超高真空同轴转动、平移差分馈入装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术属于真空技术领域，涉及一种对超高真空馈入装置的改进。解决已有技术真空漏气环节多、系统复杂、体积大、造价昂贵的问题。它由真空室１、真空管壁２、内、外密球轴承３和４，内、外轴５和６、内、外固定环７和８、内、外密封圈９和１０、内、外档环１１和１２、低高真空抽气口１３和１４组成。主要应用于同步辐射及超高真空装置的馈入系统，能保证馈入系统刚性传动，传递误差小并简化系统结构和减少漏气环节。（*该技术在2008年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于真空
，涉及一种对超高真空馈入装置的改进。已有技术Rev.Sci.Instrum.，Vol.66，No.2，February 1995，2248-2250 D.Fuchs，M.Krumrey，P.Miiller，F.Scholze，and G.Ulm，“High precisionsoft x-ray reflectometer”如图1所示内轴5置于直线转动球支承4内孔中，在外轴6内壁及其两端置于直线转动球支承4的外园上，在外轴6的外壁置于直线转动球支承3内孔中，在直线转动球支承3外部安置真空管壁2，真空管壁2的一端与金属波纹管11的一端固定联接，真空管壁2的另一端与真空室1固定联接，金属波纹管11的另一端与差分抽气旋转密封7固定联接，差分抽气旋转密封7的另一端与外轴6的输入端及另一差分抽气旋转密封8的一端固定联接，外轴6的输出端置于真空室1中，差分抽气旋转密封8的另一端与另一金属波纹管10的一端固定联接，金属波纹管10的另一端与第三个差分抽气旋转密封9的一端固定联接，差分抽气旋转密封9的另一端与内轴5的输入端固定联接，内轴5的输出端置于真空1中。其工作过程如下当内轴5的输入端受外力在外轴6中产生转动时，由直线转动球支承4支承将转动传动真空室1中内轴5的输出端，此时系统的动密封由差分抽气旋转密封9和8保证，其余密封均为静密封状态，外轴6保持不动，当内轴5的输入端受外力产生平移时，通过直线转动球支承4支承将平移传到真空室1中内轴5的输出端，此时差分抽气旋转密封8和9之间产生的位移量，通过金属波纹管10的压缩或拉伸变形来补偿，所有密封均处于静密封状态，外轴6保持不动，当外轴6的输入端受外力在真空管壁2内产生转动时，由直线转动球支承3支承将转动传到真空室1中外轴6的输出端，此时系统的动密封由差分抽气旋转密封7和8保证，其余密封均为静密封状态，内轴5保持不动。当外轴6的输入端受外力产生平移时，通过直线转动球支承3支承，将平移传到真空室1中外轴6的输出端，此时真空管壁2和差分抽气旋转密封7之间产生的位移量，通过金属波纹管10和11的压缩或拉伸变形来补偿，所有密封均处于静密封状态，内轴5保持不动。存在的问题由于采用三套差分抽气旋转密封和两套金属波纹管，使得易产生真空漏气的环节较多，且差分抽气系统在内、外轴平移时也产生移动，由于系统复杂，体积大，重量重，给使用带来不便，且造价昂贵。本专利技术的目的是克服已有技术，采用多套差分抽气旋转密封和金属波纹管带来真空漏气环节多，内、外轴平移时产生移动始使用带来不便的问题，提供一种超高真空同轴转动、平移差分馈入装置。本专利技术的详细内容它包括有真空室1、真空管壁2、外密珠轴承3、内密珠轴承4、内轴5、外轴6、内固定环7、外固定环8、内密封圈9、外密封圈10、内档环11、外档环12、低真空抽气口13、高真空抽气口14。内轴5的外园置于内密珠轴承4的内孔中，在外轴6的内壁及其两端置于内密珠轴承4的外园上，外轴6的外壁置于外密珠轴承3的内孔中，在外密珠轴承3的外部安置真空管壁2，真空管壁2的一端与真空室1的一端固定联接，内固定环7固定在内轴5上，内密封圈9安置于外轴6的外园上和两个内固定环7之间，内密封圈9的径向与内轴5的外园及外轴6的内壁相接触，内档环11固定在外轴6上，外固定环8固定在外轴6上，外密封圈10安置于外轴6的外园线上和两个外固定环8之间，外密封圈10的径向与外轴6的外园及真空管壁2的内壁相接触，外档环12固定在外轴6上，低真空抽气口13、高真空抽气口14均固定在真空管壁2上。本专利技术中的外密珠轴承3和内密珠轴承4由钢球15和保持架16组成，保持架16将每个钢球15分开，按一定次序排列，钢球15直接与内轴5和外轴6及外轴6和真空管壁2接触，且为内轴5和外轴6提供支承和导向，从而它们将轴系与导轨合为一体，实现内轴5、外轴6分别转动和平移。