通过应用两个光谱计装置改善探测器利用的阶梯光栅－光谱计制造方法及图纸

一种光谱计装置（１０）具有一个光谱计（１４），用于在一个探测器（４２）上产生一种来自辐射源的辐射的第一波长范围的光谱，它包含一个阶梯光栅（３６）用于对于进入光谱计装置（１０）里的辐射在一个光分散方向（４６）上进行光谱分解；包含一个用于分散的元件（３４）用于借助于对所述辐射在一个横向分散方向（４８）上的光谱分散来进行序列分离，此横向分散方向与阶梯光栅（３６）的主分散方向形成一个角度，因此可以产生具有多数分开序列（５２）的二维光谱（５０）；包含一个成像的光学装置（２４，３８）用于使通过入射间隙（２０）进入光谱计装置（１０）的辐射在一个成像平面（４０）里成象，并且包含一个面积探测器（４２），它具有许多探测元件在成象平面（４０）里成象，并且包含一个面积探测器（４２），它在成象平面（４０）里具有许多探测元件的一种二维布置。所述装置的特征在于，设有另外一个光谱计（１２），它具有至少另外一个进行分散的元件（６４）和另外一个成像的光学装置（６０，６６），用于在同一个探测器（４２）上产生一种来自一个辐射源的辐射的与第一波长范围不同的第二波长范围的光谱（６８）。所述光谱可以按面积或者随时间在探测器上进行分离。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种光谱计装置，它具有一个光谱计，用于在一个探测器上产生一种来自辐射源的辐射的第一波长范围的光谱，它包含有(a)一个阶梯光栅，用于对进入到光谱计装置的辐射在一个主分散方向上进行光谱分解；(b)一个用于分散的元件，用于借助于对在一个横向分散方向上的辐射的光谱分解进行序列分离，此横向分散方向与阶梯光栅的主分散方向形成一个角度，因此可以产生一种具有多数分离序列的二维光谱，(c)一个成像的光学装置，用于使通过入射间隙进入到光谱计装置里的辐射在一个成像平面里成像，并且(d)有一个面积探测器，它具有许多探测元件在成像平面里的二维布置。在这样一种阶梯光栅-光谱计中，应用了具有一种阶梯形(阶梯光栅(频率)＝阶梯)横断面的光栅。通过具有一个对应闪耀角的阶梯形构造产生一种衍射图，它使衍射的强度集中在高的序列里，例如在第50至100的序列里。因此可以在紧凑的装置中达到高的光谱分辨率。这些序列可以根据射入波长的不同而相互重叠。因而使序列再次横向于分散平面地进行分散，以便分离开各种不同的所出现的序列。因此得到一种二维的光谱，它可以用面积探测器来检测。一种这样的阶梯光栅-光谱计具有内部序列分本文档来自技高网...

【技术保护点】
光谱计装置（１０），它具有一个光谱计（１４），用于在一个探测器（４２）上产生一种来自辐射源的辐射的第一波长范围的光谱，包含有：（ａ）一个阶梯光栅（３６），用于对于进入到光谱计装置（１０）中的辐射在一个主分散方向（４６）上进行光谱分散，（ｂ）一个进行分散的元件（３４），用于借助于对于所述辐射在一个横向分散方向（４８）上的光谱分解来进行序列分离，此横向分散方向与阶梯光栅（３６）的主分散方向形成一个角度，因此可产生一种具有多个分开序列（５２）的二维光谱（５０），（ｃ）一个成像的光学装置（２４，３８），用于使通过入射间隙（２０）进入到光谱计装置（１０）里的辐射在一个成像平面里（４０）里成像，并且（ｄ）...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：H贝克罗斯，S弗洛雷克，G维塞曼，M奥克鲁斯，
申请(专利权)人：应用光学电子光学及光谱学开发研究所，分析科学促进学会，
类型：发明
国别省市：DE[德国]