显微光度计的聚焦方法技术

技术编号:2551516 阅读:211 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术涉及一种显微光度计的聚焦方法,首先逐点连续测定光轴上数个点的反射光强度,并确定反射光强度最大值点,根据被测面偏离焦点程度与反射光强度的近似正态分布曲线关系确定光轴上与光强最大值点相差一定值的两个点,该两点间的中间点就是聚集点。使用该方法聚焦时不必移动物镜,尤其适用于显微光度计进行对规定视域平均光强的测定,可实现连续快速测定,降低劳动强度,缩短测定时间,增加测点数,提高测定结果的准确度。(*该技术在2016年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种光学仪器特别是。显微学度计主要是用于直接测定光强度和比较测定光强度间接测定反射率,一般是采用手动聚焦,只能适应手动单点测定,在与扫描台配合进行自动扫描测定时,强制进行手动聚焦,因两者不协调,从而不能使每点都是清晰的。同时,使操作者劳动强度很大,精力要高度集中,速度也必然受限制,在快速测定(每分钟300点)时,手动聚焦根本无法实现。由于显微光度的测定都是采用针孔小视域,焦距允许偏差的范围极小,因此不聚焦进行大面积自动扫描测定时测定的误差远超过允许的误差,所以,使用显微光度进行大面积自动扫描时,必须要解决自动聚焦的问题。前苏联专利SU883840公开了一种"物镜焦点平面同给定平面重合的光电子装置",是由光源、平行光管、物镜、传动装置及其控制器、光电控测器等组成,聚焦时,光源的光线经平等管变换为平行光束,被物镜聚焦在某一平面,部分光线落在辐射接收器工作表面,接收器的输出信号经滤波器输入同步检波器的输入端之一,同步检波器的另一输入端输入有电动机的基准电压,当物镜的焦点平面与给定平面不重合时将发出信号,操作者据此信号沿光轴移动物镜,即可使焦点平面与给定平面重点。该方法是通过移动物镜进行聚焦,对于显微光度计主要是测定规定视域内的平均光强度,如果移动物镜进行聚焦,就会造测定视域大小的改变而影响测定结果。本专利技术的目的是得到一种,可在连续快速测量时不移动物镜,将被测面准确地落在聚焦面上。本专利技术的目的是这样实现的一种,1)首先逐点连续测定光轴上数个点的反射光强度,并确定反射光强度最大值点,2)根据被测面偏离焦点程度与反射光强度的关系确定光轴上与光强最大值点相差一定值的两点,则该两点间的中间点就是聚焦点。被测面偏离焦点程度与反射光强度的关系呈近似正态分布曲线。光轴上的各测点间的距离为相等的。光轴上各测点间距离为0.5~2μm。与光轴上光强最大值点相差的差值为2~5%。下面结合附图详述本专利技术的实施例。附图为被测面偏离焦距程度与反射光强度的关系曲线。a测区直径为8μm,b测区直径为5μm。本专利技术的关键在于,通过研究找出了显微光度计针孔测定条件下被测面焦距偏离程度与反射光强度的近似正态分布曲线(见附图),并以此为理论依据进行聚焦。聚焦时,当被测面在X、Y坐标的位置确定后,在当前Z坐标基础上沿Z轴(即光轴)每隔1μm测定一点的反射光强度,共测定若干点,找出沿光轴上反射光强度最大的点,设该点光强为100%,然后根据反射光强度与焦距偏离程度的关系计算出比光强最大值相差2%的沿Z轴方向的正负两个点,最后取这两点的中间位置就是聚焦点,该方法可与扫描台、计算机配合使用,实现显微光度计的连续快速测定,本实施例为使用MPM400显微光度计,在测定20×20mm的块样时焦距始终是清晰的,速度为每小时18000点。与现有技术相比,本专利技术得到的显微光度计聚焦方法,在聚焦时不必移动物镜,通过被测面上光强的变化即可得到被测面偏离焦点的程度,将被测面移动即可准确地位于聚焦面上,可实现显微光度计的连续快速测定,可降低劳动强度,缩短测定时间,增加测点数,提高测定结果的准确度。权利要求1.一种,其特征是1)首先逐点连续测定光轴上数个点的反射光强度,并确定反射光强度最大值点,2)根据被测面偏离焦点程度与反射光强度的关系确定光轴上与光强最大值相差一定值的两点,则该两点间的中间点就是聚焦点。2.根据权利要求1所述的聚焦方法,其特征是所述的被测面偏离焦点程度与反射光强度的关系呈挖近似正态分布曲线。3.根据权利要求1所述的聚焦方法,其特征是所述的光轴上的各测点间的距离为相等的。4.根据权利要求3所述的聚焦方法,其特征是所述的光轴上各测点间距离为0.5~2μm。5.根据权利要求1所述的聚焦方法,其特征是所述的与光轴上光强最大值点相差的差值为2~5%。全文摘要本专利技术涉及一种,首先逐点连续测定光轴上数个点的反射光强度,并确定反射光强度最大值点,根据被测面偏离焦点程度与反射光强度的近似正态分布曲线关系确定光轴上与光强最大值点相差一定值的两个点,该两点间的中间点就是聚集点。使用该方法聚焦时不必移动物镜,尤其适用于显微光度计进行对规定视域平均光强的测定,可实现连续快速测定,降低劳动强度,缩短测定时间,增加测点数,提高测定结果的准确度。文档编号G01J1/00GK1147630SQ9610902公开日1997年4月16日 申请日期1996年7月26日 优先权日1996年7月26日专利技术者胡德生 申请人:宝山钢铁(集团)公司本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种显微光度计的聚焦方法,其特征是: 1)首先逐点连续测定光轴上数个点的反射光强度,并确定反射光强度最大值点, 2)根据被测面偏离焦点程度与反射光强度的关系确定光轴上与光强最大值相差一定值的两点,则该两点间的中间点就是聚焦点。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

【专利技术属性】
技术研发人员:胡德生
申请(专利权)人:宝山钢铁股份有限公司
类型:发明
国别省市:31[中国|上海]

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