半导体激光单光源激振测振装置制造方法及图纸

一种半导体激光单光源激振测振装置，其结构包括：由第一驱动电源驱动的带有温度控制器的光源，沿该光源出射光前进方向依次通过光纤段连接的隔离器、耦合器、固定着正弦相位调制装置的准直器，准直器出射光方向有一谐振器，正弦相位调制装置由第二驱动电源驱动；第二光电转换器的输出端与第二前置放大器的输入端相连；封装在光源内部的第一光电转换器的输出端与第一前置放大器的输入端相连；第一前置放大器的输出端、第二前置放大器的输出端和第二驱动电源的调制信号输出端分别与数据处理器的输入端相连；该信号处理器的输出端与信号监视器相连。本实用新型专利技术系统结构简单，易于实现微谐振器的光热激励，可同时高精度的得到谐振器的谐振频率和振动位移曲线。（*该技术在2017年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及谐振传感器，特别是一种半导体激光单光源激振测振装置。
技术介绍
随着微电子机械系统(MEMS)的发展，基于微电子技术和微机械加工技术的硅微机械谐振传感器显示出良好的发展前景。它不但具有精度高、抗干扰能力强、适用于长距离信号传输的优点，而且可以利用成熟的硅集成制造工艺，得到批量的高可靠性、价格低廉的产品，有着巨大的商业价值。该传感技术利用谐振器的固有频率随被测物理量的变化而变化实现测量，已被广泛地用于压力、真空度、角速度、加速度、磁场强度、流量、温度、湿度以及气体成分等物理量的高精度测量。在硅微机械谐振传感器众多的工作方式(电、磁、光、声等方式)中，光激励、光检测的全光学工作方式得到了人们的普遍关注，取得了许多重要的成果。 目前该领域的相关研究中，大多采用双光源实验装置，这种方法虽然相对容易实现器件的激励和检测，但是由于系统比较复杂，限制了向多传感头系统的发展。为了解决这个问题，一些单光源的激振测振方法被提出。但是这些方法存在诸如易受外界干扰和测量精度较低(在先技术1，J David Zook，David W.Burns，William R.Herb et al..Opt本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种半导体激光单光源激振测振装置，包括由第一驱动电源（１）驱动的带有温度控制器（２）的光源（３），所述的第一驱动电源（１）为光源（３）提供直流驱动电流和正弦交流驱动电流；沿光源（３）发射光前进方向依次放置隔离器（６）、耦合器（７）及准直器（８）；准直器（８）出射光方向设置一谐振器（１１）；与第二光电转换器（１２）的输出端连接的是第二前置放大器（１３）；与封装在光源（３）内部的第一光电转换器（４）的输出端连接的是第一前置放大器（５）；信号处理器（１４）；信号监视器（１５）；所述的光源（３）和隔离器（６）由第一段光纤（３０１）相连，所述的隔离器（６）和耦合器（７）的第一端口由第二段光纤（７０１）相...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：李中梁，王向朝，刘英明，
申请(专利权)人：中国科学院上海光学精密机械研究所，
类型：实用新型
国别省市：31[中国|上海]