一种掩模版凸版检测装置、传输系统及光刻设备制造方法及图纸

本发明专利技术公开一种掩模版凸版检测装置、传输系统及光刻设备，其中，掩模版凸版检测装置包括：测距传感器，位于版库的一侧；调节组件，用于调节所述测距传感器对所述版库的各版槽进行扫描，且使所述测距传感器发射的测距信号经各所述版槽中的掩模版反射后，能够原路反射回所述测距传感器；检测机构，与所述测距传感器及所述调节组件连接，用于控制所述测距传感器和所述调节组件工作，并根据所述测距传感器在扫描各所述版槽时的扫描位姿以及所述测距传感器测得的距离信息，确定各所述版槽是否存在凸版，无需进一步人为检查，提高了凸版检测效率。

【技术实现步骤摘要】
一种掩模版凸版检测装置、传输系统及光刻设备
本专利技术涉及半导体制造领域，尤其涉及一种掩模版凸版检测装置、传输系统及光刻设备。
技术介绍
掩模版传输装置用于将外部世界的掩模版以一定的精度传输到光刻设备的内部世界，从而在曝光装置完成对掩模版上图形的曝光。光刻设备的内部世界中，掩模版通常存储在内部版库中，内部版库设有掩模架，掩模架设有多个用于容纳掩模版的版槽。图1是掩模版在内部版库内的分布示意图，如图1所示，掩模版经掩模取放口11放置到内部版库对应的位置。图1中，掩模版1和3为正常放置的掩模版，完全位于内部版库内，掩模版2、4、5和6为放置不到位的掩模版，掩模版一侧凸出于掩模取放口11，即通常所说的凸版现象。掩模版凸版会导致后续掩模版放置到掩模台上时，位置发生偏差，降低曝光精度，因此需要检测内部版库中的掩模版是否存在凸版现象。现有的凸版检测方案有以下两种：方案一：采用对射式传感器，在内部版库上方或下方设有一个凸版检测传感器，用来检测所有槽是否存在凸版，任何一掩模版存在凸版都会遮挡光路，导致传感器触发，该方案只能检测内部版库是否存在凸版，无法确定凸版存在哪个版槽，仍然需要人工进行检查。方案二：每个版槽各对应一个凸版检测传感器，用来检测该版槽是否存在凸版。该方案需要多个凸版检测传感器，硬件较为复杂，成本也更高。
技术实现思路
本专利技术实施例提供了一种掩模版凸版检测装置、传输系统及光刻设备，结构简单，能够确定版库中具体哪一个版槽存在凸版，无需进一步人为检查，提高了凸版检测效率且降低了凸版检测的成本。第一方面，本专利技术实施例提供了一种掩模版凸版检测装置，包括：测距传感器，位于版库的一侧；调节组件，用于调节所述测距传感器对所述版库的各版槽进行扫描，且使所述测距传感器发射的测距信号经各所述版槽中的掩模版反射后，能够原路反射回所述测距传感器；检测机构，与所述测距传感器及所述调节组件连接，用于控制所述测距传感器和所述调节组件工作，并根据所述测距传感器在扫描各所述版槽时的扫描位姿以及所述测距传感器测得的距离信息，确定各所述版槽是否存在凸版。可选的，所述调节组件包括编码器、旋转电机和反射镜组，所述编码器以及所述旋转电机分别与所述检测机构连接，所述测距传感器位于所述版库和所述反射镜组之间，所述反射镜组包括与各所述版槽一一对应设置的反射镜，所述旋转电机用于控制所述测距传感器旋转，以调节所述测距传感器的扫描角度，使测距信号经所述反射镜反射至对应的所述版槽中，所述编码器用于测量所述测距传感器的旋转角度并反馈至所述检测机构，以使所述检测机构通过所述旋转电机调节所述测距传感器的扫描角度。可选的，所述调节机构还包括镜组固定机构，所述反射镜组固定于所述镜组固定机构上，且至少两个所述反射镜竖直排列。可选的，所述测距传感器位于所述版库的掩模取放口的正前方，所述反射镜的反射面朝向所述掩模取放口的所在平面向下倾斜设置。可选的，所述扫描位姿包括所述测距传感器的位置和扫描角度，所述检测机构被配置为：若判定则确定与扫描角度对应的所述版槽存在凸版；其中，D1为所述测距传感器测得的测距信号的往返距离，L2为与所述扫描角度对应的反射镜上的反射点到所述掩模取放口所在平面的距离，θ1为所述测距传感器的扫描角度，L1为所述测距传感器到所述反射点的水平距离。可选的，所述测距传感器位于所述版库的掩模取放口的侧前方，所述反射镜的反射面朝向所述版库侧壁的所在平面向下倾斜设置，其中，所述版库侧壁为所述版库与所述掩模取放口相连的一侧面，所述测距传感器到所述掩模取放口所在平面的距离小于或等于预设距离。可选的，所述预设距离小于或等于5mm。可选的，所述扫描位姿包括所述测距传感器的位置和扫描角度，所述检测机构被配置为：若判定则确定与扫描角度对应的所述版槽存在凸版；其中，D2为所述测距传感器测得的测距信号的往返距离，L4为与所述扫描角度对应的反射镜上的反射点到掩模版靠近所述测距传感器的一面的距离，θ2为所述测距传感器的扫描角度，L3为所述测距传感器到所述反射点的水平距离。可选的，所述编码器为码盘。可选的，所述测距传感器为激光测距传感器或红外线测距传感器。第二方面，本专利技术实施例提供了一种掩模传输系统，包括至少一个版库和如本专利技术第一方面任意所述的掩模版凸版检测装置。可选的，所述版库和所述掩模版凸版检测装置中的测距传感器一一对应设置。第三方面，本专利技术实施例还提供了一种光刻设备，包括如本专利技术第二方面任意所述的掩模传输系统。本专利技术实施例提供的凸版检测装置，调节组件用于驱动测距传感器运动，以对版库的各版槽进行扫描，且使测距传感器发射的测距信号经各版槽中的掩模版反射后，能够原路反射回测距传感器。检测机构用于控制测距传感器和调节组件工作，并根据测距传感器在扫描各版槽时的扫描位姿以及测距传感器测得的距离信息，确定各版槽是否存在凸版。本专利技术实施例提供的凸版检测装置结构简单，能够确定版库中具体哪一个版槽存在凸版，无需进一步人为检查，提高了凸版检测效率且降低了凸版检测的成本。附图说明下面根据附图和实施例对本专利技术作进一步详细说明；图1是掩模版在内部版库内的分布示意图；图2为本专利技术实施例提供的凸版检测装置的结构示意图；图3为本专利技术实施例中一种凸版检测装置的检测原理图；图4为本专利技术实施例中另一种凸版检测装置的检测原理图；图5为本专利技术实施例中又一种凸版检测装置的检测原理图；图6为本专利技术实施例提供的一种掩模传输系统的结构示意图。具体实施方式为使本专利技术解决的技术问题、采用的技术方案和达到的技术效果更加清楚，下面将结合附图对本专利技术实施例的技术方案作进一步的详细描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。在本专利技术的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本专利技术中的具体含义。在本专利技术中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。本专利技术实施例提供了一种掩模版凸版检测装置，图2为本专利技术实施例提供的凸版检本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种掩模版凸版检测装置，其特征在于，包括：/n测距传感器，位于版库的一侧；/n调节组件，用于调节所述测距传感器对所述版库的各版槽进行扫描，且使所述测距传感器发射的测距信号经各所述版槽中的掩模版反射后，能够原路反射回所述测距传感器；/n检测机构，与所述测距传感器及所述调节组件连接，用于控制所述测距传感器和所述调节组件工作，并根据所述测距传感器在扫描各所述版槽时的扫描位姿以及所述测距传感器测得的距离信息，确定各所述版槽是否存在凸版。/n

