一种兆声波清洗机的槽体结构制造技术

技术编号:37133159 阅读:15 留言:0更新日期:2023-04-06 21:31
本实用新型专利技术属于清洗设备技术领域,尤其涉及一种兆声波清洗机的槽体结构,包括清洗机本体,所述清洗机本体的内部分别开设有风干腔和清洗槽,还包括:风干机构,所述风干机构设置在清洗机本体外部靠近风干腔的一侧;限定放置机构,所述限定放置机构设置在清洗槽的内部,所述限定放置机构的四周均设置有提伸机构;其中,所述风干腔的内部开设有封闭槽,所述封闭槽的内部设置有开关机构,所述清洗槽内部的底部固定安装有兆声发生器。相对于现有技术,本实用新型专利技术达到了提高清洗效率以及便于快速风干的效果。干的效果。干的效果。

【技术实现步骤摘要】
一种兆声波清洗机的槽体结构


[0001]本技术属于清洗设备
,尤其涉及一种兆声波清洗机的槽体结构。

技术介绍

[0002]兆声波清洗机是以高频(850kHz)振效应并结合化学清洗剂的化学反应对硅片进行清洗为原理的清洗设备,兆声波清洗不仅保存了超声波清洗的优点,而且克服了它的不足,在清洗时,由换能器发出波长为1μm频率为0.8兆赫的高能声波,溶液分子在这种声波的推动下作加速运动,最大瞬时速度可达到30cm/s,因此,形成不了超声波清洗那样的气泡,而只能以高速的流体波连续冲击晶片表面,使硅片表面附着的污染物的细小微粒被强制除去并进入到清洗液中。
[0003]申请号为CN201921882990.0的中国专利公开了一种兆声波清洗机的槽体结构,包括外PP槽壁、兆声挡水板、外槽安装座、内槽壁、石英缸斜底、石英缸槽、花篮、兆声发生器和兆声保护盒,所述外PP槽壁包含四个侧壁和一个底壁形成长方体外槽,所述长方体外槽相对的两个内槽壁上固定安装有支撑板一和支撑板二,所述支撑板一和所述支撑板二处于同一水平高度,所述支撑板一和所述支撑板二上支撑安装有所述内槽壁,所述内槽壁由四个侧面围成并形成起内部的所述石英缸槽,所述石英缸槽的底部固定安装有所述石英缸斜底。有益效果在于:该装置所述的兆声波清洗机的槽体结构适用于小物件的清洗,清洗频率更高,并且能量使用率高,浪费低。但是该装置缺乏限定组件,当需要对多个硅片同时进行清洗时,会使得硅片堆积,从而导致堆积的部分难以彻底洗净,此外该装置清洗结束后无法将硅片上的水渍及时风干,需要人工擦拭,十分不便。由此有必要做出改进。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是针对上述存在的技术问题,提供一种兆声波清洗机的槽体结构,达到了提高清洗效率以及便于快速风干的效果。
[0005]有鉴于此,本技术提供一种兆声波清洗机的槽体结构,包括清洗机本体,所述清洗机本体的内部分别开设有风干腔和清洗槽,还包括:
[0006]风干机构,所述风干机构设置在清洗机本体外部靠近风干腔的一侧;
[0007]限定放置机构,所述限定放置机构设置在清洗槽的内部,所述限定放置机构的四周均设置有提伸机构;
[0008]其中,所述风干腔的内部开设有封闭槽,所述封闭槽的内部设置有开关机构,所述清洗槽内部的底部固定安装有兆声发生器。
[0009]在上述技术方案中,进一步的,所述限定放置机构包括:
[0010]清洗框,所述清洗框内部的底部固定安装有电机一,所述电机一的表面安装有防水壳,所述电机一的输出端固定安装有分隔板。
[0011]在本技术方案中,通过在放置框的内部设置有分隔板,可以对硅片进行分开放置,避免硅片全部放入清洗框内部出现堆叠的情况,提高了装置清洗的效率,此外通过电机带
动分隔板转动,可以间接带动分隔板之间的硅片转动,方便对不同位置的硅片进行快速风干。
[0012]在上述技术方案中,进一步的,所述风干机构包括:
[0013]壳体和加热棒,所述壳体固定安装在清洗机本体外侧的表面,所述壳体的内部与风干腔的内部相连通,所述壳体的内部固定安装有风机,所述加热棒设置有若干个,每个所述加热棒均固定安装在风干腔的内部
[0014]其中,所述风干腔与清洗槽的内部相连通。
[0015]在本技术方案中,通过控制面板打开加热棒与风机,此时加热棒会升温,而风机吹出的风经过加热棒的加热后会变成热风,热风通过风干腔会达到清洗槽内部,从而对清洗框内部的硅片进行快速的风干,避免硅片清洗结束后表面存留大量水渍的情况出现。
[0016]在上述技术方案中,进一步的,所述提伸机构包括:
[0017]安装板和电机二,所述安装板共设置有八个,八个所述安装板两两对称固定安装在清洗槽内部的四周,每两个所述安装板的之间均转动安装有螺杆,每个所述螺杆的表面均螺纹套接有螺纹套,所述电机二共设置有四个,四个所述电机二分别固定安装在四个上端所述安装板的上表面,且四个所述电机二的输出端分别与四个螺杆的顶端固定连接;
[0018]其中,四个所述螺纹套分别与清洗框四侧的表面固定连接。
