一种适用于透射式光学元件光程均匀性测量的检测装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种适用于透射式光学元件光程均匀性测量的检测装置，包括：双频激光器、用于形成测量光学腔及补偿光学腔的支架、分光镜、转折镜、角锥镜、用于干涉测量的接收器及处理电路、用于实现面阵扫描的转台及直线位移台、主控器。本发明专利技术检测装置结构简单、工程易实现且具有较强的扩展性，可实现透射式光学元件光程均匀性快速、高精度的测量。

【技术实现步骤摘要】
一种适用于透射式光学元件光程均匀性测量的检测装置
本专利技术属于光学精密测量
，具体涉及一种适用于透射式光学元件光程均匀性测量的检测装置。
技术介绍
薄膜衍射光学、强激光光学领域里新型光学系统的快速发展对透射式基底、窗口等光学元件的光程均匀性提出了严苛的要求。对光学元件光程均匀性的精密测量是改良其制作工艺，提高加工精度的关键。快速有效的对光学元件进行纳米级精度光程均匀性测量逐渐成为光学界关注和追求的目标。目前主流的测量光学元件光程均匀性的方法有两种，一种是通过使用相位干涉仪直接测量光学元件透射波前，这种方法的优点是通过单幅采样就可以测量整个光学元件的透射波前，进而解算出测试口径内的光程差分布，具有测试效率高，易操作的优点。这种方法的不足之处是：(1)根据相位干涉仪的测量原理，由于对准失调的影响，其无法准确测出呈倾斜分布的光程差。(2)相位干涉仪受其自身测量范围的限制，目前最大测试口径只能达到800mm，并且设备及测量附件极其昂贵，并不适用于光学车间检测。(3)相位干涉仪测量精度易受环境及参考标准镜精度的影响，测量误差通常大于50n本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种适用于透射式光学元件光程均匀性测量的检测装置，该装置基于干涉原理结合运动机构扫描测量处于固定光学腔中光学元件不同位置处的光程变化量，其特征在于：该装置由支架(1)，双频激光器(2)，分光镜(3)，干涉组合镜(4)，角锥反射镜(5)，转折镜(6)，干涉组合镜(7)，角锥反射镜(8)，光纤接收适配器(10)，接收器(11)，处理电路(12)，转台(13)，直线位移台(14)，主控制器(15)和隔离罩(16)组成，其中，/n所述的支架(1)，由低热膨胀系数材料制作，用于固定光学元件，形成稳定的光学测量腔；/n所述的双频激光器(2)，输出具有一定频差的激光，其频率稳定度在10

【技术特征摘要】
1.一种适用于透射式光学元件光程均匀性测量的检测装置，该装置基于干涉原理结合运动机构扫描测量处于固定光学腔中光学元件不同位置处的光程变化量，其特征在于：该装置由支架(1)，双频激光器(2)，分光镜(3)，干涉组合镜(4)，角锥反射镜(5)，转折镜(6)，干涉组合镜(7)，角锥反射镜(8)，光纤接收适配器(10)，接收器(11)，处理电路(12)，转台(13)，直线位移台(14)，主控制器(15)和隔离罩(16)组成，其中，
所述的支架(1)，由低热膨胀系数材料制作，用于固定光学元件，形成稳定的光学测量腔；
所述的双频激光器(2)，输出具有一定频差的激光，其频率稳定度在10-9～10-10量级；
所述的分光镜(3)，分光比为50％，其将激光束分光，其中透射光为测量光束，90度折转光为补偿光束；
所述的干涉组合镜(4)及角锥反射镜(5)组成参考光路，用于形成光程恒定的光学补偿腔，其主要作用为：监测由支架温度变形、空气折射率变化及激光器波长漂移引入的测量误差；
所述的转折镜(6)，用以将透射激光进行90°转向；
所述的干涉组合镜(7)及角锥反射镜(8)组成测量光路，用于形成光学测量腔，当...

【专利技术属性】
技术研发人员：李杰，陈林，
申请(专利权)人：中国科学院光电技术研究所，
类型：发明
国别省市：四川;51