹持和定位,材料与触碰感应器接触后可实现自
动夹持。
[0016]作为本技术优选的方案,所述输出机构包括:
[0017]底箱,所述底箱固定于定位外框的底部;
[0018]翻转板,所述翻转板设置于底箱的一侧;
[0019]延伸出口,所述延伸出口开设于定位外框底板的内部,所述延伸出口与底箱的内部连通;
[0020]挤压仓,所述挤压仓设置于底箱的内部;
[0021]第二电动推杆,所述第二电动推杆固定于挤压仓内部的一侧;
[0022]第二推板,所述第二推板固定于第二电动推杆的延伸端;
[0023]气动伸缩杆,所述气动伸缩杆固定于挤压仓的内部;
[0024]斜向板,所述斜向板固定于挤压仓的一侧,所述斜向板固定于气动伸缩杆上方的一侧,所述气动伸缩杆的延伸端贴合斜向板的一侧,所述气动伸缩杆的延伸端与延伸出口相对设置,通过设置的第二电动推杆能够带动第二推板位于挤压仓的内部移动,在移动过程中可推动材料至气动伸缩杆延伸端的上方,再启动气动伸缩杆即可推动材料由延伸出口输出至固定板的内部进行夹持定位,实现对材料的自动输入。
[0025]作为本技术优选的方案,所述收集机构包括:
[0026]储存箱体,所述储存箱体固定于输出机构的一侧;
[0027]伸缩框,所述伸缩框设置于储存箱体的上方;
[0028]第三电机,所述第三电机分布于储存箱体一侧的两端;
[0029]螺纹杆,所述螺纹杆固定于第三电机的输出端,两侧的螺纹杆贯穿转动板的两侧且与转动板螺纹连接;
[0030]第二电机,所述第二电机固定于伸缩框的内部;
[0031]转动板,所述转动板与第二电机的延伸端固定连接,通过启动第三电机能够带动螺纹杆进行旋转拉动伸缩框进行移动,在伸缩框移动至固定板下方时固定板两侧的第一电动推杆收缩松开材料,材料掉入伸缩框的内部后由伸缩框输送至储存箱体的上方,再启动第二电机带动转动板翻转即可使材料滑入储存箱体内部进行收集。
[0032]作为本技术优选的方案,所述收集机构还包括:
[0033]弹簧伸缩杆,所述弹簧伸缩杆固定于储存箱体的内部;
[0034]升降板,所述升降板与弹簧伸缩杆的延伸端固定连接,在硅片材料掉入储存箱体内部后升降板在重力作用下下沉,避免材料进入储存箱体内部后落差太大造成损坏。
[0035]作为本技术优选的方案,所述传送定位机构还包括;
[0036]摄像头,所述摄像头固定于定位外框的底部;
[0037]打标模块,所述打标模块固定于定位外框顶板的底部,所述打标模块与输送至定位外框内部一侧位于水平位置的固定板相对设置,通过设置的打标模块对材料进行激光打标,通过设置的摄像头能够对输送至定位外框内部的上方的固定板内部夹持的材料进行检查,能够提高生产效率。
[0038]作为本技术优选的方案,所述固定板以转动轴为圆心等距分布于转盘外环的边缘。
[0039]与现有技术相比,本技术的有益效果是:
[0040]1、本技术中,通过设置的第一电动推杆能够对延伸进入固定板和侧板内部的材料进行夹持和定位,材料与触碰感应器接触后可实现自动夹持,通过设置的第二电动推杆能够带动第二推板位于挤压仓的内部移动,在移动过程中可推动材料至气动伸缩杆延伸端的上方,再启动气动伸缩杆即可推动材料由延伸出口输出至固定板的内部进行夹持定位,实现对材料的自动输入。
[0041]2、本技术中,通过启动第三电机能够带动螺纹杆进行旋转拉动伸缩框进行移动,在伸缩框移动至固定板下方时固定板两侧的第一电动推杆收缩松开材料,材料掉入伸缩框的内部后由伸缩框输送至储存箱体的上方,再启动第二电机带动转动板翻转即可使材料滑入储存箱体内部进行收集。
[0042]3、本技术中,通过设置的打标模块对材料进行激光打标,通过设置的摄像头能够对输送至定位外框内部的上方的固定板内部夹持的材料进行检查,在硅片材料掉入储存箱体内部后升降板在重力作用下下沉,避免材料进入储存箱体内部后落差太大造成损坏。
附图说明
[0043]图1为本技术的整体立体结构示意图;
[0044]图2为本技术主视的内部结构示意图;
[0045]图3为本技术A结构的放大示意图;
[0046]图4为本技术B结构的放大示意图。...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅片激光打标定位机构,其特征在于,包括:传送定位机构(1),所述传送定位机构(1)包括多个连接单元;输出机构(2),所述输出机构(2)固定于传送定位机构(1)的底部;收集机构(3),所述收集机构(3)固定于输出机构(2)的一侧;定位外框(4),所述定位外框(4)固定于输出机构(2)的顶部。2.根据权利要求1所述的一种硅片激光打标定位机构,其特征在于:所述传送定位机构(1)包括:定位侧板(5),所述定位侧板(5)固定于定位外框(4)的两侧;第一电机(6),所述第一电机(6)固定于定位侧板(5)的一侧;转动轴(7),所述转动轴(7)固定于第一电机(6)的输出端;转盘(8),所述转盘(8)固定于转动轴(7)两端的两侧,两侧的转盘(8)之间固定连接有若干个固定板(9),所述固定板(9)的一侧固定连接有侧板(11);第一电动推杆(12),所述第一电动推杆(12)固定于侧板(11)的两侧,所述第一电动推杆(12)的延伸端固定连接有第一推板(13);触碰感应器(14),所述触碰感应器(14)固定于侧板(11)的内部。3.根据权利要求1所述的一种硅片激光打标定位机构,其特征在于:所述输出机构(2)包括:底箱(16),所述底箱(16)固定于定位外框(4)的底部;翻转板(15),所述翻转板(15)设置于底箱(16)的一侧;延伸出口(17),所述延伸出口(17)开设于定位外框(4)底板的内部,所述延伸出口(17)与底箱(16)的内部连通;挤压仓(18),所述挤压仓(18)设置于底箱(16)的内部;第二电动推杆(19),所述第二电动推杆(19)固定于挤压仓(18)内部的一侧;第二推板(30),所述第二推板(30)固定于第二电动推杆(19)的延伸端;气动伸缩杆(20),所述气动伸缩杆(20)固定于挤压...

【专利技术属性】
技术研发人员:张向东候海龙周高
申请(专利权)人:衢州晶哲电子材料有限公司
类型:新型
国别省市:

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