一种硅棒晶向调节机构制造技术

本实用新型专利技术涉及硅棒加工技术领域，尤其为一种硅棒晶向调节机构，包括：底座，所述底座上端两侧固定设有弧形导轨，且两侧的弧形导轨圆心与旋转转轴相同；转向机构，所述转向机构与底座连为一体；驱动机构，所述驱动机构与底座连为一体，同时第二转轴一端的齿轮对弧形滑动板侧表面的啮齿作用，带动弧形滑动板在弧形导轨表面缓缓滑动，从而使调节板通过旋转转轴旋转，调节角度，间接带动硅棒载台表面的硅棒转动调整角度，指针对应指示硅棒载台一端的刻度线，方便观察，调整好后，松开转轮，在弹簧作用下限位棘轮卡入限位槽进行限位，方便进行调节位置，以及方便进行限位固定。以及方便进行限位固定。以及方便进行限位固定。

【技术实现步骤摘要】
一种硅棒晶向调节机构


[0001]本技术涉及硅棒加工
，具体为一种硅棒晶向调节机构。

技术介绍

[0002]半导体单晶晶棒在多线切割成硅片前，首先需要利用专门的X射线定向仪测量晶棒加工面的晶向位置和晶向度数，由此得到晶棒粘接时的偏移方向和偏移距离。再将晶棒和树脂板通过AB胶按照偏移方向和偏移距离粘接在晶托上，由于大部分晶托只有粘接平面，没有可以调整方向和距离的机构，所以目前基本采用手工偏移的方式，就存在偏移距离不精确，粘接不均匀的问题。如果操作不当就会出现晶向偏离或者粘接不牢的情况，就需要将粘接错误的晶棒加热除胶，不仅浪费材料，对晶棒品质也有一定的影响，当晶棒和晶托粘接不牢时，在多线切割过程中容易发生掉棒或掉片现象，对切割设备和产品质量都有较大影响。
[0003]中国专利202122058302.2公开了一种硅棒晶向角度调节装置，角度调节时，先明确角度调节的方向并对应转动旋钮，以带动丝杠旋转，使得滑块进行相应的平移，再通过铰链杆带动调节板进行转动偏移，角度偏移量的大小可以根据环形刻度进行微调，并根据弧形刻度进行复核，微调到所需度数后，用锁紧螺钉将调节板与底座相固定。
[0004]上述案例在角度调节后需要通过紧固螺钉进行固定，固定的时间较长，后续拆卸也费时费力，因此需要一种硅棒晶向调节机构对上述问题做出改善。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种硅棒晶向调节机构，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0006]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
[0007]一种硅棒晶向调节机构，包括：
[0008]底座，所述底座上端两侧固定设有弧形导轨，且两侧的弧形导轨圆心与旋转转轴相同；
[0009]转向机构，所述转向机构与底座连为一体；
[0010]驱动机构，所述驱动机构与底座连为一体。
[0011]作为本技术优选的方案，所述转向机构包括：
[0012]调节板，所述调节板下端两侧固定设有弧形滑动板，且调节板通过旋转转轴转动设置于底座上端表面，弧形滑动板滑动连接于弧形导轨表面；
[0013]硅棒载台，所述硅棒载台固定设置于调节板上端表面，硅棒载台一端设有刻度线；
[0014]作为本技术优选的方案，所述转向机构还包括：
[0015]弧形滑动板，所述弧形滑动板的圆心与弧形滑动板相同，弧形滑动板侧表面固定设有啮齿；
[0016]第二转轴，所述第二转轴转动设置于底座内侧，且第二转轴一端固定设有齿轮，齿
轮与啮齿啮合连接，第二转轴表面固定设有大锥齿轮，大锥齿轮直径大于齿轮，转动套筒内的六棱形弧形滑动板，并非圆形，所以通过六棱形弧形滑动板带动第一转轴旋转，第一转轴表面的小锥齿轮带动大锥齿轮通过第二转轴缓缓旋转，同时第二转轴一端的齿轮对弧形滑动板侧表面的啮齿作用，带动弧形滑动板在弧形导轨表面缓缓滑动，从而使调节板通过旋转转轴旋转，调节角度。
[0017]作为本技术优选的方案，所述驱动机构包括：
[0018]第一转轴，所述第一转轴转动设置于底座内侧，第一转轴表面固定设有小锥齿轮，且小锥齿轮与大锥齿轮啮合，小锥齿轮直径小于大锥齿轮；
[0019]套筒，所述套筒滑动设置于第一转轴表面，且套筒内部呈六棱形设置，六棱形弧形滑动板滑动设置于套筒内部，且六棱形弧形滑动板固定设置于第一转轴一端；
[0020]弹簧，所述弹簧套在第一转轴表面，且弹簧一端与套筒内部一端贴合，弹簧另一端与六棱形弧形滑动板表面贴合，握住转轮拉动套筒，将限位棘轮拉出限位槽，此时转动套筒内部挤压弹簧，呈蓄能状态，调整好后，松开转轮，在弹簧作用下限位棘轮卡入限位槽进行限位。