[0019]在本技术方案中,通过电机二带动螺杆转动,可以使得与螺杆螺纹连接的螺纹套上下移动。螺纹套移动与之固定连接的清洗框就会上下移动,便于将清洗框沉入水体中,也可以将清洗框提升起来离开水体方便后期的风干。
[0020]在上述技术方案中,进一步的:
[0021]所述清洗机本体外部的一侧贯穿固定安装有排水管,所述排水管的表面固定安装有开关阀,所述清洗槽内部的底部一侧开设有安装孔,所述安装孔的内部活动卡接有过滤板,所述过滤板的一端插入排水管的内部。
[0022]在本技术方案中,通过排水管可以定期对清洗槽内部的水体进行更换,而排水管的一侧安装有过滤板,可以对清洗下的较大杂质进行滤下,避免在排水的过程中杂质堵塞排水管的情况发生。
[0023]在上述技术方案中,进一步的,所述开关机构包括:
[0024]电动推杆,所述电动推杆共设置有两个,两个所述电动推杆均固定安装在内部的底部,两个所述电动推杆的顶端固定连接有封闭板,所述封闭板滑动插接在的内部。
[0025]在本技术方案中,通过电动推杆可以带动封闭板上下移动,封闭板上移可以将风干腔进行遮蔽,避免在清洗时液体会溅入风干腔的内部造成污染或者影响加热棒的正常使用,而当封闭板下移则可以将风干腔打开,方便对清洗过后的硅片进行快速风干,提高装置的实用性。
[0026]在上述技术方案中,进一步的:
[0027]所述清洗机本体的上表面固定安装有转接块,所述转接块共设置有两个,两个所述转接块的之间通过转轴转动安装有盖板,所述盖板远离清洗槽一侧的表面固定安装有把手。
[0028]在本技术方案中,通过盖板可以对清洗槽的上端进行遮蔽,避免在不使用时灰尘杂质会进入清洗槽内部对水体造成污染。
[0029]在上述技术方案中,进一步的:
[0030]所述清洗机本体的上表面固定安装有控制面板,所述控制面板位于风干腔的正上方,所述控制面板通过无线连接的方式分别与风机、加热棒、电机一、电机二、电动推杆以及开关阀和兆声发生器电性连接。
[0031]在本技术方案中,通过控制面板可以同时操控多个电器元件,提高工作人员的工作效率,也减少工作人员的操作负担。
[0032]本技术的有益效果是:
[0033]1.通过在放置框的内部设置有分隔板,可以对硅片进行分开放置,避免硅片全部放入清洗框内部出现堆叠的情况,提高了装置清洗的效率,此外通过电机带动分隔板转动,可以间接带动分隔板之间的硅片转动,方便对不同位置的硅片进行快速风干;
[0034]2.通过控制面板打开加热棒与风机,此时加热棒会升温,而风机吹出的风经过加热棒的加热后会变成热风,热风通过风干腔会达到清洗槽内部,从而对清洗框内部的硅片进行快速的风干,避免硅片清洗结束后表面存留大量水渍的情况出现;
[0035]3.通过电机本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种兆声波清洗机的槽体结构,包括清洗机本体(1),所述清洗机本体(1)的内部分别开设有风干腔(12)和清洗槽(17),其特征在于,还包括:风干机构(4),所述风干机构(4)设置在清洗机本体(1)外部靠近风干腔(12)的一侧;限定放置机构(7),所述限定放置机构(7)设置在清洗槽(17)的内部,所述限定放置机构(7)的四周均设置有提伸机构(8);其中,所述风干腔(12)的内部开设有封闭槽(13),所述封闭槽(13)的内部设置有开关机构(9),所述清洗槽(17)内部的底部固定安装有兆声发生器(16)。2.根据权利要求1所述的一种兆声波清洗机的槽体结构,其特征在于,所述限定放置机构(7)包括:清洗框(701),所述清洗框(701)内部的底部固定安装有电机一(702),所述电机一(702)的表面安装有防水壳,所述电机一(702)的输出端固定安装有分隔板(703)。3.根据权利要求1所述的一种兆声波清洗机的槽体结构,其特征在于,所述风干机构(4)包括:壳体(401)和加热棒(403),所述壳体(401)固定安装在清洗机本体(1)外侧的表面,所述壳体(401)的内部与风干腔(12)的内部相连通,所述壳体(401)的内部固定安装有风机(402),所述加热棒(403)设置有若干个,每个所述加热棒(403)均固定安装在风干腔(12)的内部;其中,所述风干腔(12)与清洗槽(17)的内部相连通。4.根据权利要求1所述的一种兆声波清洗机的槽体结构,其特征在于,所述提伸机构(8)包括:安装板(801)和电机二(802),所述安装板(801)共设置有八个,八个所述安装板(801)两两对称固定安装在清洗槽(17)内部的四周,每两个所述安装板(801)的之间均转动安装有螺杆(803),每个所述螺杆(803)的表面均螺纹套接有螺纹套(804)...

【专利技术属性】
技术研发人员:章斌毛荣昌金豹
申请(专利权)人:衢州晶哲电子材料有限公司
类型:新型
国别省市:

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