【技术特征摘要】
1.一种掩模版凸版检测装置，其特征在于，包括：
测距传感器，位于版库的一侧；
调节组件，用于调节所述测距传感器对所述版库的各版槽进行扫描，且使所述测距传感器发射的测距信号经各所述版槽中的掩模版反射后，能够原路反射回所述测距传感器；
检测机构，与所述测距传感器及所述调节组件连接，用于控制所述测距传感器和所述调节组件工作，并根据所述测距传感器在扫描各所述版槽时的扫描位姿以及所述测距传感器测得的距离信息，确定各所述版槽是否存在凸版。


2.根据权利要求1所述的掩模版凸版检测装置，其特征在于，所述调节组件包括编码器、旋转电机和反射镜组，所述编码器以及所述旋转电机分别与所述检测机构连接，所述测距传感器位于所述版库和所述反射镜组之间，所述反射镜组包括与各所述版槽一一对应设置的反射镜，所述旋转电机用于控制所述测距传感器旋转，以调节所述测距传感器的扫描角度，使测距信号经所述反射镜反射至对应的所述版槽中，所述编码器用于测量所述测距传感器的旋转角度并反馈至所述检测机构，以使所述检测机构通过所述旋转电机调节所述测距传感器的扫描角度。


3.根据权利要求2所述的掩模版凸版检测装置，其特征在于，所述调节机构还包括镜组固定机构，所述反射镜组固定于所述镜组固定机构上，且至少两个所述反射镜竖直排列。


4.根据权利要求3所述的掩模版凸版检测装置，其特征在于，所述测距传感器位于所述版库的掩模取放口的正前方，所述反射镜的反射面朝向所述掩模取放口的所在平面向下倾斜设置。


5.根据权利要求4所述的掩模版凸版检测装置，其特征在于，所述扫描位姿包括所述测距传感器的位置和扫描角度，所述检测机构被配置为：
若判定则确定与扫描角度对应的所述版槽存在凸版；其中，D1为所述测距传感器测得的测距信号的往返...

【专利技术属性】
技术研发人员：向军，朱正平，郑教增，姜杰，庞飞，郝凤龙，
申请(专利权)人：上海微电子装备集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31