[0021]作为本技术优选的方案，所述驱动机构还包括：
[0022]限位棘轮，所述限位棘轮固定设置于套筒表面，底座一端表面设有限位槽，且限位槽与限位棘轮相适配；
[0023]转轮，所述转轮固定设置于套筒一端。
[0024]作为本技术优选的方案，所述硅棒载台上端表面呈弧形设置。
[0025]作为本技术优选的方案，所述于底座上端表面固定设有指针，且指针与硅棒载台一端刻度线对应设置，硅棒载台表面的硅棒转动调整角度，指针对应指示硅棒载台一端的刻度线，方便观察。
[0026]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0027]本技术中，通过握住转轮拉动套筒，将限位棘轮拉出限位槽，此时转动套筒内部挤压弹簧，呈蓄能状态，由于转动套筒内的六棱形弧形滑动板，并非圆形，所以通过六棱形弧形滑动板带动第一转轴旋转，第一转轴表面的小锥齿轮带动大锥齿轮通过第二转轴缓缓旋转，同时第二转轴一端的齿轮对弧形滑动板侧表面的啮齿作用，带动弧形滑动板在弧形导轨表面缓缓滑动，从而使调节板通过旋转转轴旋转，调节角度，间接带动硅棒载台表面的硅棒转动调整角度，指针对应指示硅棒载台一端的刻度线，方便观察，调整好后，松开转轮，在弹簧作用下限位棘轮卡入限位槽进行限位，方便进行调节位置，以及方便进行限位固定。
附图说明
[0028]图1为本技术的整体立体结构示意图；
[0029]图2为本技术的套筒拉伸状态结构示意图；
[0030]图3为本技术的套筒收缩状态结构示意图；
[0031]图4为本技术的局部放大结构示意图；
[0032]图5为本技术的弧形导轨结构示意图。
[0033]图中：1、底座；2、弧形导轨；3、调节板；4、硅棒载台；5、转向机构；6、旋转转轴；7、弧
形滑动板；8、指针；9、驱动机构；10、啮齿；11、小锥齿轮；12、第一转轴；13、六棱形弧形滑动板；14、限位棘轮；15、套筒；16、转轮；17、限位槽；18、弹簧；19、大锥齿轮；20、第二转轴；21、齿轮。
具体实施方式
[0034]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0035]在本申请的描述中，需要说明的是，这里所使用的术语仅是为了描述具体实施方式，而非意图限制根据本申请的示例性实施方式。为了便于描述，附图中所示出的各个部分的尺寸并不是按照实际的比例关系绘制的。对于相关领域普通技术人员已知的技术、方法和设备可能不作详细讨论，但在适当情况下，所述技术、方法和设备应当被视为授权说明书的一部分。在这里示出和讨论的所有示例中，任何具体值应被解释为仅仅是示例性的，而不是作为限制。因此，示例性实施例的其它示例可以具有不同的值。应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步讨论。
[0036]需要说明的是，本申请的说明书和权利要求书中的术语本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅棒晶向调节机构，其特征在于，包括：底座(1)，所述底座(1)上端两侧固定设有弧形导轨(2)，且两侧的弧形导轨(2)圆心与旋转转轴(6)相同；转向机构(5)，所述转向机构(5)与底座(1)连为一体；驱动机构(9)，所述驱动机构(9)与底座(1)连为一体。2.根据权利要求1所述的一种硅棒晶向调节机构，其特征在于：所述转向机构(5)包括：调节板(3)，所述调节板(3)下端两侧固定设有弧形滑动板(7)，且调节板(3)通过旋转转轴(6)转动设置于底座(1)上端表面，弧形滑动板(7)滑动连接于弧形导轨(2)表面；硅棒载台(4)，所述硅棒载台(4)固定设置于调节板(3)上端表面，硅棒载台(4)一端设有刻度线。3.根据权利要求1所述的一种硅棒晶向调节机构，其特征在于：所述转向机构(5)还包括：弧形滑动板(7)，所述弧形滑动板(7)的圆心与弧形滑动板(7)相同，弧形滑动板(7)侧表面固定设有啮齿(10)；第二转轴(20)，所述第二转轴(20)转动设置于底座(1)内侧，且第二转轴(20)一端固定设有齿轮(21)，齿轮(21)与啮齿(10)啮合连接，第二转轴(20)表面固定设有大锥齿轮(19)，大锥齿轮(19)直径大于齿轮(21)。4.根据权利要求1所述的一种硅棒晶向调节机构，其特征在于：所述驱动机构(...

【专利技术属性】
技术研发人员：蒋志彬，张宇平，徐海琦，
申请(专利权)人：衢州晶哲电子材料有限公司，
类型：新型
国别省市：