本专利技术的动态过程当内轴5的输入端受外力产生转动或平移时，由内密珠轴承4支承和导向将转动或平移传到真空室1中内轴5的输出端，三个内密封圈9与内轴5、外轴6紧密接触，沿轴向将内轴5与外轴6之间的空间密封为两个相互分离的空间，通过外轴6上的各自通孔与真空管壁2上的低真空抽气口13、高真空抽气口14相通，从而实现差分动密封，其余密封此时均为静密封，当外轴6的输入端受外力产生转动或平移时，由外密珠轴承3支承和导向，将转动或平移传到真空室1中外轴6的输出端，三个内密封圈9与内轴5、外轴6紧密接触，沿轴向将内轴5与外轴6之间的空间密封为两个相互分离的空间，通过外轴6上的各自通孔与真空管壁2上的低真空抽气口13、高真空抽气口14相通，三个外密封圈10与外轴6、真空管壁2紧密接触，沿轴向将外轴6与真空管壁2之间的空间密封为两个相互分离的空间，通过真空管壁2上的低真空抽气口13、高真空抽气口14，实现差分动密封。此时，内、外密封圈9、10均为动密封。本专利技术的积极效果本专利技术在内、外轴上分别用三道密封圈将内、外轴沿轴向分别分成两个高真空区和低真空区，在真空管壁1仅分布有一套差分抽气系统，减少产生漏气的环节。本专利技术用高、低真空抽气口直接与真空管壁固定联接，则克服已有技术内、外轴平移时产生移动的问题，始使用带来方便。采用钢球密珠结构轴承，实现转动、平移支承为一体的设计节省使用空间。本专利技术应用于同步辐射装置及超高真空装置的馈入系统，本专利技术能保证馈入系统的刚性传动，可同时将同轴转动、平移运动传递到超高真空系统中，并可将传递过程中产生的误差降至最小并可简化系统的结构，使系统体积减小，重量减轻，降低了成本。 附图说明图1是已有技术结构示意图；图2是本专利技术结构主视图；图3是本专利技术内、外密珠轴承3、4的钢球分布示意图。本专利技术的实施例根据图2和图3所示，它包括有真空室1、真空管壁2、外密珠轴承3、内密珠轴承4、内轴5、外轴6、内固定环7、外固定环8、内密封圈9、外密封圈10、内档环11、外档环12、低真空抽气口13、高真空抽气口14。内轴5的外园置于内密珠轴承4的内孔中，在外轴6的内壁及其两端置于内密珠轴承4的外园上，外轴6的外壁置于外密珠轴承3的内孔中，在外密珠轴承3的外部安置真空管壁2，真空管壁2的一端与真空室1的一端固定联接，内固定环7固定在内轴5上，内密封圈9安置于外轴6的外园上和两个内固定环7之间，内密封圈9的径向与内轴5的外园及外轴6的内壁相接触，内档环11固定在外轴6上，外固定环8固定在外轴6上，外密封圈10安置于外轴6的外园线上和两个外固定环8之间，外密封圈10的径向与外轴6的外园及真空管壁2的内壁相接触，外档环12固定在外轴6上，低真空抽气口13、高真空抽气口14均固定在真空管壁2上。本专利技术中的外密珠轴承3和内密珠轴承4由钢球15和保持架16组成，保持架16将每个钢球15分开，按一定次序排列，钢球15直接与内轴5和外轴6及外轴6和真空管壁2接触，且为内轴5和外轴6提供支承和导向，从而它们将轴系与导轨合为一体，实现内轴5、外轴6分别转动和平移。本专利技术当内轴5的输入端受外力产生转动或平移时，由内密珠轴承4支承和导向将转动或平移传到真空室1中内轴5的输出端，三个内密封圈9与内轴5、外轴6紧密接触，沿轴向将内轴5与外轴6之间的空间密封为两个本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种超高真空同轴转动、平移差分馈入装置，它包括真空室１、真空管壁２、内轴５、外轴６，其特征在于：内轴５的外园置于内密珠轴承４的内孔中，在外轴６的内壁及其两端置于内密珠轴承４的外园上，外轴６的外壁置于外密轴承３的内孔中，在外密轴承３的外部安置真空管壁２，内固定环７固定在内轴５上，内密封圈９安置于外轴６的外园上和两个内固定环７之间，内密封圈９的径向与内轴５的外园及外轴６的内壁相接触，内档环１１固定在外轴６上，外固定环８固定在外轴６上，外密封圈１０安置于外轴６的外园线上和两个外固定环８之间，外密封圈１０的径向与外轴６的外园及真空管壁２的内壁相接触，外档环１２固定在外轴６上，低真空抽气口１３、高真空抽气口１４均固定在真空管壁２上，外密珠轴承３和内密珠轴承４由钢球１５和保持架１６组成，保持架１６将每个钢球１５分开，按一定次序排列，钢球１５直接与内轴５和外轴６及外轴６和真空管壁２接触，且为内轴５和外轴６提供支承和导向。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：薛松，
申请(专利权)人：中国科学院长春光学精密机械研究所，
类型：实用新型
国别省市：22[中国|吉林]